真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板的制作方法

文档序号:21829111发布日期:2020-08-11 21:54阅读:92来源:国知局
真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板的制作方法

本实用新型属于真空离子镀膜设备部件,特别涉及一种真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板。



背景技术:

在利用真空镀膜设备对工件进行镀膜时,为了获得较好的镀膜效果,真空镀膜设备需加热提供能量,镀膜后炉内会形成粉尘,在抽真空时,粉尘会对真空设备的使用寿命有一定的影响,因此为了提高真空设备的使用寿命,所以对此进行研发和改造。



技术实现要素:

本实用新型在于克服上述技术不足,提供一种结构简单,设计巧妙,可以隔热挡尘的真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是:一种可拆装的真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板,包括炉体,其特征是将抽气口法兰焊接在炉体上,然后把隔热挡尘板放置在抽气口法兰中,隔热挡尘板是由遮挡环一、遮挡环二和遮挡环三以及连接柱焊接成一个整体,直接放入抽气口法兰中。

本实用新型同现有技术相比,具有如下优点:本种结构形式的真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板,由不锈钢制成,其结构简单,设计巧妙,布局合理,它针对传统的真空抽气口无隔热挡尘板的结构缺陷,设计出一种能够隔热挡尘的机构,它的出现能够阻挡热量流失,减少灰尘进入抽气系统,方便拆卸清理,改善抽气系统的环境,并且它的制造成本低廉,因此可以说它具备了多种优点,特别适合在真空镀膜领域中推广应用,其市场前景十分广阔。

附图说明

以下结合附图,以实施例具体说明。

图1为隔热挡尘板的主体图。

图2为本实用新型实施例的主体图。

图中:1-抽气口法兰;2-隔热挡尘板;2-1-遮挡环一;2-2-遮挡环二;2-3-遮挡环三;2-4-连接柱;3-炉体。

具体实施方式

下面将结合附图说明本实用新型的具体实施方式,如图1、图2所示:一种真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板,包括炉体3,其特征是将抽气口法兰1焊接在炉体3上,隔热挡尘板2是由遮挡环一2-1、遮挡环二2-2和遮挡环三2-3以及连接柱2-4焊接为一个整体。

该实用新型的使用方法是:将隔热挡尘板2放置在抽气口法兰1中,遮挡环三2-3的外圆尺寸与抽气口法兰1的内径尺寸留有少量间隙,安装时只需整体放入,无需其他部件辅助固定。



技术特征:

1.一种真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板,包括炉体(3),其特征是将抽气口法兰(1)焊接在炉体(3)内部,隔热挡尘板(2)是由遮挡环一(2-1)、遮挡环二(2-2)和遮挡环三(2-3)以及连接柱(2-4)焊接为一个整体,隔热挡尘板(2)制成圆形,隔热挡尘板(2)的最大外径尺寸稍小于抽气口法兰(1)的内径尺寸,从而使隔热挡尘板(2)直接放置于抽气口法兰(1)中。


技术总结
本实用新型属于一种真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板,包括炉体(3),其特征是将抽气口法兰(1)焊接在炉体(3)上,然后将隔热挡尘板(2)放置在抽气口法兰(1)中,遮挡环三(2‑3)的上部边缘焊接3个均匀分布的连接柱(2‑4),再与遮挡环二(2‑2)焊接在一起,遮挡环二(2‑2)的上部边缘焊接3个均匀分布的连接柱(2‑4),最后将遮挡环一(2‑1)焊接上,隔热挡尘板(2)最大的外圆尺寸稍小于抽气口法兰(1)的内径尺寸,使用时可直接将隔热挡尘板(2)放置在抽气口法兰(1)中,无需其他部件辅助固定,该实用新型结构简单,拆装方便快捷,适用于多种真空设备,利用率高,可有效的阻挡部分热量及粉尘,延长设备使用寿命。

技术研发人员:高琳;王宏瑜;白春阳
受保护的技术使用者:大连金泰正新科技有限公司
技术研发日:2019.12.24
技术公布日:2020.08.11
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