一种精密光学元件加工装置的制作方法

本实用新型实施例涉及光学元件加工技术领域，具体涉及一种精密光学元件加工装置。

背景技术：

光学镀膜技术是光学元件加工技术中的一种，光学镀膜是指在光学元件的表面上镀上一层金属(或介质)薄膜的工艺过程，在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求，常用的镀膜法有真空镀膜和化学镀膜，真空镀膜机是对光学元件进行真空镀膜的最主要的设备，其相关组成和各部件大致包括：真空主体、抽气系统、蒸发系统及成膜控制系统组成。

现有技术存在以下不足：针对真空镀膜机内部蒸发系统根据使用的需要需要进行定期清洁，但是由于现有的真空镀膜机的体积较大，在清洁内部蒸发系统操作不便，同时需要操作员进入真空腔内操作，内部空间使得操作受限，进而清洁效率不易提供，费时费力。

技术实现要素：

为此，本实用新型实施例提供一种精密光学元件加工装置，通过设置的调节机构，通过气缸的活塞杆端推动滑座在第二基座上往机门处滑动，使得机罩连同内部的镀膜灯一并移动至机门处，需要卸下镀膜灯时，只需转动镀膜灯使得轴座连同嵌板与嵌槽的形状重合后即可从机罩上取下，位于真空腔内侧的部分通过控制电机驱动主动齿轮带动从动齿轮转动后驱动主轴带动机罩转动后，使得位于内侧部分转动至朝向机门侧，即可方便取下镀膜灯及机罩内外的清洁，使得真空镀膜机内部蒸发系统的清洁效率提高，方便操作人员的操作，省时省力，以解决现有的真空镀膜机的体积较大，在清洁内部蒸发系统操作不便，同时需要操作员进入真空腔内操作，内部空间使得操作受限，进而清洁效率不易提供，费时费力的问题。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供如下技术方案：一种精密光学元件加工装置，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的内部设有真空腔，所述真空腔的内底壁固定安装有载物台，且真空腔的内顶壁固定安装有调节机构，且调节机构的底端固定设有机罩；

所述调节机构包括螺栓固定安装在真空腔内顶壁上的第一基座，所述第一基座的上表面垂直插设有第二基座，且第二基座的内部垂直插设有滑座，所述第一基座的低端焊接有固定座，所述滑座的底端固定安装有主轴，且主轴穿过固定座的一端与机罩固定连接，所述主轴位于固定座内部的一端固定设有传动组件，所述固定座的顶端固定安装有传动组件相连接的电机，所述第二基座沿径向的两端分别固定设有限位板，其中一个所述限位板的内侧与滑座之间固定安装有气缸。

进一步地，所述固定座沿垂直方向的两端分别开设有与滑座和主轴相适应的贯穿槽，所述主轴垂直插设于固定座的内部。

进一步地，所述传动组件包括套设在主轴上的从动齿轮和与电机的输出轴相连接的主动齿轮，且主动齿轮与从动齿轮相啮合。

进一步地，所述第一基座的顶端开设有与贯穿槽相连通的滑槽，所述滑座的顶端设置为与第二基座顶端相嵌合的倒角结构。

进一步地，所述机罩的结构呈弧形设置，且机罩的内侧关于其弧心呈环形设置有多个镀膜灯。

进一步地，所述机罩的内侧对应每个镀膜灯的位置上均开设有安装槽，且安装槽的中心处均开设有横向的嵌槽。

进一步地，每个所述镀膜灯的底端均固定设有轴座，且轴座的底端固定设有与嵌槽形状相适应的嵌板。

进一步地，所述真空镀膜机的一侧外侧壁通过合页铰链固定安装有呈对开设置的机门。

本实用新型实施例具有如下优点：

1、通过设置的调节机构，通过气缸的活塞杆端推动滑座在第二基座上往机门处滑动，使得机罩连同内部的镀膜灯一并移动至机门处，需要卸下镀膜灯时，只需转动镀膜灯使得轴座连同嵌板与嵌槽的形状重合后即可从机罩上取下，位于真空腔内侧的部分通过控制电机驱动主动齿轮带动从动齿轮转动后驱动主轴带动机罩转动后，使得位于内侧部分转动至朝向机门侧，即可方便取下镀膜灯及机罩内外的清洁，使得真空镀膜机内部蒸发系统的清洁效率提高，方便操作人员的操作，省时省力。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。

本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1为本实用新型提供的主视图；

图2为本实用新型提供的调节机构的整体结构示意图；

图3为为本实用新型提供的图2的俯视图；

图4为本实用新型提供的机罩的仰视图；

图5为本实用新型提供的镀膜灯的结构示意图；

图中：1、真空镀膜机；2、真空腔；3、载物台；4、机罩；5、机门；6、第一基座；7、滑槽；8、第二基座；9、滑座；10、主轴；11、从动齿轮；12、主动齿轮；13、固定座；14、电机；15、限位板；16、贯穿槽；17、气缸；18、安装槽；19、嵌槽；20、镀膜灯；21、轴座；22、嵌板。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照说明书附图1-5，该实施例的一种精密光学元件加工装置，包括真空镀膜机1，所述真空镀膜机1的内部设有真空腔2，所述真空腔2的内底壁固定安装有载物台3，且真空腔2的内顶壁固定安装有调节机构，且调节机构的底端固定设有机罩4；

所述调节机构包括螺栓固定安装在真空腔2内顶壁上的第一基座6，所述第一基座6的上表面垂直插设有第二基座8，且第二基座8的内部垂直插设有滑座9，所述第一基座6的低端焊接有固定座13，所述滑座9的底端固定安装有主轴10，且主轴10穿过固定座13的一端与机罩4固定连接，所述主轴10位于固定座13内部的一端固定设有传动组件，所述固定座13的顶端固定安装有传动组件相连接的电机14，所述第二基座8沿径向的两端分别固定设有限位板15，其中一个所述限位板15的内侧与滑座9之间固定安装有气缸17。

进一步地，所述固定座13沿垂直方向的两端分别开设有与滑座9和主轴10相适应的贯穿槽16，所述主轴10垂直插设于固定座13的内部。

进一步地，所述传动组件包括套设在主轴10上的从动齿轮11和与电机14的输出轴相连接的主动齿轮12，且主动齿轮12与从动齿轮11相啮合。

进一步地，所述第一基座6的顶端开设有与贯穿槽16相连通的滑槽7，所述滑座9的顶端设置为与第二基座8顶端相嵌合的倒角结构，嵌合结构稳固，保证结构的统一性。

进一步地，所述机罩4的结构呈弧形设置，包装镀膜灯20发射的电子束均匀地射在载物台3上的光学元件上，且机罩4的内侧关于其弧心呈环形设置有多个镀膜灯20。

进一步地，所述机罩4的内侧对应每个镀膜灯20的位置上均开设有安装槽18，且安装槽18的中心处均开设有横向的嵌槽19。

进一步地，每个所述镀膜灯20的底端均固定设有轴座21，且轴座21的底端固定设有与嵌槽19形状相适应的嵌板22。

进一步地，所述真空镀膜机1的一侧外侧壁通过合页铰链固定安装有呈对开设置的机门5，对开式结构，不影响操作人员的清洁操作。

实施场景具体为：本实用新型使用时，真空镀膜机1使用时，首先利用抽气系统对真空腔2内部抽真空，使得机体内部处于真空的环境下，此处真空镀膜机1的蒸发系统采用电子枪蒸发系统，其主要的原理是，将镀膜材料置于基盒内，将蒸发源制作呈灯丝形状，控制柜对灯丝加强电流，高电压，由于灯丝的材料是坞，灯丝发热后发射电子，附加一定的磁场时期聚集成电子束，并牵引至装有镀膜材料的基盒内，电子束的温度非常高，将镀膜材料熔化直接升华，在真空环境中呈直线远东遇到载物台3上的光学元件外表面即形成薄膜，整个过程通过成膜控制系统进行控制；

需要对电子枪蒸发系统进行清洁时(也就是此处的机罩4及镀膜灯20)，采用调节机构使得整体移动至机门5处，具体操作如下，首先，人工断开机罩4及镀膜灯20与真空镀膜机1之间的电连线，真空镀膜机1的控制柜控制气缸17的活塞杆端推动滑座9在第二基座8上往机门5处滑动，随后，使得滑座9底端通过主轴10连接的机罩4连同内部的镀膜灯20一并移动至机门5处，镀膜灯20本身通过一端的轴座21底部的嵌板22插设在机罩4上的安装槽18内，需要卸下镀膜灯20时，只需转动镀膜灯20使得轴座21连同嵌板22与嵌槽19的形状重合后即可从机罩4上取下，位于真空腔2内侧的部分通过控制电机14驱动主动齿轮12带动从动齿轮11转动后驱动主轴10带动机罩4转动后，使得位于内侧部分转动至朝向机门5侧，即可方便取下镀膜灯20及机罩4内外的清洁，清洁完毕后按照上述操作可重新将整个电子枪蒸发系统推入真空腔2的内部，人工将各部分电连线连上即可，使得真空镀膜机1内部蒸发系统的清洁效率提高，方便操作人员的操作，省时省力。

工作原理：

参照说明书附图1-5，需要对电子枪蒸发系统进行清洁时(也就是此处的机罩4及镀膜灯20)，首先，人工断开机罩4及镀膜灯20与真空镀膜机1之间的电连线，控制气缸17的活塞杆端推动滑座9在第二基座8上往机门5处滑动，使得机罩4连同内部的镀膜灯20一并移动至机门5处，需要卸下镀膜灯20时，只需转动镀膜灯20使得轴座21连同嵌板22与嵌槽19的形状重合后即可从机罩4上取下，位于真空腔2内侧的部分通过控制电机14驱动主动齿轮12带动从动齿轮11转动后驱动主轴10带动机罩4转动后，使得位于内侧部分转动至朝向机门5侧，即可方便取下镀膜灯20及机罩4内外的清洁，清洁完毕后按照上述操作可重新将整个电子枪蒸发系统推入真空腔2的内部，人工将各部分电连线连上即可，使得真空镀膜机1内部蒸发系统的清洁效率提高，方便操作人员的操作，省时省力。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本实用新型作了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本实用新型要求保护的范围。