1.一种收卷式成膜装置,其具有:
真空容器,其能够维持减压状态;
膜行进机构,其能够在所述真空容器内使膜行进;
锂源,其能够在所述真空容器内使锂蒸发;以及
第一辊,其被配置在所述膜的成膜面和所述锂源之间,具有接收从所述锂源蒸发的所述锂的转印图案,一边旋转一边将与所述转印图案对应的锂层的图案转印到所述成膜面。
2.根据权利要求1所述的收卷式成膜装置,其还具有:
第二辊,其隔着所述膜与所述第一辊相向。
3.根据权利要求1或2所述的收卷式成膜装置,其中,
所述锂源具有:
蒸镀容器,其收容所述锂,被配置成所述锂被蒸镀到所述第一辊;以及
刮刀,其对从所述蒸镀容器供给到所述第一辊的所述锂的厚度进行控制。
4.根据权利要求1或2所述的收卷式成膜装置,其中,
所述锂源具有:
第三辊,其与所述第一辊相向;
蒸镀容器,其收容所述锂,被配置成所述锂被蒸镀到所述第三辊;以及
刮刀,其对从所述蒸镀容器供给到所述第三辊的所述锂的厚度进行控制。
5.根据权利要求1或2所述的收卷式成膜装置,其中,
所述锂源具有:
第三辊,其与所述第一辊相向;
第四辊,其与所述第三辊相向;以及
蒸镀容器,其收容所述锂,被配置成所述锂被蒸镀到所述第四辊。
6.根据权利要求1~5中的任一项所述的收卷式成膜装置,其中,
在所述第一辊的上游还具有对所述膜的所述成膜面进行清洁的预处理机构。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的收卷式成膜装置,其中,
在所述第一辊的下游还具有在所述锂层的表面形成保护层的保护层形成机构。
8.根据权利要求7所述的收卷式成膜装置,其中,
在所述真空容器内还具有对所述保护层形成机构进行隔离的隔离板。
9.一种收卷式成膜方法,包含以下步骤:
在能够维持减压状态的真空容器内使膜行进;
将蒸发的锂供给到形成有转印图案的第一辊;以及
在使所述第一辊旋转的同时,使与所述转印图案对应的锂层的图案接触所述膜的成膜面,从而将所述锂层的图案转印到所述成膜面。