高精度超硬磨料整体切割砂轮的加工方法与流程

本发明涉及高精度薄片类超硬磨料磨具制造
技术领域：
，特别涉及一种高精度整体切割砂轮的加工方法。
背景技术：
：高精度整体切割砂轮俗称“划片刀”或软刀，广泛应用于光学玻璃、半导体材料、磁性材料等精密材料的切割，具有切割精度高，切口小的特点。该类砂轮所用的切割砂轮一般厚度为0.1mm-0.5mm，最薄可达0.05mm，要求产品的厚度均匀性小于等于0.01mm，翘曲变形量＜0.2mmm，因此称该类砂轮所用的切割砂轮为高精度超硬磨料整体切割砂轮，其材料一般为金属结合剂与超硬磨料共混的烧结体、树脂结合剂与超硬磨料共混烧结体；陶瓷结合剂与超硬磨料共混的烧结体。由于高精度超硬磨料整体切割砂轮的厚度很薄，且材料硬度高，难去除，具有硬脆特性；因此加工过程中容易发生破损、变形，使加工后的产品存在不完整、翘曲、厚度不匀等缺陷，使产品的成品率低；因此，目前业内普遍使用游离态磨料研磨的方法加工切割砂轮，得到具有所需加工精度的切割砂轮。目前，国内生产加工高精度超硬磨料整体切割砂轮时多采用双端面研磨机对坯料的表面进行研磨加工，在加工时，在研磨冷却液中添加一定的助研磨料形成游离态磨料，磨料呈游离态在研磨盘表面，当对研磨盘施力时，游离态磨料对坯料表面产生挤压、划擦从而去除坯料两侧表面的材料，获得精度要求的产品；采用上述方法加工切割砂轮，其精度可以达到要求，但由于是通过游离态的磨料对0.1mm-0.5mm的很薄的含有金刚石的金属材料或陶瓷材料进行研磨，添加助研磨料的粒度很细，研磨时去除材料的速度低，因此加工周期很长，且单次加工数量有限，因此总体的制造效率低；由于切割砂轮很薄且材料难去除，具有硬脆特性；因此研磨过程中切割砂轮易变形、破损，因此成品率低，而且产品越薄成品率越低，当成品厚度为0.1mm-0.3mm时，成品率仅能达到70%，当厚度为0.05mm时成品率不足40%；而且研磨加工过程产生的污水，对操作工况及环境产生不利影响。因此，本行业急需研究出一种适合对薄的高精度超硬磨料整体切割砂轮进行加工的方法，提高整个行业的加工水平，减少对环境的污染。技术实现要素：本发明的目的是，针对现有技术中，采用研磨工艺加工薄的切割砂轮时，效率低、成品率低、易造成操作条件及环境污染的问题，提供一种高精度超硬磨料整体切割砂轮的加工方法。本发明的目的是通过下述技术方案实现的：一种高精度超硬磨料整体切割砂轮的加工方法，切割砂轮为结合剂与超硬磨料共混的烧结体，切割砂轮坯料通过热塑性材料固定在载体上，而后将载体固定在磨削机床的工作台上，通过砂轮磨削的方法对坯料进行去除材料加工，获得所需形位公差及尺寸精度的成品，所述砂轮采用普通磨料砂轮；所述的热塑性材料为固态蜡、松香、热塑性胶粘剂之一；所述的载体为氧化铝陶瓷载体、氧化锆陶瓷载体、碳化硅陶瓷载体之一或二者以上的材料的混合物制成的载体；采用双面交替磨削的方法对坯料的两表面进行磨削加工；采用高精密磨削设备，采用微米或亚微米定量进给，正、反面交替磨削加工；所述的切割砂轮为超硬磨料烧结组成的整体结构，整体厚度为0.02-0.5mm,厚度精度为微米级；包括如下步骤：步骤一：坯料制作：制作符合精度要求的坯料备用,该坯料具有相对的两个表面，表面a和表面b，表面a和表面b平行度小于等于0.03mm；步骤二：用固定材料1在载体3上固定坯料2：固定材料1采用热塑性材料，将待加工的坯料2通过加热加压再冷却的方式固定在载体3的工作表面4上，由坯料2的b表面和载体的工作表面固定连接，载体的工作表面的平面度为小于等于0.002mm，两面的平行度小于等于0.003mm；载体为氧化铝陶瓷载体、氧化锆陶瓷载体、碳化硅陶瓷载体之一或二者以上材料的混合物制成的载体；热塑性材料为固态蜡、松香、热塑性胶粘剂之一；加热温度为大于等于热塑性材料的熔化温度30-60°c，加压冷却后热塑性材料的厚度为0.002-0.005mm，平行度小于等于0.002mm；步骤三：磨削坯料的a表面将固定有坯料的载体固定在磨削机上，采用砂轮对坯料的a表面进行磨削加工，其中磨削机采用精密数控卧轴圆台平面磨床、立式精密圆台磨削机床、卧式精密研磨机床；所述的砂轮采用白刚玉砂轮、绿碳化硅砂轮、单晶刚玉砂轮；采用如下磨削加工参数：砂轮的粒度为180-400目，砂轮硬度为g-l级，砂轮宽度为3mm-12mm，平轮结构或环形齿状排布结构；砂轮线速度10-30m/s，进给速度0.1um/s-10um/s；步骤四：磨削坯料的b表面对载体加热，使热塑性材料熔化，将坯料从载体上卸下，将坯料的a表面作为固定面通过热塑性材料加热加压冷却后固定在板式载体的工作表面上，按步骤三所述的方法磨削坯料的b表面；步骤五，交替磨削坯料的a表面和b表面。按步骤三和四多次交替对砂轮的a、b两表面进行定量磨削，直到达到所规定的尺寸要求；通过热压烧结方式制备高精度超硬磨料整体切割砂轮的毛坯；烧结体硬度高时或切割砂轮薄时，采用硬度小、粒度细的砂轮进行磨削加工；砂轮硬度软，砂轮的宽度增加；加工厚度薄的切割砂轮时采用立式精密圆台磨削机床和卧式精密研磨机床进行加工；加工树脂结合剂坯料的切割砂轮时优选固态蜡和热塑性胶粘剂。采用本发明提供的一种高精度超硬磨料整体切割砂轮的加工方法，采用热塑性材料固定坯料，采用高精密磨削机床对坯料进行磨削加工，加工时，以普通磨料的砂轮作为磨削工具，自来水作为冷却液，选择适合宽度、粒度、等级的砂轮与适合的磨削参数加工坯料，并对坯料进行少量多次两面交替磨削，在磨削时保持砂轮的自锐性，使砂轮和坯料间保持适当的接触面积，减少了切割砂轮的变形和破损，提高了加工成品率，当磨削0.05-0.1mm厚的切割砂轮时，成品率可达75%以上，成品率可以大幅度提高；单次加工数量可达到6-15片，单次产出率比直径640研磨机高25%以上；取得了意想不到的技术效果。附图说明图1为切割砂轮固定方式示意图；图2为图1的俯视图示意图。附图标记说明1-固定材料2-坯料3-载体4-工作表面具体实施方式下面结合具体实施例对本发明做进一步地描述：本发明加工的高精度整体切割砂轮，其材料一般为金属结合剂与超硬磨料共混的烧结体、树脂结合剂与超硬磨料共混的烧结体、陶瓷结合剂与超硬磨料共混的烧结体，厚度一般为0.1-0.5mm，最薄可达0.05mm，其精度均为微米级的。本发明提供一种高精度超硬磨料整体切割砂轮的加工方法，包括如下步骤：步骤一：坯料制作：制作符合精度要求的坯料备用,该坯料具有相对的两个表面，表面a和表面b,表面a和表面b的公差符合一定的要求，表面a和表面b平行度小于等于0.03mm；最好通过热压烧结方式制备高精度超硬磨料整体切割砂轮的毛坯，这样制成的毛坯本身具有一定的精度，节省后续加工节拍，提高加工效率；步骤二：用固定材料1在载体3上固定坯料2：固定材料1采用热塑性材料，将待加工的坯料2通过加热加压再冷却的方式固定在载体3的工作表面4上，由坯料2的b表面和载体的工作表面固定连接，载体的工作表面的平面度为小于等于0.002mm，两面的平行度小于等于0.003mm；载体可采用刚性的材料制成，比如金属、最好采用氧化铝陶瓷载体、氧化锆陶瓷载体、碳化硅陶瓷载体之一或二者上述材料的混合物制成的载体，这样，加工时载体的变形小，使加工的精度更理想；热塑性材料为固态蜡、松香、热塑性胶粘剂等；加热温度为高于热塑性材料的熔化温度，大于等于热塑性材料的熔点温度30-60c°，采用上述温度可保证热塑性材料的流动性同时保证其具有一定的粘着力，使热塑性材料不仅有良好的流动性使热塑性材料均匀平整地铺散且能够稳定地固定坯料，实现最佳的固定效果。加压的目的是挤压坯料和载体间的固定材料，使其更平整且固定牢固，防止固定材料不平整及固定不牢固影响坯料的加工精度。一般加压到使固定材料的厚度为0.002-0.005um，平行度小于等于0.002mm即可。步骤三：磨削坯料的a表面将固定有坯料的载体固定在磨削机上，采用砂轮对坯料的a表面进行磨削加工，其中磨削机可采用精密数控卧轴圆台平面磨床、立式精密圆台磨削机床、卧式精密研磨机床等；砂轮采用普通磨料砂轮，如采用白刚玉砂轮、绿碳化硅砂轮、单晶刚玉砂轮等；磨削加工参数如下：砂轮的粒度为180-400目，砂轮硬度为g-l级，砂轮宽度为3mm-12mm，平轮结构或环形齿状排布结构；；砂轮线速度10-30m/s，进给速度0.1um/s-10um/s，最好进给速度为0.1um/s-2.0um/s；步骤四：磨削坯料的b表面对载体加热，使热塑性材料熔化，将坯料从载体上卸下，将坯料的a表面作为固定面通过热塑性材料加热加压冷却后固定在板式载体的工作表面上，按步骤三所述的方法磨削坯料的b表面；步骤五，交替磨削坯料的a表面和b表面。按步骤三和四多次交替对砂轮的a、b两表面进行定量磨削，直到达到所规定的尺寸要求。采用本发明的方法，采用宽度为3mm-12mm的平轮结构或环形齿状排布结构砂轮对坯料表面进行磨削，使磨削接触面积与固定材料与坯料间的粘着力相适应，使磨削时砂轮的磨削力小于固定材料与坯料间的粘着力，使坯料在承受砂轮的磨削力时不会发生松动，防止因磨削力大于坯料与固定材料间的粘着力使坯料发生移动或变形带来的加工精度不稳定的现象发生，再配之充足的冷却液，使普通磨料砂轮的消耗量减少，使加工成本降到最低，提高生产效率，缩短加工节拍。对砂轮线速度和进给量进行控制，并反复交替对砂轮两表面进行定量磨削加工，可有效减少加工过程中的应力变形，减少切割砂轮的变形量，采用硬度为g-l级的普通磨料砂轮进行磨削，可以使砂轮保持良好的自锐性，保证砂轮一直处于磨削锋利的状态，使砂轮对于切割砂轮的磨削力小，减少坯料的破损和变形，辅助适当的砂轮线速度和进给量在保证小磨削力的情况下提高磨削的效率。综合采用上述磨削方法，可以获得良好的成品率，且在磨削过程中不会有太多污泥出现，减少了环境污染。当然，采用本发明方法可以加工厚度大于0.3mm的切割砂轮，其加工难度相对较低。可以在一个载体上同时固定多个坯料进行磨削加工，提高磨削效率。此时需要载体的工作面积比较大，磨削设备的功率也要相适配，可通过单次磨削加工更多坯料，提高加工效率。当选择砂轮时按如下方式进行选择，当加工陶瓷结合剂烧结体时，优先硬度小，粒度小的宽砂轮进行磨削加工，其加工厚度小于0.25mm，以便获得更好的成品率；加工厚度薄的切割砂轮时优选采用立式精密圆台磨削机床和卧式精密研磨机床；加工树脂结合剂坯料的切割砂轮时优选固态蜡和热塑性胶粘剂。砂轮宽度根据砂轮硬度进行选择的，同时根据加工产品厚度选定；原则上砂轮硬度软，砂轮的宽度可以宽，提高砂轮的耐磨性；加工的切割砂轮越薄，所用的砂轮的组织软，粒度细。实施例1制造厚度为0.3mm的切割砂轮，切割砂轮的材质为金属结合剂与金刚石烧结坯料a.采用厚度为0.35mm的坯料，坯料ab两表面的平行度为0.02mm；用比测量平台及千分表，逐个测量出坯料的原始厚度及平行度精度，做好标识和记录；松香作为热塑性材料，氧化铝陶瓷作为固定载体，采用精密数控卧轴圆台平面磨床进行磨削加工；砂轮为180目绿碳化硅，其宽度为6mm，硬度为l级；b.在加热平台上加热氧化铝陶瓷载体，加热温度150-200℃，将热热塑性材料松香涂在载体上，将坯料的b表面放在涂好的松香上与载体连接，静置2分钟，将载体整体移动至加压装置上，向载体、固定材料、切割砂轮坯料整体施加400kgf，冷却至室温撤掉压力，使载体和坯料固定牢固；c．用比测量平台测量载体平面与坯料上表面的高度差，结合原始坯料厚度，计算出固定材料的厚度及分布平坦度；将固定好坯料的载体放在精密数控卧轴圆台平面磨床工作台上固定，通过进给砂轮进行磨削加工，砂轮线速度28m/s，进给速度1.5um/s，砂轮进给量达到0.4mm时停止磨削；d．用测量平台测量载体与磨削面的高度差，即坯料去除量；e.载体从磨削机床上卸下后，将其放在加热平台上加热熔化松香，取下坯料并翻面，以a表面作为固定面，对b表面进行磨削加工，以与磨削a表面相同的参数加工b表面直到砂轮进给量达到0.4mm；f．交替对a、b两面进行磨削加工，进给速度为0.8um/s，每翻一次面砂轮进给量为0.1mm，直至加工至合格尺寸；采用上述方法加工得到的产品，其厚度为0.3mm，厚度均匀性可达0.01mm，翘曲变形量＜0.2mmm；成品率达到80%以上。实施例2.加工制造0.3mm的切割砂轮。切割砂轮材料为陶瓷结合剂与金刚石烧结坯料；a.采用厚度为0.35mm的坯料，其ab两面的平行度为0.03mm。固态蜡作为热塑性材料，碳化硅陶瓷作为固定载体：采用立式精密圆台磨削机床进行磨削加工；砂轮材质为240目单晶刚玉，硬度为g级，结构为4mm单环形砂轮；b.通过加热平台将碳化硅陶瓷载体加热，加热温度90-140℃，将固态蜡涂在载体上，将坯料放在涂好的固态蜡上，b表面做为固定面，静置2分钟，将载体整体移动至加压装置上，向载体、固定材料、切割砂轮坯料整体施加400kgf，冷却至室温撤掉压力，使载体和坯料固定牢固；c．将固定好坯料的载体固定在立式精密圆台磨削机床的工作台上，采用砂轮对坯料的a表面进行磨削，砂轮线速度为20米/秒，进给速度为0.5um/s，砂轮进给量为0.6mm；d.从磨削机床上卸下载体后，将载体放在加热平台上，熔化固态蜡，取下坯料翻面重新固定，对b表面进行加工，加工参数如加工a表面；e．交替对ab两面进行加工，进给速度为0.3um/s，单面砂轮进给量为0.2mm，直到厚度达到0.3mm。采用上述方法，得到的陶瓷结合剂金刚石切割砂轮的厚度0.3mm，均匀性可达0.008mm，翘曲变形量＜0.15mmm；成品率达到80%以上。实施例3.制造厚度为0.05mm的切割砂轮,切割砂轮材质为金属结合剂与金刚石烧结坯料采用厚度0.1mm的坯料，坯料ab两面的平行度为0.03mm；热塑性胶粘剂如牌号jy-1作为热塑性材料，氧化锆陶瓷作为固定载体：采用卧式精密研磨机床进行磨削加工；砂轮粒度为240目绿碳化硅硬度为k级，其宽度为12mm单环型结构砂轮，；载体的加热温度为90-140℃，砂轮线速度为10m/s，进给速度0.3um/s，砂轮进给量0.2mm；两面交替加工时，进给速度为0.1um/s，砂轮进给量为0.05mm；采用上述方法得到的厚度为0.05mm的切割砂轮，其厚度均匀性可达到0.01mm，翘曲变形量＜0.2mm；成品率达到75%以上。实施例4.制造厚度为0.1mm的切割砂轮；切割砂轮材质为树脂结合剂与金刚石烧结坯料采用厚度为0.15mm的坯料，坯料ab两面的平行度为0.02mm；选择热塑性胶粘剂如牌号jy-1作为热塑性材料，氧化铝陶瓷作为固定载体：采用卧式精密研磨机床进行磨削加工；砂轮粒度为180目白刚玉砂轮，硬度为j级，宽度3mm的单环形结构砂轮；载体的加热温度80-150℃，砂轮线速度为12m/s，进给速度0.6um/s，砂轮进给量0.3mm；交替对两面进行加工时，进给速度为0.4um/s，砂轮进给量为0.1mm直到坯料的厚度达到0.1mm。采用上述方法加工，制得的切割砂轮达到0.1mm，厚度均匀性可达0.008mm，翘曲变形量＜0.2mm；成品率达到75%以上。实施例5.制造厚度为0.15mm的切割砂轮；切割砂轮材质为金属结合剂与金刚石烧结坯料；采用厚度为0.2mm的坯料，坯料ab两面的平行度为0.03mm；选择热塑性胶粘剂如牌号jy-1作为固定材料，碳化硅陶瓷作为固定载体：采用卧式精密研磨机床进行磨削加工；砂轮粒度为400目绿碳化硅，硬度为l级，其宽度为6mm单环型结构砂轮；载体的加热温度80-150℃，砂轮线速度为14m/s，进给速度0.8um/s，砂轮进给量0.4mm；交替对两面进行加工时，进给速度为0.5um/s，砂轮进给量为0.1mm；直到坯料的厚度达到0.1mm。采用上述方法加工，制得的切割砂轮厚度为0.15mm，均匀性可达0.008mm，翘曲变形量＜0.2mm；成品率达到90%以上。实施例6.制造厚度为0.25mm的切割砂轮；切割砂轮材质为陶瓷结合剂与cbn烧结坯料;采用厚度为0.3mm的坯料，坯料ab两面的平行度为0.03mm；选择热塑性胶粘剂如牌号jy-1作为固定材料，氧化铝陶瓷作为固定载体：采用卧式精密研磨机床进行磨削加工；砂轮粒度为240目绿碳化硅，硬度为k级，其宽度为12mm单环型结构砂轮；载体的加热温度80-150℃，砂轮线速度为10m/s，进给速度0.5um/s，砂轮进给量0.6mm；交替对两面进行加工时，进给速度为0.3um/s，砂轮进给量为0.2mm；直到坯料的厚度达到0.25mm。采用上述方法加工，制得的切割砂轮厚度为0.25mm，均匀性可达0.007mm，翘曲变形量＜0.15mm；成品率达到75%以上。实施例7.制造厚度为0.2mm的切割砂轮；切割砂轮材质为树脂结合剂与cbn烧结坯料;采用厚度为0.25mm的坯料，坯料ab两面的平行度为0.03mm；选择固态蜡为固定材料，碳化硅陶瓷作为固定载体：采用卧式精密研磨机床进行磨削加工；砂轮粒度为400目绿碳化硅，硬度为l级，其宽度为6mm单环型结构砂轮；载体的加热温度90-140℃，砂轮线速度为14m/s，进给速度1um/s，砂轮进给量0.4mm；交替对两面进行加工时，进给速度为0.6um/s，砂轮进给量为0.1mm；直到坯料的厚度达到0.2mm。采用上述方法加工，制得的切割砂轮厚度为0.2mm，均匀性可达0.007mm，翘曲变形量＜0.2mm；成品率达到90%以上。实施例8.制造厚度为0.05mm的切割砂轮；切割砂轮材质为树脂结合剂与cbn烧结坯料;采用厚度为0.11mm的坯料，坯料ab两面的平行度为0.03mm；选择热塑性胶粘剂如牌号jy-1作为固定材料，氧化铝陶瓷作为固定载体：采用卧式精密研磨机床进行磨削加工；砂轮粒度为240目绿碳化硅，硬度为k级，其宽度为12mm单环型结构砂轮；载体的加热温度80-150℃，砂轮线速度为10m/s，进给速度0.3um/s，砂轮进给量0.2mm；交替对两面进行加工时，进给速度为0.1um/s，砂轮进给量为0.05mm；直到坯料的厚度达到0.05mm。采用上述方法加工，制得的切割砂轮厚度为0.05mm，均匀性可达0.01mm，翘曲变形量＜0.2mm；成品率达到75%以上。实施例9.制造厚度为0.3mm的切割砂轮；切割砂轮材质为树脂结合剂与金刚石烧结坯料;采用厚度为0.35mm的坯料，坯料ab两面的平行度为0.02mm；选择固态蜡为固定材料，碳化硅陶瓷作为固定载体：采用立式精密圆台磨削机床进行磨削加工；砂轮粒度为240目单晶刚玉，硬度为g级，其宽度为4mm单环型结构砂轮；载体的加热温度90-140℃，砂轮线速度为20m/s，进给速度0.6um/s，砂轮进给量0.3mm；交替对两面进行加工时，进给速度为0.4um/s，砂轮进给量为0.1mm；直到坯料的厚度达到0.3mm。采用上述方法加工，制得的切割砂轮厚度为0.3mm，均匀性可达0.01mm，翘曲变形量＜0.2mm；成品率达到85%以上。实施例10.制造厚度为0.2mm的切割砂轮；切割砂轮材质为金属结合剂与cbn烧结坯料;采用厚度为0.25mm的坯料，坯料ab两面的平行度为0.03mm；选择固态蜡为固定材料，氧化铝陶瓷作为固定载体：采用立式精密圆台磨削机床进行磨削加工；砂轮粒度为240目绿碳化硅，硬度为k级，其宽度为12mm单环型结构砂轮；载体的加热温度90-140℃，砂轮线速度为20m/s，进给速度0.8um/s，砂轮进给量0.4mm；交替对两面进行加工时，进给速度为0.5um/s，砂轮进给量为0.1mm；直到坯料的厚度达到0.2mm。采用上述方法加工，制得的切割砂轮厚度为0.2mm，均匀性可达0.01mm，翘曲变形量＜0.2mm；成品率达到95%以上。实施例和成品率对照表一实施例序号实施例12345切割砂轮厚度mm0.30.30.050.10.15切割砂轮材质金属金刚石陶瓷金刚石金属金刚石树脂金刚石金属金刚石载体材质氧化铝陶瓷碳化硅陶瓷氧化锆陶瓷氧化铝陶瓷碳化硅陶瓷热塑性材料松香固态蜡热塑性胶粘剂热塑性胶粘剂热塑性胶粘剂磨削机精密数控卧轴圆台平面磨床立式精密圆台磨削机床卧式精密研磨机床卧式精密研磨机床卧式精密研磨机床砂轮粒度及材质180目绿碳化硅240目单晶刚玉240目碳化硅180目白刚玉400目绿碳化硅砂轮宽度6mm宽4mm环形12mm环形3mm环形6mm环形砂轮硬度等级l级g级k级j级l级砂轮线速度28m/s20m/s10m/s12m/s14m/s第一次加工时进给速度1.5um/s0.5um/s0.3um/s0.6um/s0.8um/s第一次加工时砂轮的进给量0.4mm0.6mm0.2mm0.3mm0.4mm两面交替加工时进给速度0.8um/s0.3um/s0.1um/s0.4um/s0.5um/s两面交替加时的单面砂轮进给量0.1mm0.2mm0.05mm0.1mm0.1mm成品率80%80%75%75%90%续表一实施例序号实施例678910切割砂轮厚度0.25mm0.2mm0.05mm0.3mm0.2mm切割砂轮材质陶瓷cbn树脂cbn树脂cbn树脂金刚石金属cbn载体材质氧化铝陶瓷碳化硅陶瓷氧化锆陶瓷碳化硅陶瓷氧化铝陶瓷热塑性材料热塑性胶粘剂固态蜡热塑性胶粘剂固态蜡固态蜡磨削机卧式精密研磨机床卧式精密研磨机床卧式精密研磨机床立式精密圆台磨削机床立式精密圆台磨削机床砂轮粒度240目碳化硅400目绿碳化硅240目绿碳化硅240目单晶刚玉240目绿碳化硅砂轮宽度12mm环形6mm环形12mm环形4mm环形12mm环形砂轮硬度k级l级k级g级k级第一次加工时进给速度0.5um/s1um/s0.3um/s0.6um/s0.8um/s第一次加工时砂轮进给量0.6mm0.4mm0.2mm0.3mm0.4mm两面交替加工时进给速度0.3um/s0.6um/s0.1um/s0.4um/s0.5um/s两面交替加时的单面砂轮进给量0.2mm0.1mm0.05mm0.1mm0.1mm砂轮线速度10m/s14m/s10m/s20m/s20m/s成品率75%90%75%85%95%当前第1页12