工件游星轮及工件游星轮的制造方法与流程

本发明涉及在通过研磨装置对硅晶片、玻璃、陶瓷、水晶等薄板状的工件进行研磨加工时，用于工件的保持的工件游星轮(carrier)及工件游星轮的制造方法。

背景技术：

已知在通过研磨装置对硅晶片等工件的双面或单面进行研磨加工时，使工件保持于具有工件保持孔的工件游星轮的技术(参照专利文献1-3等)。

由于成为工件游星轮的主体的游星轮基板由sk钢、不锈钢这样的硬质的金属材料形成，因此若使工件直接保持于在游星轮基板钻设的工件保持孔，则在研磨加工过程中工件会与工件保持孔的内周面接触，可能在工件产生裂纹、缺口等损伤。

因此，如专利文献1-3所公开的那样，沿着工件保持孔的内周面安装合成树脂制的软质的插入件，进行防止研磨加工过程中的工件的损伤的处理。

另一方面，软质的树脂插入件比硬质的游星轮基板更容易发生由研磨加工引起的磨损、变形，因此在专利文献1中，通过缩窄从游星轮基板伸出的树脂插入件的宽度来减少向工件保持孔侧露出的面积，从而减少树脂插入件的磨损。

另外，在专利文献2中，记载了在使树脂插入件的燕尾榫装卸自如地嵌合于游星轮基板的燕尾槽的结构中，为了调整嵌合的强度，而在燕尾槽与燕尾榫之间设置间隙的技术。

另外，在专利文献3中，作为沿着游星轮基板的工件保持孔的内周面设置树脂插入件的方法公开了具有嵌入预先成型的树脂插入件的方式和基于注塑成型的方式。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-179375号公报

专利文献2：日本特开2003-340711号公报

专利文献3：日本特开2018-144221号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

但是，在通过注塑成型设置树脂插入件的情况下，流入到燕尾槽中的高温的合成树脂材料之后在冷却凝固时会朝向工件保持孔的中心收缩，所述燕尾槽沿着游星轮基板的工件保持孔的内周面设置。此时，由于与填充到燕尾槽中的合成树脂材料的卡挂，游星轮基板的母材被拉伸，有可能在游星轮基板产生翘曲、应变。即，若树脂插入件的收缩量因温度变化而大于游星轮基板的收缩量，则游星轮基板存在变形的可能性。

因此，本发明的目的在于提供工件游星轮及工件游星轮的制造方法，即使在紧贴于游星轮基板的树脂插入部发生了温度变化的情况下，也不易在游星轮基板产生变形。

用于解决课题的技术方案

为了达到上述目的，本发明的工件游星轮是沿着形成于游星轮基板的工件保持孔的内周面设有树脂插入部的工件游星轮，其特征在于，在所述工件保持孔沿周向隔开间隔地形成有在俯视时呈开放侧窄的梯形形状的凹部，并且在所述凹部紧贴地形成有所述树脂插入部，所述凹部的高度为0.5mm以上且小于2.9mm。

在此，优选为，所述凹部的斜边与所述工件保持孔的周向在所述凹部的外侧所成的角大于60°且小于90°。另外，可构成为在所述工件保持孔沿周向交替地连续形成有正倾斜面和负倾斜面，所述正倾斜面和负倾斜面相对于表背方向的倾斜是相反的。

而且，工件游星轮的制造方法的发明是上述任意的工件游星轮的制造方法，其特征在于，包括：为了在所述游星轮基板钻设所述工件保持孔而进行切割加工的工序；以及相对于所述工件保持孔通过注塑成型而设置树脂插入部的工序。

发明效果

如上所述构成的本发明的工件游星轮在凹部紧贴地形成有树脂插入部，所述凹部沿游星轮基板的工件保持孔的周向隔开间隔地形成，且在俯视时呈梯形形状。并且，该凹部的高度设定为0.5mm以上且小于2.9mm。

总而言之，由于将凹部的高度设定为低于以往的燕尾槽的高度，因此即使在因注塑成型等而在紧贴于游星轮基板的树脂插入部发生了温度变化的情况下，也能够抑制填充到凹部中的合成树脂材料的收缩量，从而能够构成为不易在游星轮基板发生变形。

另外，通过将凹部的斜边与工件保持孔的周向所成的角设为大于60°且小于90°，能够确保凹部中的卡挂，并且抑制在游星轮基板的母材产生的拉伸力。

而且，通过沿工件保持孔的周向交替地连续形成相对于表背方向的倾斜为相反的正倾斜面和负倾斜面，从而相对于游星轮基板的表背中的任一方向，均能够防止树脂插入部从工件保持孔脱落的情况。

并且，在工件游星轮的制造方法的发明中，通过利用注塑成型设置树脂插入部，从而能够容易地制造出游星轮基板与树脂插入部的一体性高的工件游星轮。

附图说明

图1是以与以往进行比较的方式对本实施方式的工件游星轮的结构进行说明的放大俯视图。

图2是对工件游星轮的概略结构进行说明的俯视图。

图3是为了对表加工和背加工进行说明而将工件游星轮的工件保持孔的内周面附近放大进行说明的俯视图。

图4是在工件保持孔的内周面设置有树脂插入部的状态下对正倾斜面及负倾斜面进行说明的图，图4(a)是从图3的a-a箭头方向观察的剖视图，图4(b)是从图3的b-b箭头方向观察的剖视图。

图5是对本实施方式的工件游星轮的制造方法的工序进行说明的流程图。

图6是用于对注塑成型的工序进行说明的示意图。

图7是表示在注塑成型后树脂插入部收缩时产生的力的说明图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1、2是对本实施方式的工件游星轮10的结构进行说明的图，图2表示整体的概略结构，图1为了与以往比较进行说明而放大表示了工件保持孔2的内周面附近。

工件游星轮10安装于平面研磨装置而使用，所述平面研磨装置对硅晶片、玻璃等工件的双面或单面进行研磨加工。例如，对工件的双面进行研磨加工的平面研磨装置具备：作为定盘的上定盘及下定盘；旋转自如地配置于该上定盘及下定盘的中心部的太阳齿轮；以及配置于上定盘及下定盘的外周侧的内齿轮。

并且，如图2所示的工件游星轮10配置于平面研磨装置的上定盘与下定盘之间。

工件游星轮10例如由金属制的游星轮基板1形成圆板状的主体。在该游星轮基板1钻设例如圆形的工件保持孔2、……和研磨剂供给孔12、……。并且，沿着工件保持孔2的内周面设置树脂插入部3。

在该工件游星轮10，在成为外缘的外形部11设置有与太阳齿轮及内齿轮啮合的齿部(省略图示)，工件游星轮10通过太阳齿轮及内齿轮的旋转而进行自转及公转。并且，通过工件游星轮10的自转及公转，配置在工件游星轮10的工件保持孔2内的工件的双面被研磨。

游星轮基板1例如从金属板切出为圆板状。作为金属板，可使用不锈钢(sus)、高碳铬轴承钢、碳素工具钢(sk钢)、高速工具钢、合金工具钢、高强度钢、钛等。另外，也可利用聚酰胺酰亚胺(pai)等合成树脂材料来成型游星轮基板1。

另一方面，树脂插入部3利用合成树脂材料而成型。合成树脂材料可使用聚酰胺树脂、聚酯树脂、聚氯乙烯树脂、聚缩醛树脂、聚碳酸酯树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚乙烯醇缩甲醛树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚醚酰亚胺树脂等。

聚酰胺树脂可使用聚酰胺6、聚酰胺66、聚酰胺11、聚酰胺12、聚酰胺610等脂肪族聚酰胺树脂、及聚酰胺mxd6等芳香族聚酰胺树脂。

聚酯树脂可使用聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚对苯二甲酸环已二甲酯、聚对苯二甲酸丙二醇酯及聚萘二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸环己烷二甲醇酯、聚萘二甲酸丙二醇酯等、二元脂肪族醇与芳香族二羧酸缩聚而成的聚对苯二甲酸亚烷基酯及聚萘二甲酸烷二醇酯等树脂。而且，也可使用由双酚a等二元酚和间苯二甲酸等芳香族二羧酸构成的全芳香族聚酯树脂。

另外，也可使用改性聚苯醚树脂那样的将多种树脂混合而成的聚合物合金。而且，也可使用将上述的树脂与芳纶纤维等纤维复合而成的纤维增强塑料(frp)。如后所述，在通过注塑成型设置树脂插入部3的情况下，使用热塑性树脂。

如图1所示，为了提高与树脂插入部3的一体性，在本实施方式的工件保持孔2的内周面沿周向连续形成凹凸。例如，通过沿周向隔开间隔地设置向游星轮基板1侧凹陷的凹部21，来形成凹凸。在该情况下，游星轮基板1的未设置凹部21而残留的母材部分成为向工件保持孔2的中心侧突出的凸部。

图1所示的凹部21形成为在俯视时呈开放侧(工件保持孔2的中心侧)窄的梯形形状(楔状)。换言之，凹部21形成为在俯视时呈里侧(游星轮基板1侧)宽的梯形形状。

该凹部21只要为开放侧窄的梯形形状，则也可以全部为不同的平面形状，但在本实施方式中，对沿周向以等间隔反复形成大致相同的平面形状的凹部21的情况进行说明。

接着，为了对本实施方式的工件游星轮10的凹部21的形状的详细情况进行说明，如图1所示，一边与以往的一般的凹部a21的形状进行比较一边进行说明。

以往的设置于游星轮基板a1的一般的凹部a21的形状形成为在俯视时呈开放侧窄的梯形形状，但形成为比本实施方式的凹部21大。即，成为工件保持孔a2的径向的高度ha一般为2.9mm以上。

另外，工件保持孔a2的周向与凹部a21的斜边a211所成的角θa设定为60°以下。即，为了提高树脂插入部a3与游星轮基板a1的嵌合力，而提高凹部a21的高度ha，并且减小斜边a211的角度(θa)以使卡挂增强，从而形成为不易发生拉拔的形状。

与此相对，设置于本实施方式的工件保持孔2的周边的游星轮基板1的凹部21形成为结合力(嵌合力)以不会引起树脂插入部3向工件保持孔2的中心侧的脱落的程度变弱的形状。

即，凹部21的高度h设定为0.5mm以上且小于2.9mm，低于以往的高度ha。例如，将凹部21的高度h设定为1.0mm至2.0mm左右，优选设定为1.5mm至1.7mm左右。

而且，凹部21的斜边211与工件保持孔2的周向在凹部21的外侧所成的角θ设定为大于60°且小于90°，与以往所成的角θa相比为立起的角度。例如，将斜边211与工件保持孔2的周向所成的角θ设定为65°至70°左右。

即，通过使凹部21的高度h低于以往，从而减少填充于凹部21的树脂插入部3的合成树脂材料的量。另外，通过使斜边211与工件保持孔2的周向所成的角θ大于以往，从而在树脂插入部3向工件保持孔2的中心侧被拉伸时，作用于游星轮基板1的力降低。关于由形成为如上所述的凹部21的形状产生的作用的详细情况，将在后面记述。

在此，在本实施方式的工件游星轮10的游星轮基板1，沿着工件保持孔2的周向，实施用于防止树脂插入部3向游星轮基板1的表背方向的脱落的加工。以下，参照图3、4对脱落防止方法的一个例子进行说明，但并不限于该结构，也可应用公知的脱落防止方法，即，对游星轮基板的内周面进行加工，以使工件保持孔的径向的截面形状为凹形状、凸形状、台阶形状等。

在图3中，将工件游星轮10的工件保持孔2的内周面附近放大并用俯视图进行表示。如从图3的a-a箭头方向观察的图4(a)的剖视图所示，处于工件保持孔2的中心侧的内周面相对于游星轮基板1的表背方向为倾斜面。因此，将游星轮基板1从表侧朝向背侧而变宽的倾斜面设为正倾斜面22a。

并且，在图3中将形成正倾斜面22a的范围表示为“表加工”。在该“表加工”的范围设有两个凹部21、21，在凹部21以及凹部21、21之间的向工件保持孔2侧露出的侧面连续地设有正倾斜面22a。此外，在1处表加工的范围中说明为两个的凹部21的数量是一种例示，并不限定于此，凹部21的数量能够任意设定。

另一方面，如从图3的b-b箭头方向观察的图4(b)的剖视图所示，在图3中表示为“背加工”的范围的内周面也相对于游星轮基板1的表背方向为倾斜面。因此，将游星轮基板1从表侧朝向背侧变窄的倾斜面设为负倾斜面22b。

在此，图4为在图3的截面加入了树脂插入部3的结构的剖视图。树脂插入部3分别紧贴于正倾斜面22a和负倾斜面22b而形成。即，在游星轮基板1侧设置有正倾斜面22a的部位处，树脂插入部3的紧贴的对峙面为负倾斜面32b(参照图4(a))。

另一方面，在游星轮基板1侧设置有负倾斜面22b的部位处，树脂插入部3的紧贴的对峙面为正倾斜面32a(参照图4(b))。此外，树脂插入部3的形成于工件保持孔2的中心侧的内侧面31全部为铅垂面。

另外，作为参考，在图3及图4中用双点划线表示以往的凹部a21的形状。观察图4(a)及图4(b)可知，以往的凹部a21的倾斜面的位置与本实施方式的工件游星轮10的凹部21的倾斜面(22a、22b)的位置相比，大幅度地设置于游星轮基板1的内部侧。

接下来，参照图5、6对本实施方式的工件游星轮10的制造方法进行说明。

首先，将金属板设置于激光切割加工机，从表侧对金属板进行切割加工(步骤s1)。在此，所谓金属板的“表侧”，是指最开始进行切割加工的表面，将相反侧的面作为“背侧”。另外，以下，也存在用将从表侧进行的切割加工省略为“表加工”，并将从背侧进行的切割加工省略为“背加工”的术语进行说明的情况。

当通过激光切割加工机进行激光加工时，其切割面为从表侧朝向背侧变宽的倾斜面(参照图4(a))。在步骤s1中，进行图3所示的“表加工”的范围的切割加工。通过该表加工而形成的倾斜面为正倾斜面22a。

然后，在到达背加工的区域的时刻，暂时中断切割加工，使照射激光的位置移动至隔着背加工区域而相邻的下一个表加工区域的起点。如上所述，沿工件保持孔2的周向隔开间隔地进行断续的表加工区域的切割加工。

在图2所示的工件游星轮10的情况下，在游星轮基板1的全部工件保持孔2进行表加工区域的切割加工。然后，使金属板翻转，转移至从金属板的背侧进行的切割加工的工序(步骤s2)。

当将翻转为背侧的金属板设置于激光切割加工机时，在步骤s1中切割出的切割线沿周向隔开间隔地呈现。在背加工中，通过进行连接断续的切割线的切割加工，从而切割出全部的工件保持孔2。

在背加工中，切割面也形成为从背侧朝向表侧变宽的倾斜面(参照图4(b))。通过该背加工而形成的倾斜面为负倾斜面22b。

然后，在达到基于表加工的切割线的时刻，暂时中断切割加工，使照射激光的位置移动至隔着表加工区域而相邻的下一个背加工区域的起点。如上所述，进行断续的背加工区域的切割加工，直至工件保持孔2的切割线成1周并连接为止。

另外，在步骤s2中，还进行外形部11及研磨剂供给孔12等的切割加工。然后，进行调整游星轮基板1的厚度的研磨加工(精加工)及抛光加工(步骤s3)。

相对于如上所述成型的游星轮基板1的工件保持孔2、……的内周面，在步骤s4的工序中，分别设置树脂插入部3、……。树脂插入部3通过合成树脂材料的注塑成型而设置。

在图6中，示出了用于对注塑成型的工序进行说明的示意图。注塑成型机4具备：使游星轮基板1的例如表面接触的模具41a；使相反侧的背面接触的模具41b；以及合成树脂材料的投入口43。

将一个模具41a设置于注塑成型机4，一边将从模具41a突出的定位销42插入游星轮基板1的定位孔13(参照图7)，一边使游星轮基板1的表面紧贴于模具41a。另外，在除为了设置树脂插入部3而需要形成为空洞的部位以外的工件保持孔2的区域，配置内模框45。

接着，相对于游星轮基板1的背面，压靠另一个模具41b。即，使游星轮基板1介于两个模具41a、41b之间。在如上所述将游星轮基板1设置于注塑成型机4时，从投入口43延伸的注入路径44的分支路441的前端与空洞连接，所述空洞是为了设置树脂插入部3而设置的。

因此，当在投入口43投入(注入)加热熔融后的合成树脂材料时，在注入路径44和分支路441流动的合成树脂材料注塑注入到待成为树脂插入部3的空洞。

然后，使注塑注入的合成树脂材料通过冷却而固化，从而树脂插入部3的注塑成型得到实施。此外，在未配合内侧面31的位置而设置内模框45的情况下，在注塑成型后进行用于形成内侧面31的切割加工。

当如上所述进行注塑成型时，在注塑注入的高温的合成树脂材料冷却而凝固时会发生急剧的温度变化。图7是用于对在注塑成型后一般的树脂插入部a3因冷却而收缩时产生的力进行说明的示意图。

在此，由于游星轮基板a1与树脂插入部a3的热膨胀系数不同，因此相对于温度变化的变形量不同。而且，当填充于凹部a21的合成树脂材料的收缩量大于游星轮基板a1的收缩量时，凹部a21周边的游星轮母材被拉伸。由于凹部a21周边的游星轮母材被切口而变弱，因此若在此产生大的拉伸力，则有可能在游星轮基板a1整体产生翘曲、变形。

如本实施方式的工件游星轮10那样，通过降低凹部21的高度h来减少收缩量，从而能够降低如上所述产生的拉伸力。另外，即使在填充到凹部21中的合成树脂材料发生收缩，如果凹部21的斜边211处的卡挂的力小，则也能够减少在游星轮基板1的母材产生的拉伸力。总而言之，通过降低凹部21的高度h，并增大工件保持孔2的周向与斜边211所成的角θ，能够防止游星轮母材被拉伸，导致在游星轮基板1整体产生翘曲、应变而发生变形的情况。

接下来，对本实施方式的工件游星轮10及工件游星轮10的制造方法的作用进行说明。

如上所述构成的本实施方式的工件游星轮10在凹部21紧贴地形成有树脂插入部3，所述凹部21沿游星轮基板1的工件保持孔2的周向隔开间隔地形成且在俯视时呈梯形形状。

并且，该凹部21的高度h设定为0.5mm以上且小于2.9mm，并形成为低于以往的凹部a21的高度ha。当凹部21的高度h变低时，在注塑成型时成为高温的合成树脂材料冷却而收缩时的收缩量得到抑制，因此作用于与树脂插入部3紧贴的游星轮基板1的拉伸力也降低。其结果，不易在游星轮基板1发生翘曲、应变等变形。

特别是，通过使凹部21的斜边211与工件保持孔2的周向所成的角θ大于60°，与角度小的情况相比斜边211的卡挂变弱而变得容易脱出，因此能够抑制作用于游星轮母材的拉伸力。在此，如果所成的角θ设定为小于90°，则能够确保填充到凹部21中的合成树脂材料的最低限度的卡挂。

另外，沿工件保持孔2的周向交替地连续形成正倾斜面22a和负倾斜面22b，并在这些倾斜面(22a、22b)紧贴地设置树脂插入部3，所述正倾斜面22a和负倾斜面22b相对于表背方向的倾斜是相反的。

通过如上所述设置倾斜为相反的正倾斜面22a和负倾斜面22b，相对于游星轮基板1的表背中的任意方向均能够防止树脂插入部3从工件保持孔2的脱落。

即，在通过注塑成型而设置树脂插入部3的情况下，虽然在冷却而固化时发生收缩，但如果设置有两个方向的倾斜面(22a、22b)，则即使树脂插入部3有些收缩也能够防止脱落。

另外，通过沿工件保持孔2的周向连续设置正倾斜面22a和负倾斜面22b，树脂插入部3的对峙面，即与工件保持孔2的内周面相接的面被正倾斜面22a和负倾斜面22b在整周支承，从而能够提高工件保持孔2对树脂插入部3进行保持的保持力。

而且，通过沿工件保持孔2的周向隔开间隔地形成凹部21、……，利用由此实现的嵌合与正倾斜面22a及负倾斜面22b的协同效应，能够形成为游星轮基板1与树脂插入部3的一体性高的工件游星轮10。

并且，如果是本实施方式的工件游星轮10的制造方法，则由于通过注塑成型而设置树脂插入部3，因此能够容易地制造出游星轮基板1与树脂插入部3的一体性高的工件游星轮10。

另外，当进行切割加工时，虽然在游星轮基板1作用有应力、加工热量而发生翘曲、起伏等加工应变，但通过从表侧与背侧两方进行切割加工，能够使加工应变抵消而减少。特别是，通过沿工件保持孔2的周向以等间隔交替地重复进行表加工与背加工，能够加工成平坦度更高的游星轮基板1。

【实施例1】

下面，在本实施例1中，对实验的结果进行说明，该实验是为了确认在所述实施方式中所说明的工件游星轮10的变形的有无而进行的。此外，对于与在所述实施方式中所说明的内容相同或者等同的部分的说明，使用相同的术语或者相同的符号来进行说明。

在本实施例1中，对使形成于工件游星轮10的游星轮基板1的凹部21的高度h(参照图1)从0.4mm变化至2.9mm，并且使凹部21的斜边211与工件保持孔2的周向在凹部21的外侧所成的角θ(下面，称为“角度θ”)从60°变化至90°的各种情况，进行了确认。

总而言之，将凹部21的高度h和角度θ设为变量，通过在白光的照明下确认光的反射状态这样的目视评价来评价在游星轮基板1是否发生变形。

进行实验的工件游星轮10通过在所述实施方式中所说明的工件游星轮10的制造方法来制作。在以下的表1中示出实验结果。

【表1】

上述的凹部21的高度h与角度θ的组合有72种，由于现实中无法确认全部的组合，因此对于未进行实验的组合标注“-”标记。另外，在高度h为0.4mm的情况下，在游星轮基板1的工件保持孔2所设置的凹部21中的树脂插入部3的嵌合力变得过小而不稳定，因此未进行实验。而且，在角度θ为90°的情况下，不产生凹部21中的卡挂，从而在游星轮基板1不产生拉伸力，因为未进行实验。

表1所示的实验结果的“○”标记是得到如下评价的情况，即，在游星轮基板1未发生变形从而光均匀地反射。另外，实验结果的“×”标记是识别出变形的情况。并且，实验结果的“△”标记是稍微识别出变形的情况。

观察表1，在凹部21的高度h设定为0.5mm、1.0mm、1.5mm、1.7mm及2.0mm的游星轮基板1中，在全部的角度θ中未识别出变形。认为这是由于凹部21中的树脂插入部3的收缩量少，因此未发生游星轮基板1的变形。

另外，对于凹部21的高度h设定为2.9mm的游星轮基板1，在角度θ为85°时未识别出变形，但在角度θ为70°和60°的游星轮基板1中识别出了变形。总而言之，认为即使在凹部21的高度h高从而树脂插入部3的收缩量增加的情况下，如果基于成为楔子的角度θ的卡挂的力小，则在游星轮母材产生的拉伸力变小，从而在游星轮基板1未发生变形。另一方面，角度θ为70°和60°的游星轮基板1中，由于卡挂的力较大地作用，因此观察到了游星轮基板1的变形。

根据这些结果进行判断，如果凹部21的高度h为0.5mm以上且2.9mm以下则存在不发生变形的情况，如果为小于2.9mm则不易发生变形，并且，如果为0.5mm至2.0mm之间，则可认为在任意角度θ下都不发生变形。

另外，如果角度θ为60°以上且小于90°则存在不发生变形的情况，在角度θ为60°且凹部21的高度h为2.8mm时稍微发生变形，因此认为优选设定为高度h小于2.9mm，并且角度θ大于60°且小于90°。

以上，参照附图，对本发明的实施方式及实施例进行了详述，但具体的结构不限于该实施方式或实施例，不脱离本发明的主旨的程度的设计变更包含在本发明中。

例如，在所述实施方式中，对工件保持孔2为圆形的工件游星轮10进行了说明，但并不限于此。对于具有例如长方形(包括正方形)的工件保持孔的工件游星轮，也可应用本发明。而且，工件保持孔也可以为圆形及长方形之外的其他形状。

另外，在所述实施方式中，对通过激光加工来对游星轮基板1进行切割加工的情况进行了说明，但并不限定于此，只要是能够形成凹部21的切割加工即可，如水切割加工、线切割加工等。

水切割加工是通过从喷嘴喷出高压水而进行的切割加工，能够在形成倾斜面的同时进行精密的切割。另外，通过在水中添加研磨材料，即使是硬质的材料也能够进行切割。

线切割加工是通过在线材与游星轮基板之间施加电压而引起放电所进行的切割加工，能够在形成倾斜面的同时进行精密的切割。

另外，在所述实施方式中，对在工件保持孔2的内周面的整周以等间隔形成凹部21的情况进行了说明，但并不限定于此，凹部21也可沿周向隔开任意间隔地断续设置。

【符号说明】

10：工件游星轮

1：游星轮基板

2：工件保持孔

21：凹部

211：斜边

22a：正倾斜面

22b：负倾斜面

3：树脂插入部

h：高度

θ：所成的角