1.一种铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:将铝粉、钛粉和硼粉按比例称量后,充分混合,得到混合物料,其中,所述铝粉、钛粉和硼粉的平均粒径为5μm~200μm,所述铝粉和钛粉的原子百分比为al:20%~80%,ti:80%~20%,所述硼粉原子数量是所述铝粉和钛粉原子数量之和的1%~20%;
步骤2:将步骤1得到的混合物料通过球磨进行机械合金化;
步骤3:将球磨后的粉末放入热压烧结炉中进行加压加热烧结,烧结条件如下:从室温升温到300℃,保温15min~30min,然后升温到400℃~580℃,保温10min~60min,烧结在惰性气氛或还原性气氛或真空状态下进行,压力为5mpa~50mpa;
步骤4:高温烧结后,自然冷却至室温,冷却过程中保持5mpa以上的压力,待冷却至室温时,取出模具,得到铝钛硼靶材坯料;
步骤5:将铝钛硼靶材坯料在300℃~350℃进行退火处理24h,然后随炉冷却;
步骤6:将退火后的铝钛硼靶材坯料进行锻造,锻造后变形量为20%~30%,然后通过机械加工,即得铝钛硼靶材。
2.根据权利要求1所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述铝粉、钛粉和硼粉的平均粒径为10μm~50μm,纯度为99.9%以上。
3.根据权利要求2所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤1中还加入x元素或化合物粉末,所述x元素或化合物为c、si、b4c中的一种或几种,所述c、si、b4c粉末的平均粒径为5μm~200μm,所述x元素的含量为al、ti、b元素原子数量之和的0.5%~10%。
4.根据权利要求3所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤1,采用混料罐,在三维混料机上进行混料,混料时间为30min~60min。
5.根据权利要求4所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤2中,采用行星式高能球磨机进行球磨,球料比为10∶1,球磨时间为1h~12h。
6.根据权利要求5所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤2中,球磨罐中为惰性气氛。
7.根据权利要求6所述的铝钛硼靶材粉末固相合金化烧结方法,其特征在于,所述步骤6中,锻造温度为300℃~500℃。
8.一种铝钛硼靶材,其特征在于,包括采用权利要求1~7任一项方法制备的铝钛硼靶材。