技术特征：
1.一种薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，包括：喷雾器，将通过源注入口注入的源和通过载气注入口注入的载气混合，并且喷射混合的气体；汽化部，具有第一及第二汽化空间，用于汽化从所述喷雾器喷射的混合气体，并且所述汽化部将汽化的气体作为工艺气体通过出口排放；及加热部，用于将所述汽化部内的混合气体保持预定温度；其中，所述加热部包括：第一加热部，排列成包围所述第一汽化空间，以保持所述第一汽化空间内的混合气体的温度；及第二加热部，与所述第一加热部一同排列成包围所述第二汽化空间，以保持所述第二汽化空间内的混合气体的温度。2.根据权利要求1所述的薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，所述加热部还包括第三加热部，所述第三加热部排列在配置有所述出口的排放管外侧，以保持通过所述出口排放的汽化的气体的温度。3.根据权利要求2所述的薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，所述第一加热部、第二加热部及第三加热部由热线形状的加热器构成，而所述第一加热部和第三加热部为用一条热线构成一体型。4.根据权利要求1所述的薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，所述载气注入口具有收缩管形状，所述收缩管具有相比于流进载气的部分排放载气的部分更窄的流路。5.根据权利要求4所述的薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，所述载气注入口包括：第一部分，流进所述载气；及第二部分，与所述汽化部连通，并且针对所述第一部分朝向所述汽化部下方倾斜；其中，相比于所述第一部分所述第二部分的流路更窄。6.根据权利要求1所述的薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，所述汽化部包括：第一汽化部，与所述喷雾器连通，具有所述第一汽化空间，所述第一汽化空间首次汽化从所述喷雾器喷射的混合气体；及第二汽化部，具有所述第二汽化空间，所述第二汽化空间用于完全汽化从所述第一汽化部流进的混合气体以作为所述工艺气体进行排放。7.根据权利要求6所述的薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，所述第一汽化部为从所述喷雾器间隔配置，并且由容器部和多个固定部构成，所述容器部为配置在所述第二汽化部内的圆柱形状，所述多个固定部为用于固定所述容器部的棒条形状，并且构成为使所述多个固定部之间的空间部与所述第二汽化部连通；在所述容器部的外侧面和外侧底面配置有所述第一加热部，以构成为使所述第一汽化空间被第一加热部包围。8.根据权利要求7所述的薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，所述第二汽化部由圆柱形状的外侧管构成，
在所述外侧管的外侧面及外侧底面配置有第二加热部，构成为使所述第二汽化空间被第一及第二加热部包围。9.根据权利要求8所述的薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，所述汽化部还包括汽化流路，所述汽化流路连通于所述第一汽化部和所述第二汽化部之间，以从所述第一汽化部向所述第二汽化部引导混合气体。10.根据权利要求9所述的薄膜沉积用汽化装置，其特征在于，所述汽化流路排列于在所述第一加热部中形成在所述容器部外侧面的部分和在所述第二加热部中形成在所述外侧管外侧面的部分之间，通过第一及第二加热部加热通过所述汽化流路的混合气体。
技术总结
本发明的汽化装置可包括：喷雾器，将通过源注入口注入的源和通过载气注入口注入的载气混合，并且喷射混合的气体；汽化部，具有第一及第二汽化空间，用于汽化从所述喷雾器喷射的混合气体，并且所述汽化部将汽化的气体作为工艺气体通过出口排放；及加热部，用于将所述汽化部内的混合气体保持预定温度。所述加热部可包括：第一加热部，排列成包围所述第一汽化空间，以保持所述第一汽化空间内的混合气体的温度；及第二加热部，与所述第一加热部一同排列成包围所述第二汽化空间，以保持所述第二汽化空间内的混合气体的温度。空间内的混合气体的温度。空间内的混合气体的温度。
技术研发人员：金基南
受保护的技术使用者：M.I有限责任公司
技术研发日：2020.11.23
技术公布日：2022/5/31