一种化学气相沉积炉漏气处理装置的制作方法

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本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉漏气处理装置。


背景技术：

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化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、ii-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。
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现有技术专利：一种化学气相沉积炉漏气处理辅助装置，授权号：cn208604206u，该实用新型专利中在化学气相沉积炉本体的外侧设有第一弹性塑料保护套，第一弹性塑料保护套的上端和下端分别连接有第一连通管和第二连通管，且第一连通管与进气管螺纹连接、排气管与第二连通管螺纹连接，第一连通管上连接有第一阀门，第二连通管上连接有第二阀门，第一弹性塑料保护套的侧壁固定连接有抽气管，抽气管上连接有抽气阀门，可以有效实现及时发现化学气相沉积炉漏气的效果，减少沉积过程中外界杂质的掺杂，然而在漏气时辅助装置并不能精准地找出炉体的漏气点，存在一定的局限性，并且保护套在触发开关动作之前需要经过长时间的漏气，并不能在第一时间发出警报。


技术实现要素：

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本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种化学气相沉积炉漏气处理装置。
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为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
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一种化学气相沉积炉漏气处理装置，包括炉体，所述炉体的外部包裹有隔热层，所述隔热层的外部包裹有防漏气包裹层，所述防漏气包裹层的一侧通过法兰盘固定连接有抽气管，且防漏气包裹层上开设有若干个通孔，所述通孔的内部通过粘合剂粘接有气囊，所述炉体的两侧均固定连接有炉体管道，所述炉体管道固定连接有连接管道。
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优选的，所述防漏气包裹层的四侧均通过螺丝安装有红外传感器。
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优选的，所述防漏气包裹层的内壁开设有通槽，通槽的内部粘接有橡胶垫，所述连接管道的外侧设置有一体结构的密封圈，所述橡胶垫包裹在所述密封圈的外部，且连接管道穿过所述通槽的内部。
[0009]
优选的，所述通槽的内壁两侧均开设有凹槽，凹槽的内部滑动连接有挤压块，所述挤压块的端部与橡胶垫压紧接触。
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优选的，所述凹槽的内壁通过卡扣固定连接有弹簧，弹簧的另一端通过卡扣与所述挤压块的一侧固定连接。
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本实用新型的有益效果是：
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1、本实用新型中通过通孔、气囊等结构的设置，在漏气时由于防漏气包裹层与炉体之间为真空状态，当气体泄露时，会在泄露区域内使对应的气囊充气鼓起，便于技术人员寻找炉体的漏气点，具有较强的实用性。
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2、本实用新型中通过气囊、红外传感器等结构的设置，沉积炉正常工作时气囊收纳在通孔的内部，漏气时气囊充气膨胀至通孔的外部，红外传感器能够在第一时间检测到气体泄露，进而发出警报提示工作人员。
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3、本实用新型中通过密封圈、橡胶垫、挤压块以及弹簧等结构的设置，在连接管道与防漏气包裹层之间增设了多个密封结构，有助于加强连接管道处的密封性，并且在挤压块的作用下持续地对橡胶垫施加压力，以此来保持密封效果，可以避免在部件松动时报警功能误动作。
附图说明
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图1为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉漏气处理装置的结构示意图；
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图2为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉漏气处理装置的标号a处放大图。
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图中：1炉体、2隔温层、3防漏气包裹层、4抽气管、5炉体管道、6连接管道、7红外传感器、8通孔、9气囊、10橡胶垫、11密封圈、12挤压块、13凹槽、14弹簧。
具体实施方式
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下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
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参照图1-2，一种化学气相沉积炉漏气处理装置，包括炉体1，所述炉体1的外部包裹有隔热层2，隔热层2的外部包裹有防漏气包裹层3，防漏气包裹层3的一侧通过法兰盘固定连接有抽气管4，且防漏气包裹层3上开设有若干个通孔8，通孔8的内部通过粘合剂粘接有气囊9，炉体1的两侧均固定连接有炉体管道5，炉体管道5固定连接有连接管道6，通过通孔8、气囊9等结构的设置，在漏气时由于防漏气包裹层3与炉体1之间为真空状态，当气体泄露时，会在泄露区域内使对应的气囊9充气鼓起，便于技术人员寻找炉体1的漏气点，具有较强的实用性，通过气囊9、红外传感器7等结构的设置，沉积炉正常工作时气囊9收纳在通孔8的内部，漏气时气囊9充气膨胀至通孔8的外部，红外传感器7能够在第一时间检测到气体泄露，进而发出警报提示工作人员，通过密封圈11、橡胶垫10、挤压块12以及弹簧14等结构的设置，在连接管道6与防漏气包裹层3之间增设了多个密封结构，有助于加强连接管道处的密封性，并且在挤压块12的作用下持续地对橡胶垫10施加压力，以此来保持密封效果，可以避免在部件松动时报警功能误动作，防漏气包裹层3的四侧均通过螺丝安装有红外传感器7，防漏气包裹层3的内壁开设有通槽，通槽的内部粘接有橡胶垫10，连接管道6的外侧设置有一体结构的密封圈11，橡胶垫10包裹在密封圈11的外部，且连接管道6穿过通槽的内部，通槽的内壁两侧均开设有凹槽13，凹槽13的内部滑动连接有挤压块12，挤压块12的端部与橡胶垫10压紧接触，凹槽13的内壁通过卡扣固定连接有弹簧14，弹簧14的另一端通过卡扣与挤压块12的一侧固定连接。
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本实施例中，设备在使用时，将连接管道6与炉体1上对应的炉体管道5螺纹连接，随后将隔温层2套设在炉体1外侧，并将防漏气包裹层3套设在隔温层2的外部，利用隔温层2避免防漏气包裹层3受高温形变，防漏气包裹层3与连接管道6处采用密封圈11和橡胶垫10双重密封结构，增强密封效果，同时挤压块12借助弹簧14的弹力持续挤压橡胶垫10的两端，在部件松动时，借助该挤压力橡胶垫10会进一步地贴紧密封圈11，从而确保了连接管道6处的密封效果；
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进一步的，使用者随后将抽气管4与负压装置连接，通过负压装置将防漏气包裹层3与炉体1之间抽至真空状态，在正常运行时气囊9内部无气体处于收缩状态，当炉体1漏气时，漏气处的气体会对应地流动至气囊9内部，使气囊9膨胀顶出，此时红外传感器7则检测到气囊9顶出通孔8，将信号传输至报警器(图中未表示出)，报警器为现有技术，此处不再赘述，经报警器可提醒工作人员，随后工作人员可通过寻找膨胀的气囊9来快速地找出炉体1的漏气位置进行维修。
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以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。