一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置的制作方法

技术领域：

本实用新型涉及管道混合器技术领域，具体为一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置。

背景技术：
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工业生产中利用大型气相沉积炉对炭炭复合材料进行气相沉积，通入天然气或丙烷等气体在高温下分解出碳原子，将其吸附于炭炭预制体内，而通入气体(气体由气柱排出)的气流均匀性决定了预制体沉积效果，现有的气相沉积炉按照设计只能装入设定尺寸的产品；但在实际生产中随着产品尺寸的增加，装炉时气柱出现错位，导致气柱不处于产品的中心位置，还会出现一个炭炭预制体内存在两个气柱，导致气流不均匀，产品出炉后出现炭黑、预制体过早的表面结壳、内部沉积炭少等缺陷，影响产品沉积效果。

技术实现要素：
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本实用新型的目的在于提供一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置。

本实用新型的内容：一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其包括“z”形的可伸缩式导气管组件。

进一步的，所述可伸缩式导气管组件从左至右依次包括第一直角弯管、连接直管和第二直角弯管，所述第一直角弯管的外圆周面、所述第二直角弯管的外圆周面均与所述连接直管的内圆周面滑动连接，所述第二直角弯管的另一端与导气直管的内圆周面滑动连接，所述第一直角弯管与所述连接直管之间为过渡配合、所述第二直角弯管与所述连接直管之间为过渡配合。

进一步的，在所述连接直管和所述导气直管内均同心的固定连接有限位卡环。

进一步的，在所述连接直管的两端外圆周面、所述导气直管的两端外圆周面上均开有螺纹通孔，所述螺纹通孔内螺接有锁紧螺钉。

本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单，设计可伸缩式导气管组件，可根据气柱偏移的位置调节长度，使进气口位于产品中心，保证每柱产品内有且只有一个进气口，确保炉内产品均匀通气，沉积效果良好，产品表面炭黑减少或无炭黑；提高了产品的沉积质量，值得大范围推广使用。

附图说明：

图1为本实用新型的内部结构剖视图；

图2为本实用新型沉积炉气柱的分布图；

图3为本实用新型的可伸缩式导气管组件的使用状态图；

图中，第一直角弯管1、连接直管2、第二直角弯管3、导气直管4、限位卡环5、锁紧螺钉6、沉积炉7、炭炭预制筒体8、气柱9、可伸缩式导气管组件10。

具体实施方式：

如图1至图3所示，一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其包括“z”形的可伸缩式导气管组件；所述可伸缩式导气管组件从左至右依次包括第一直角弯管1、连接直管2和第二直角弯管3，所述第一直角弯管1的外圆周面、所述第二直角弯管3的外圆周面均与所述连接直管2的内圆周面滑动连接，所述第二直角弯管3的另一端与导气直管4的内圆周面滑动连接，所述第一直角弯管1与所述连接直管2之间为过渡配合、所述第二直角弯管3与所述连接直管2之间为过渡配合；在所述连接直管2和所述导气直管4内均同心的固定连接有限位卡环5；在所述连接直管2的两端外圆周面、所述导气直管4的两端外圆周面上均开有螺纹通孔，所述螺纹通孔内螺接有锁紧螺钉6。

工作原理：如图2所示为沉积炉7正常使用时，装入设计尺寸的炭炭预制筒体8进行气相沉积；如图3所示，当需要在沉积炉7内装入更大尺寸的炭炭预制筒体8时，需要可伸缩式导气管组件10安装在出现错位的气柱9上，使出现偏离的气柱9位于炭炭预制筒体8的中心，同时将多余的气柱9导出到炭炭预制筒体8外，保证每个炭炭预制筒体8只有一个气柱9，具体安装时，可将可伸缩式导气管组件10的导气直管4安装在气柱9上，可以旋转锁紧螺钉6将导气直管4与气柱9紧固。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其特征在于：其包括“z”形的可伸缩式导气管组件(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其特征在于：所述可伸缩式导气管组件从左至右依次包括第一直角弯管(1)、连接直管(2)和第二直角弯管(3)，所述第一直角弯管(1)的外圆周面、所述第二直角弯管(3)的外圆周面均与所述连接直管(2)的内圆周面滑动连接，所述第二直角弯管(3)的另一端与导气直管(4)的内圆周面滑动连接，所述第一直角弯管(1)与所述连接直管(2)之间为过渡配合、所述第二直角弯管(3)与所述连接直管(2)之间为过渡配合。

3.根据权利要求2所述一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其特征在于：在所述连接直管(2)和所述导气直管(4)内均同心的固定连接有限位卡环(5)。

4.根据权利要求2所述的一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其特征在于：在所述连接直管(2)的两端外圆周面、所述导气直管(4)的两端外圆周面上均开有螺纹通孔，所述螺纹通孔内螺接有锁紧螺钉(6)。

技术总结
本实用新型公开了一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件；本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单，设计可伸缩式导气管组件，可根据气柱偏移的位置调节长度，使进气口位于产品中心，保证每柱产品内有且只有一个进气口，确保炉内产品均匀通气，沉积效果良好，产品表面炭黑减少或无炭黑；提高了产品的沉积质量，值得大范围推广使用。

技术研发人员：张彦利;赵永尚;赵永雷;张全顺
受保护的技术使用者：内蒙古中晶科技研究院有限公司
技术研发日：2020.06.12
技术公布日：2021.03.30