一种防电弧基座的制作方法

本实用新型涉及薄膜沉积设备用基座技术领域，具体是一种防电弧基座。

背景技术：

加热基座在工业加工生产中应用比较广泛，尤其在液晶面板制造领域，往往需要在玻璃基板上实施薄膜沉积的工艺，此工艺一般需要采用加热基座来提供一定的热量，以满足实施薄膜沉积工艺所需的温度条件。

实施薄膜沉积的工艺一般采用等离子体化学气相沉积技术，用等离子体激活反应气体，促进在基体表面或近表面空间进行化学反应，生成固态膜。即在高频或直流电场作用下，源气体电离形成等离子体，利用低温等离子体作为能量源，通入适量的反应气体，利用等离子体放电，使反应气体激活并实现化学气相沉积。在上述过程中，往往会在金属基座的四周，即不与玻璃基板相接触的部位产生电弧，不仅给薄膜沉积工艺的正常进行造成了影响，而且也具有一定的安全隐患。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的缺陷和不足，提供一种防电弧基座，在金属基座的四周设置环形台阶，并在环形台阶上设置多个绝缘条块，在实施薄膜沉积的工艺过程中能够防止电弧的产生，以保证薄膜沉积工艺的正常进行，保障安全生产。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种防电弧基座，包括有金属基座和设置于金属基座上的玻璃基板，其特征在于：所述的金属基座上围绕所述的玻璃基板四周设有环形台阶，所述环形台阶的台阶面上分别设有首尾相对的多个绝缘条块，每个绝缘条块与所述环形台阶在相对的一侧之间分别具有间隙，相邻二个绝缘条块之间具有间隙；所述环形台阶的台阶面上分别设有多组定位孔，所述的多组定位孔分别与所述多个绝缘条块一一对应，所述多个绝缘条块的底端分别固定连接有对应插入各组定位孔内的定位销柱，所述的定位销柱分别通过弹性卡接件卡接在所在的定位孔内。

进一步的，所述的多个绝缘条块均采用陶瓷条块。

进一步的，多组定位孔中，每组定位孔均包括有一个以上的定位孔。

进一步的，所述的弹性卡接件包括有固定连接在所述定位销柱外壁上的多个l形弹性片，所述多个l形弹性片的竖向部分分别具有向所在定位孔的内壁一侧弯曲的弯曲部，所述弯曲部的外侧分别与所在定位孔的内壁相抵触。

进一步的，所述的多个l形弹性片等间距的围绕在所述定位销柱的四周。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在金属基座的四周设置环形台阶，并在环形台阶上设置多个绝缘条块，在实施薄膜沉积的工艺过程中能够防止电弧的产生，保证了薄膜沉积工艺的正常进行，保障了安全生产。

2、本实用新型所采用的多个绝缘条块，每个绝缘条块与环形台阶在相对的一侧之间分别具有间隙，相邻二个绝缘条块之间也具有间隙，形成让位空间，能够防止金属基座在产生热膨胀的现象时对绝缘条块造成损伤。

3、本实用新型采用定位孔、定位销柱和弹性卡接件，既能够对绝缘条块进行定位，避免了绝缘条块发生移位，又能够将绝缘条块相对固定在环形台阶的台阶面上，避免了绝缘条块发生脱落，便于装配。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1中a部分结构放大示意图。

图3为图1中b部分结构放大示意图。

图4为本实用新型结构剖视图。

图5为图4中c部分结构放大示意图。

图6为本实用新型中多个绝缘条块的分布示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参见图1-6，一种防电弧基座，包括有金属基座1和设置于金属基座1上的玻璃基板2，金属基座1上围绕玻璃基板2四周设有环形台阶3，环形台阶3的台阶面上分别设有首尾相对的多个绝缘条块4，每个绝缘条块与环形台阶在相对的一侧之间分别具有间隙5，相邻二个绝缘条块之间具有间隙6；环形台阶3的台阶面上分别设有多组定位孔7，多组定位孔7分别与多个绝缘条块4一一对应，多个绝缘条块4的底端分别固定连接有对应插入各组定位孔内的定位销柱8，定位销柱8分别通过弹性卡接件9卡接在所在的定位孔内。

本实用新型中，多个绝缘条块4均采用陶瓷条块，成本低，易实现，并具有很好的绝缘性能。

多组定位孔7中，每组定位孔均包括有一个以上的定位孔，优选为二个定位孔，既有利于各个绝缘条块的定位和固定，又简化了加工定位孔的工艺，节约了成本。

弹性卡接件9包括有固定连接在定位销柱8外壁上的多个l形弹性片91，多个l形弹性片91的竖向部分分别具有向所在定位孔的内壁一侧弯曲的弯曲部92，弯曲部92的外侧分别与所在定位孔的内壁相抵触。

多个l形弹性片91等间距的围绕在定位销柱9的四周，使得各l形弹性片受力均匀，提高了相应绝缘条块的稳定性。

以下结合附图对本实用新型作进一步的说明：

本实用新型在金属基座1上围绕玻璃基板2四周，即在金属基座1上不与玻璃基板2相接触的部位，也是易产生电弧的部位设置环形台阶3，并在环形台阶3的台阶面上分别设置首尾相对的多个绝缘条块4，即多个陶瓷条块4。由于多个绝缘条块4设置在原来易产生电弧的部位处，使得该部位具有绝缘性能，这样，在实施薄膜沉积的工艺过程中能够防止电弧的产生，保证了薄膜沉积工艺的正常进行，保障了安全生产。

由于金属基座1通常为加热型金属基座，能够产生一定的热量来满足实施薄膜沉积工艺所需的温度条件，因此通过热胀冷缩的原理可知，金属基座1在工作过程中一般会产生热膨胀的现象，就会挤压绝缘条块，而绝缘条块一般相较于金属更为脆弱，例如陶瓷，受到金属基座1的挤压，长时间就会发生破损，造成损伤，影响到其使用寿命。本实用新型所采用的多个绝缘条块4，每个绝缘条块与环形台阶在相对的一侧之间分别具有间隙5，相邻二个绝缘条块之间也具有间隙6，这样就形成了较小但足够的让位空间，这样，由于间隙5和间隙6的存在，能够防止金属基座1在产生热膨胀的现象时对绝缘条块造成损伤。

需要说明的是，多个陶瓷条块4的长度、宽度和高度等尺寸，间隙5和间隙6的宽度尺寸等可根据实际使用需要、所要起到的作用以及所要产生的效果等进行设计和确定，在此不做设定。

本实用新型在设置多个绝缘条块4时，首先将多个绝缘条块4分别与多组定位孔7分一一对应，然后将多个绝缘条块4底端分别固定连接的定位销柱8对应插入各组定位孔内，在插入的过程中，固定连接在定位销柱8外壁上的多个l形弹性片91受到所在定位孔内部空间的限制，被挤压产生形变而呈收缩状态，待多个绝缘条块4分别插入到位后，多个绝缘条块4的底面与环形台阶3的台阶面相接触，此时定位销柱8的底端面刚好与所在定位孔的内底面相接触，多个l形弹性片91竖向部分的弯曲部92分别与所在定位孔的内壁相抵触，这样既能够对多个绝缘条块4进行定位，避免了多个绝缘条块4发生移位，又能够将多个绝缘条块4相对固定在环形台阶3的台阶面上，避免了多个绝缘条块4发生脱落，便于装配。

需要说明的是，本实用新型所采用的定位销柱8为金属销柱，而多个绝缘条块4均为陶瓷条块，定位销柱8与相应的绝缘条块的可采用钎焊连接的方式进行连接，此为公知常识，在此不再赘叙。另外，本实用新型所采用的多个l形弹性片91均为具有弹性的金属片。

虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

故以上所述仅为本申请的较佳实施例，并非用来限定本申请的实施范围；即凡依本申请的权利要求范围所做的各种等同变换，均为本申请权利要求的保护范围。