1.一种化学气相沉积设备气体分配器结构,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)的顶部外侧设有固定环(2),所述固定环(2)的外壁周向设有四组固定耳板(3),所述固定环(2)的内壁开设有第一密封槽(4),所述壳体(1)的顶部内侧开设有第二密封槽(5),所述壳体(1)的内腔底部均匀开设有分配气孔(6);
所述壳体(1)的内外壁上还包括依次设置的消音涂层(7)和耐腐蚀涂层(8),且所述消音涂层(7)为消音涂料喷涂制成,所述耐腐蚀涂层(8)为金属陶瓷涂层材质制成。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备气体分配器结构,其特征在于:所述固定耳板(3)上还包括对称开设的两组螺纹孔(9)。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备气体分配器结构,其特征在于:所述第一密封槽(4)由四组弧形部(41)和四组直线部(42)交错设置,所述第二密封槽(5)呈环形结构设置,且所述第一密封槽(4)和所述第二密封槽(5)内分别安装有相匹配的密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备气体分配器结构,其特征在于:所述分配气孔(6)包括上部设置的锥状孔(61)和下部设置的柱状孔(62),且所述锥状孔(61)的底部孔径和所述柱状孔(62)的孔径相一致。
5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备气体分配器结构,其特征在于:所述消音涂层(7)上喷涂的消音涂料为硅酸铝纤维涂料材质制成。
6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备气体分配器结构,其特征在于:所述壳体(1)的内侧壁与内底壁之间的连接处、所述壳体(1)的外侧壁与外底壁之间的连接处均为圆角过渡结构设置。