一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构的制作方法

1.本实用新型涉及蒸镀机技术领域，较为具体的，涉及到一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构。


背景技术：

2.现有的蒸镀设备一般包括一个蒸镀源及一个设置于蒸镀源上方用来承载被镀件的伞状的承载架。蒸镀时，由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高，导致蒸镀源正对的承载架的中间层圈的待镀基材上的膜层较厚，而位于上层圈 (靠近承载架中心)的被镀件与位于下层圈(靠近承载架边缘)的被镀件上的膜层较薄。因此，蒸镀设备通常还包括一个设置于承载架与蒸镀源之间的镀膜修正板，用于遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正对的被镀件上的膜层的厚度，从而修正承载架上位于不同层圈的被镀件上的膜层厚度的差异。由于各种被镀件采用的蒸镀源的蒸发速率、蒸镀的沉积速率及被镀件的形状不同，各种被镀件对镀膜修正板的形状的要求也不同。通常一种被镀件采用对应的一种具有固定形状的镀膜修正板，这种镀膜修正板不能适用多种被镀件，通用性差。


技术实现要素：

3.有鉴于此，为了解决现有的被镀件采用对应的一种具有固定形状的镀膜修正板，这种镀膜修正板不能适用多种被镀件，通用性差的问题，本实用新型提出一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构，由于第一支架和第二支架与真空腔体的内壁可拆卸连接、第一修正板和第二修正板可拆卸的连接在支杆的上端，第一支架远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆，第二支架远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆，连接方式均为可拆卸连接，方便更换第一修正板和第二修正板，修正板机构不使用时可以拆除，结构简单，操作方便。
4.一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构，包括支杆1、第一连杆2、第二连杆3、第一支架4、第二支架5、第一修正板6和第二修正板7，其特征在于：真空腔体的相对的内壁分别设有第一支架4和第二支架5，所述第一支架4和第二支架5与真空腔体的内壁可拆卸连接，所述第一支架4远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆2，所述第二支架5远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆3，所述第一连杆2远离第一支架4端固定连接支杆1的一端，所述第二连杆3远离第二支架5端固定连接支杆1的另一端，所述支杆1位于公转镀锅和蒸发源之间，所述支杆1平行于所述公转镀锅，第一修正板6 和第二修正板7可拆卸的连接在支杆1的上端且第一修正板6和第二修正板 7关于所述公转镀锅的轴线对称，所述第一修正板6和第二修正板7为柳叶形薄板，所述第一修正板6和第二修正板7间隔平行设置，第一修正板6和第二修正板7的上表面与公转镀锅平行，第一修正板6和第二修正板7的下表面与蒸发源平行。
5.进一步的,支杆1与第一修正板6连接处设有第一螺杆8，支杆1与第二修正板7第二螺杆9，第一修正板6与第一螺杆8配合处设有第一通孔10，第二修正板7与第二螺杆9配合处设有第二通孔11，第一螺杆8穿过第一通孔10与第一修正板6通过螺帽可拆卸连接，第二螺
杆9穿过第二通孔11与第二修正板7通过螺帽可拆卸连接。
6.进一步的，第一螺杆8的数量为2
‑
4个，第二螺杆9的数量为2
‑
4个，第一通孔10的数量与第一螺杆8的数量相同，第二通孔11的数量与第二螺杆9的数量相同。
7.进一步的，第一连杆2与第一支架4端通过螺母或者螺栓可拆卸连接，第二连杆3和第二支架5通过螺母或者螺栓可拆卸连接。
8.进一步的，第一支架4和第二支架5为u型框架结构,u型框架结构包括两根竖杆12和一根橫杆13，所述一根橫杆13的两端分别垂直连接有一根竖杆12，所述两根竖杆12和一根橫杆13一体成型，所述每根竖杆12的远离横杆端设有延伸块14。
9.进一步的，延伸块14与竖杆12呈90
°
且延伸块14与竖杆12一体成型。
10.进一步的，第一支架4和第二支架5关于所述公转镀锅的轴线对称。
11.进一步的，真空腔体的内壁与第一支架4和第二支架5连接处分别设有一底架15，底架15相对于真空腔体的内壁设有凸出于真空腔体的内壁的凸块16。
12.进一步的，所述延伸块14置于凸块16上部，延伸块14与凸块16通过螺母或者螺栓可拆卸连接。
13.进一步的，支杆1、第一连杆2、第二连杆3、第一支架4、第二支架5、第一修正板6和第二修正板7均为不锈钢材质。
14.本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构，由于第一支架4和第二支架5与真空腔体的内壁可拆卸连接、第一修正板6和第二修正板7可拆卸的连接在支杆1的上端，第一支架4远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆2，第二支架5远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆3，连接方式均为可拆卸连接，方便更换第一修正板6和第二修正板7，修正板机构不使用时可以拆除，结构简单，操作方便。
附图说明
15.图1为本实用新型的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构的爆炸图。
16.图2为本实用新型的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构的修正板的部分装配结构图。
17.图3为本实用新型的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构的支架的结构图。
18.图4为本实用新型的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构的装配结构图。
19.主要元件符号说明
[0020][0021][0022]
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
[0023]
具体实施方式1
[0024]
如图1所示，为本实用新型的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构的结构图；如图2所示，为本实用新型的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构的修正板的结构图；如图3所示，为本实用新型的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构的底架的结构图；如图4所示，为本实用新型的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构的结构图。
[0025]
一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构，包括支杆1、第一连杆2、第二连杆3、第一支架4、第二支架5、第一修正板6和第二修正板7，其特征在于：真空腔体的相对的内壁分别设有第一支架4和第二支架5，所述第一支架4和第二支架5与真空腔体的内壁可拆卸连接，所述第一支架4远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆2，所述第二支架5远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆3，所述第一连杆2远离第一支架4端固定连接支杆1的一端，所述第二连杆3远离第二支架5端固定连接支杆1的另一端，所述支杆1位于公转镀锅和蒸发源之间，所述支杆1平行于所述公转镀锅，第一修正板6 和第二修正板7可拆卸的连接在支杆1的上端且第一修正板6和第二修正板 7关于所述公转镀锅的轴线对称，所述第一修正板6和第二修正板7为柳叶形薄板，所述第一修正板6和第二修正板7间隔平行设置，第一修正板6和第二修正板7的上表面与公转镀锅平行，第一修正板6和第二修正板7的下表面与蒸发源平行。
[0026]
所述支杆1与第一修正板6连接处设有第一螺杆8，支杆1与第二修正板7第二螺杆9，第一修正板6与第一螺杆8配合处设有第一通孔10，第二修正板7与第二螺杆9配合处设有
第二通孔11，第一螺杆8穿过第一通孔10 与第一修正板6通过螺帽可拆卸连接，第二螺杆9穿过第二通孔11与第二修正板7通过螺帽可拆卸连接。
[0027]
所述第一螺杆8的数量为2个，第二螺杆9的数量为2个，第一通孔10 的数量与第一螺杆8的数量相同，第二通孔11的数量与第二螺杆9的数量相同。
[0028]
所述第一连杆2与第一支架4端通过螺母或者螺栓可拆卸连接，第二连杆3和第二支架5通过螺母或者螺栓可拆卸连接。
[0029]
所述第一支架4和第二支架5为u型框架结构,u型框架结构包括两根竖杆12和一根橫杆13，所述一根橫杆13的两端分别垂直连接有一根竖杆12，所述两根竖杆12和一根橫杆13一体成型，所述每根竖杆12的远离横杆端设有延伸块14。
[0030]
所述延伸块14与竖杆12呈90
°
且延伸块14与竖杆12一体成型。
[0031]
所述第一支架4和第二支架5关于所述公转镀锅的轴线对称。
[0032]
所述真空腔体的内壁与第一支架4和第二支架5连接处分别设有一底架 15，底架15相对于真空腔体的内壁设有凸出于真空腔体的内壁的凸块16。
[0033]
所述所述延伸块14置于凸块16上部，延伸块14与凸块16通过螺母或者螺栓可拆卸连接。
[0034]
所述支杆1、第一连杆2、第二连杆3、第一支架4、第二支架5、第一修正板6和第二修正板7均为不锈钢材质。
[0035]
具体实施方式2
[0036]
一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构，包括支杆1、第一连杆2、第二连杆3、第一支架4、第二支架5、第一修正板6和第二修正板7，其特征在于：真空腔体的相对的内壁分别设有第一支架4和第二支架5，所述第一支架4和第二支架5与真空腔体的内壁可拆卸连接，所述第一支架4远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆2，所述第二支架5远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆3，所述第一连杆2远离第一支架4端固定连接支杆1的一端，所述第二连杆3远离第二支架5端固定连接支杆1的另一端，所述支杆1位于公转镀锅和蒸发源之间，所述支杆1平行于所述公转镀锅，第一修正板6 和第二修正板7可拆卸的连接在支杆1的上端且第一修正板6和第二修正板 7关于所述公转镀锅的轴线对称，所述第一修正板6和第二修正板7为柳叶形薄板，所述第一修正板6和第二修正板7间隔平行设置，第一修正板6和第二修正板7的上表面与公转镀锅平行，第一修正板6和第二修正板7的下表面与蒸发源平行。
[0037]
所述支杆1与第一修正板6连接处设有第一螺杆8，支杆1与第二修正板7第二螺杆9，第一修正板6与第一螺杆8配合处设有第一通孔10，第二修正板7与第二螺杆9配合处设有第二通孔11，第一螺杆8穿过第一通孔10 与第一修正板6通过螺帽可拆卸连接，第二螺杆9穿过第二通孔11与第二修正板7通过螺帽可拆卸连接。
[0038]
所述第一螺杆8的数量为4个，第二螺杆9的数量为4个，第一通孔10 的数量与第一螺杆8的数量相同，第二通孔11的数量与第二螺杆9的数量相同。
[0039]
所述第一连杆2与第一支架4端通过螺母或者螺栓可拆卸连接，第二连杆3和第二支架5通过螺母或者螺栓可拆卸连接。
[0040]
所述第一支架4和第二支架5为u型框架结构,u型框架结构包括两根竖杆12和一根橫杆13，所述一根橫杆13的两端分别垂直连接有一根竖杆12，所述两根竖杆12和一根橫杆
13一体成型，所述每根竖杆12的远离横杆端设有延伸块14。
[0041]
所述延伸块14与竖杆12呈90
°
且延伸块14与竖杆12一体成型。
[0042]
所述第一支架4和第二支架5关于所述公转镀锅的轴线对称。
[0043]
所述真空腔体的内壁与第一支架4和第二支架5连接处分别设有一底架 15，底架15相对于真空腔体的内壁设有凸出于真空腔体的内壁的凸块16。
[0044]
所述所述延伸块14置于凸块16上部，延伸块14与凸块16通过螺母或者螺栓可拆卸连接。
[0045]
所述支杆1、第一连杆2、第二连杆3、第一支架4、第二支架5、第一修正板6和第二修正板7均为不锈钢材质。
[0046]
本实用新型的工作原理：本实用新型提出一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构，由于第一支架4和第二支架5与真空腔体的内壁可拆卸连接、第一修正板6和第二修正板7可拆卸的连接在支杆1的上端，第一支架4远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆2，第二支架5远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆3，连接方式均为可拆卸连接，方便更换第一修正板6和第二修正板7，修正板机构不使用时可以拆除，结构简单，操作方便。
[0047]
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。