用于OLED像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模的制作方法

本申请要求韩国专利申请no.10-2020-0007795(2020年1月21日提交)的优先权，其全部内容通过引用合并于此。

本实施例涉及用于oled像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模，控制可能通过表面处理而发生的凹陷部分，从而解决由此发生的蒸镀缺陷。

背景技术：

显示装置正被应用于多种设备。例如，显示装置不仅应用于诸如智能手机、平板电脑等小型设备，还应用于诸如电视、监视器、公共显示器(publicdisplay)等大型设备。尤其是，最近对于500ppi(每英寸像素：pixelperinch)以上的超高清晰度uhd(ultrahighdefinition)的需求正在增加，并且高清晰度显示装置正应用于小型设备以及大型设备。因此，对于用于实现低电力及高清晰度的技术的关注度也在提高。

通常使用的显示装置按照驱动方法可以粗分为lcd(液晶显示器：liquidcrystaldisplay)以及oled(有机发光二极管：organiclightemittingdiode)等。

作为一种利用液晶(liquidcrystal)驱动的显示装置，lcd是具有在所述液晶的下部配置有包括ccfl(冷阴极荧光灯：coldcathodefluorescentlamp)或led(发光二极管：lightemittingdiode)等光源的结构且以利用配置于所述光源上的所述液晶来调节从所述光源发出的光的量的方式驱动的显示装置。

另外，作为一种利用有机物驱动的显示装置，oled无需单独的光源，有机物自身能够起到光源的作用，从而以低电力驱动。另外，oled能够表现无限的对比度，并具有比lcd快约1000倍以上的响应速度，而且可视角优秀，因此，作为能够替代lcd的显示装置而备受瞩目。

尤其是，在oled中，发光层所包含的所述有机物能够由称为精细金属掩模(fmm，finemetalmask)的蒸镀用掩模蒸镀于基板上，并且被蒸镀的所述有机物能够形成为与形成于所述蒸镀用掩模上的图案对应的图案，以起到像素的作用。所述蒸镀用掩模一般由包括铁(fe)及镍(ni)的因瓦合金(invar)金属板制造。其中，所述金属板的一表面和另一表面形成连通所述一表面和另一表面的通孔，所述通孔能够形成在与像素图案对应的位置。因此，能够形成红色(red)、绿色(green)以及蓝色(blue)的有机物图案。即，可以在所述基板上形成rgb图案。

另一方面，为了制备高清晰度用精细金属掩模而需要高蚀刻因子。此时，为了应用高蚀刻因子，应提高金属板和光刻胶层之间的紧贴力。并且，为了提高所述紧贴力而对所述金属板的表面进行表面处理。此时，用硝酸、盐酸、硫酸、磷酸等酸类药品进行所述表面处理。

其中，根据表面处理条件，金属板的表面粗糙度发生变化，金属板的表面粗糙度过高时，金属板的表面发生如凹陷部分等凹部。

但是，在现有技术中，不对蒸镀用掩模的表面发生的凹部进行管理。即，在现有技术中，根本不对所述凹部进行管理，或者将包括凹部的蒸镀用掩模视为有缺陷。例如，在现有技术中，对于不会对形成于蒸镀用掩模的通孔造成影响的凹部，不进行管理，因此，所述凹部在蒸镀像素图案时，由于与基板间的紧贴力降低而发生蒸镀缺陷。另外，在现有技术中，当蒸镀用掩模的表面发生凹部时，都将其视为有缺陷，因此减少了蒸镀用掩模的收率。

因此，需要新结构的蒸镀用掩模，其管理上述蒸镀用掩模的表面形成的凹部，从而能够提高蒸镀用掩模收率，同时提高蒸镀性能。

技术实现要素：

技术问题

实施例旨在提供一种蒸镀用掩模，控制能够形成在蒸镀用掩模的表面的凹部数量，从而提高蒸镀用掩模的收率。

另外，实施例旨在提供一种蒸镀用掩模，使蒸镀用掩模的表面能够包括规定数量以下的凹部，从而减小蒸镀用掩模上可能发生的应力。

所提出的实施例旨在解决的技术问题不限于上述技术问题，本领域技术人员能够通过下面的记载明确地理解未提出的其他技术问题。

技术方案

在实施例的用于oled蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模中，所述蒸镀用掩模包括蒸镀区域和非蒸镀区域，所述蒸镀区域包括沿所述蒸镀用掩模的长度方向彼此隔开的多个有效部及非有效部，所述有效部包括：多个小表面孔，形成在一表面上；多个大表面孔，形成在与所述一表面相反的另一表面上，且与所述小表面孔连通；及第一凹部，形成在所述一表面上的多个所述小表面孔之间，且开口面积大于所述小表面孔开口面积的30％，不与多个所述小表面孔连接，且多个所述有效部内的所述凹部的总数为5个以下。

另外，包括在各个所述有效部的所述第一凹部为3个以下。

另外，所述有效部包括多个岛部，所述多个岛部位于所述另一表面的多个所述大表面孔之间，所述多个岛部之间的高度差处于±1μm之间。

另外，所述一表面的表面粗糙度ra值在0.1～0.2μm范围内。

另外，进一步包括第二凹部，形成在所述非有效部和所述非蒸镀区域的所述一表面和所述另一表面上。

发明效果

实施例中蒸镀用掩模的表面包括至少一个凹部。至少一个所述凹部可以是表面处理蒸镀用掩模的金属板原材料时产生的凹部。并且，实施例中的蒸镀用掩模的表面可以包括能够提高蒸镀性能的条件的凹部。具体地，实施例中具有蒸镀用掩模的一表面的整体有效部中开口面积在小表面孔开口面积的30％至80％之间的凹部为5个以下。换句话说，实施例中的蒸镀用掩模的一表面的有效部中能够包括开口面积在小表面孔开口面积的30％至80％之间的凹部为1至5个。其中，形成在所述蒸镀用掩模的一表面的规定数量的凹部能够起到分散蒸镀用掩模应力的功能，因此，能够解决发生如蒸镀用掩模弯曲等可靠性问题。另外，蒸镀用掩模的一表面包括规定范围内的凹部时，将其作为样品处理，从而能够改善由于所述凹部可能发生的降低与基板间紧贴力导致的蒸镀缺陷。

附图说明

图1至图3是用于说明使用实施例的蒸镀用掩模在基板上蒸镀有机物质工艺的概念图。

图4是示出实施例的蒸镀用掩模的俯视图的图。

图5是示出第一实施例的蒸镀用掩模的有效部的俯视图的图。

图6是示出实施例的图5的b-b'方向或者c-c'方向的剖面图的图。

图7是示出蒸镀用掩模的一表面上发生的各种形态的凹部。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的优选实施例进行详细说明。只是，本发明的技术思想不限于所说明的一部分实施例，而是能够实现为彼此不同的各种形态，并且能够选择性地进行结合、代替从而使用在本发明的技术思想范围内对多个实施例之间的多个构成要素中的一个以上。另外，只要未明确地特别定义，本发明的实施例中所使用的术语(包括技术及科学术语)能够被解释为本领域技术人员通常所理解的含义，并且如事先被定义的术语一样，通常所使用的术语能够基于考虑相关技术在文中的含义来解释其含义。

另外，本发明的实施例中所使用的术语用于说明多个实施例，本发明不限于此。在本说明书中，如果没有特别提及，单数的语句也可以包括复数，当记载为“a及(和)b、c中的至少一个(或一个以上)”时，可以包括能够由a、b、c组合的所有组合中的至少一个。

另外，在对本发明的实施例的构成要素进行说明时，可以使用第一、第二、a、b、(a)、(b)等术语。这些术语仅用于区分该构成要素与另一构成要素，相应构成要素的本质或次序或顺序不限于该术语。

并且，当记载为某一构成要素与另一构成要素“连接”、“结合”或“接合”时，不仅包括该构成要素与该另一构成要素直接连接、结合或接合的情况，还包括通过位于该构成要素与该另一构成要素之间的又一构成要素来“连接”、“结合”或“接合”的情况。

另外，当记载为形成或配置于各个构成要素的“上或下”时，上或下不仅包括两个构成要素彼此直接接触的情况，还包括一个以上的又另一构成要素形成或配置于两个构成要素之间的情况。

另外，当表示为“上或下”时，基于一个构成要素，不仅包括向上的方向，还包括向下的方向。

以下，参照附图对实施例的蒸镀用掩模进行说明。

图1是示出设置有实施例的蒸镀用掩模100的有机物蒸镀装置的剖面图，图2是示出为了将实施例的蒸镀用掩模100设置于掩模框架200上而进行延伸的图。

参照图1和图2，所述有机物蒸镀装置可以包括蒸镀用掩模100、掩模框架200、蒸镀基板300、有机物蒸镀容器400及真空腔室500。

所述蒸镀用掩模100、所述掩模框架200、所述蒸镀基板300及所述有机物蒸镀容器400能够被收纳于所述真空腔室500内。因此，可以在真空环境下进行通过所述蒸镀用掩模100的蒸镀工艺。

所述蒸镀用掩模100可以配置在所述蒸镀基板300的一表面上。具体地，所述蒸镀用掩模100在所述蒸镀基板300的两表面中配置于蒸镀有机物质的蒸镀面上，并能够通过掩模框架200进行固定。

因此，能够通过形成在所述蒸镀用掩模100的通孔th使有机物质通过，从而在所述蒸镀基板300的蒸镀面上蒸镀用于形成rgb图案的有机物质。

所述蒸镀用掩模100可以在配置于所述蒸镀用掩模100的最外缘的边缘区域沿着彼此相反的方向拉伸。例如，对于所述蒸镀用掩模100，可以在所述蒸镀用掩模100的长度方向上，将所述蒸镀用掩模100的一端及与所述一端相反的另一端朝向彼此相反的方向拉伸。因此，所述蒸镀用掩模100的拉伸方向、x轴方向及所述蒸镀用掩模的长度方向都可以是相同方向。

为了形成光的三原色像素，可以在所述基板300上形成红色(red)、绿色(green)以及蓝色(blue)的有机物图案。即，可以在所述基板300上形成rgb图案。

在所述真空腔室500内，随着向所述有机物蒸镀容器400的坩埚供给热源及/或者电流，所述有机物质能够蒸镀在所述基板100上。

图3是示出通过所述蒸镀用掩模100的多个通孔，在所述基板300上形成多个蒸镀图案的图。

参照图3，所述蒸镀用掩模100可以包括一表面101和与所述一表面相反的另一表面102。

所述蒸镀用掩模100的所述一表面101可以包括小表面孔v1，所述另一表面可以包括大表面孔v2。例如，所述蒸镀用掩模100的一表面101和另一表面102可以分别包括多个小表面孔v1和多个大表面孔v2。例如，蒸镀用掩模100可以包括形成有多个小表面孔v1的一表面101及形成有与多个所述小表面孔v1沿厚度方向重叠的多个大表面孔v2的另一表面102。

另外，所述蒸镀用掩模100可以包括通孔th。所述通孔th能够通过连接所述小表面孔v1和所述大表面孔v2的分界的连通部ca而连通。例如，连通部ca可以指在厚度方向上所述小表面孔v1和所述大表面孔v2彼此交汇的部分。

另外，所述蒸镀用掩模100可以包括所述小表面孔v1内的第一内侧表面es1。所述蒸镀用掩模100可以包括所述大表面孔v2内的第二内侧表面es2及第三内侧表面es3。所述通孔th可以由所述小表面孔v1内的第一内侧表面es1和所述大表面孔v2内的第二内侧表面es2彼此连通而形成。例如，一个小表面孔v1内的第一内侧表面es1可通过与一个大表面孔v2内的第二内侧表面es2连通而形成一个通孔。因此，所述通孔th的数量可以与所述小表面孔v1以及所述大表面孔v2的数量对应。

所述大表面孔v2的宽度可以大于所述小表面孔v1的宽度。此时，所述小表面孔v1的宽度可以在所述蒸镀用掩模100的一表面101上被测量，所述大表面孔v2的宽度可以在所述蒸镀用掩模100的另一表面102上被测量。

所述小表面孔v1可以朝向所述基板300而形成。所述小表面孔v1可以形成为靠近所述基板300。因此，所述小表面孔v1可以具有与蒸镀物质，即，蒸镀图案(dp)对应的形状。

所述大表面孔v2可以配置成朝向所述有机物蒸镀容器400。因此，所述大表面孔v2能够在较宽的宽度收纳由所述有机物蒸镀容器400供给的有机物质，并能通过宽度比所述大表面孔v2更小的所述小表面孔v1在所述基板300上快速地形成精细的图案。

图4是示出实施例的蒸镀用掩模100的俯视图。参照图5，更加具体地说明所述蒸镀用掩模100。

参照图4，实施例的蒸镀用掩模100可以包括蒸镀区域da和非蒸镀区域nda。

所述蒸镀区域da可以是用于形成蒸镀图案的区域。即，蒸镀物质能够通过所述蒸镀用掩模的所述蒸镀区域da蒸镀于蒸镀基板。

蒸镀用掩模100可以包括多个蒸镀区域da。例如，实施例的所述蒸镀区域da可以包括多个有效部aa1、aa2、aa3及非有效部。

所述蒸镀区域da可以包括一个蒸镀用掩模100所包括的多个分离区域ia1、ia2。所述分离区域ia1、ia2可以是多个有效部之间的隔开区域。

所述蒸镀用掩模100可以在所述蒸镀区域da的长度方向的两侧部包括非蒸镀区域nda。实施例的蒸镀用掩模100可以包括位于所述蒸镀区域da的水平方向两侧的所述非蒸镀区域nda。

所述蒸镀用掩模100的所述非蒸镀区域nda可以是不参与蒸镀的区域。所述非蒸镀区域nda可以包括用于将所述蒸镀用掩模100固定于掩模框架200的框架固定区域fa1、fa2。另外，所述非蒸镀区域nda可以包括半蚀刻部hf1、hf2和开放部。

所述非蒸镀区域nda可以包括半蚀刻部hf1、hf2。例如，所述蒸镀用掩模100的所述非蒸镀区域nda可以在所述蒸镀区域da的一侧包括第一半蚀刻部hf1，且在与所述蒸镀区域da的所述一侧相反的另一侧包括第二半蚀刻部hf2。所述第一半蚀刻部hf1和所述第二半蚀刻部hf2可以是沿蒸镀用掩模100的深度方向形成槽的区域。

所述半蚀刻部hf1、hf2可以在形成小表面孔v1或大表面孔v2时同时形成。

所述非蒸镀区域nda包括用于将所述蒸镀用掩模100固定于所述掩模框架200的框架固定区域fa1、fa2。

所述框架固定区域fa1、fa2可以形成于所述非蒸镀区域nda的半蚀刻部hf1、hf2以及与所述半蚀刻部hf1、hf2相邻的所述蒸镀区域da的有效部之间。

所述蒸镀用掩模100可以包括沿长度方向隔开的多个有效部aa1、aa2、aa3和除所述有效部以外的非有效部ua。

所述有效部aa1、aa2、aa3可以包括通孔th，该通孔th包括：多个小表面孔v1，形成在所述蒸镀用掩模100的一表面上；多个大表面孔v2，形成于与所述一表面相反的另一表面上；以及连通部ca，连接所述小表面孔v1和所述大表面孔v2的分界。另外，所述有效部aa1、aa2、aa3可以包括支撑多个所述通孔th之间的岛部is。

所述岛部is可以位于多个通孔th中相邻的多个通孔th之间。即，所述蒸镀用掩模100的所述有效部aa1、aa2、aa3中，除通孔th以外的区域可以是岛部is。

所述非有效部ua可以包括所述蒸镀区域da的除有效部以外的区域及所述非蒸镀区域nda。所述非有效部ua可以包括包围有效部aa1、aa2、aa3外缘的外缘区域oa1、oa2、oa3。

图5是示出实施例的蒸镀用掩模100的有效部的俯视图的图。

参照图5，所述蒸镀用掩模100可以包括多个通孔th。其中，多个所述通孔th可以是圆形。具体地，所述通孔th能够具有水平方向的直径cx和垂直方向的直径cy值，所述通孔th的水平方向的直径cx和垂直方向的直径cy值可以彼此对应。

多个所述通孔th可以根据方向而排成一列。例如，多个所述通孔th可以在纵轴及横轴上排成一列。

具体地，第1通孔th1和第2通孔th2可以在横轴上排成一列，且第3通孔th3和第4通孔th4可以在横轴上排成一列。

另外，第1通孔th1和第3通孔th3可以在纵轴上排成一列，且第2通孔th2和第4通孔th4可以在纵轴上排成一列。

即，当多个通孔th在纵轴和横轴上分别排成一列时，岛部is可以位于沿对角方向相邻的两个通孔th之间，其中，对角方向是与纵轴和横轴全部交叉的方向。即，岛部is可以位于在对角线方向彼此相邻形成的两个通孔th之间。

岛部is可以是指在形成有有效部aa的大表面孔v2的蒸镀用掩模100的另一表面上的多个通孔th之间未被蚀刻的表面。具体地，岛部is可以是在蒸镀用掩模的有效部aa中除位于大表面孔内的第二内侧表面es2以及通孔th以外的未被蚀刻的蒸镀用掩模100的另一表面。

所述通孔th的直径可以是所述连通部ca之间的宽度。具体地，所述通孔的直径可以在小表面孔v1内的内侧表面的末端与大表面孔v2内的内侧表面的末端相交的位置测量。所述通孔th的直径的测量方向可以是水平方向、垂直方向、对角方向中的任一个。在水平方向上测量的所述通孔th的直径可以是33μm以下。或者，在垂直方向上测量的所述通孔th的直径可以是33μm以下。或者，所述通孔th的直径可以是在水平方向、垂直方向、对角方向上分别测量的值的平均值。

肋rb1、rb2可以位于多个所述通孔th之间。所述第1通孔th1以及与之沿水平方向相邻的第2通孔th2之间可以形成有一个第2肋rb2。另外，所述第1通孔th1以及与之沿垂直方向相邻的第3通孔th3之间可以形成有另一个第1肋rb1。

另一方面，蒸镀用掩模100可以包括形成在一表面101上的至少一个凹部。

例如，蒸镀用掩模100可以包括形成有小表面孔v1的一表面101及形成有大表面孔v2的另一表面102。并且，至少一个凹部可以形成在形成有所述小表面孔v1的一表面101及形成有大表面孔v2的另一表面102上。因此，形成有所述凹部的区域中的蒸镀用掩模100的厚度可能小于未形成所述凹部的区域中的蒸镀用掩模100的厚度。例如，与未形成所述凹部的区域中的蒸镀用掩模100的厚度相比，形成有所述凹部的区域中的蒸镀用掩模100的厚度可以小所述凹部的深度。

具体地，所述蒸镀用掩模100通过用于制备所述蒸镀用掩模100的金属板原材料中发生的凹陷部分，使最终制备的蒸镀用掩模100能够包括对应于所述凹陷部分的凹部。

这种凹部可归因于在所述金属板上形成通孔前进行的前处理工艺。具体地，在所述金属板上形成通孔前，进行用于适用高蚀刻因子的表面处理工艺。例如，在金属板的表面形成通孔前，能够形成用于提高蚀刻特性的表面处理层。

所述表面处理层可以通过对金属板的表面进行药品处理而形成。即，金属板可在形成通孔前通过硝酸、盐酸、硫酸、磷酸等酸类药品进行处理，并因此在其表面形成表面处理层。并且，在所述表面处理层的形成过程中，改变金属板的表面粗糙度，当所述表面粗糙度显示为过高时，可以在所述金属板的表面形成凹部。

另外，所述凹部在药品处理时由于药品集中于特定区域而发生，也可以是由于去除金属板表面上的杂质等而产生。

另外，在蒸镀用掩模100的通孔形成过程中，由于光刻胶层的紧贴力降低而在不应发生蚀刻的区域发生蚀刻，由此产生所述凹部。

在蒸镀用掩模100的形成过程中，可以因各种因素而产生所述凹部。

此时，在特定位置上存在特定数量以下的所述凹部的情况下，能够提高蒸镀用掩模的蒸镀性能。因此，在实施例的蒸镀用掩模100的制备过程中，在特定位置上存在特定数量以下的凹部的情况下，将其视为合格品，从而能够提高蒸镀用掩模100的可靠性，同时提高收率。

具体地，在实施例的蒸镀用掩模100的一表面101中，只对形成于有效部aa的凹部进行管理，从而能够提高蒸镀用掩模100的蒸镀性能。

即，蒸镀用掩模100的一表面101及另一表面102可通过上述因素来形成凹部。

具体地，在形成通孔th前，凹部可以形成在蒸镀用掩模100的一表面101和另一表面102上。

所述凹部可以在一表面101和另一表面102中的蒸镀区域da和非蒸镀区域nda上随机形成。

并且，在蒸镀用掩模100的一表面101及另一表面的所述非蒸镀区域nda上所形成的凹部不会影响蒸镀用掩模100的可靠性，因此，在非蒸镀区域nda中，能够在蒸镀用掩模100的一表面101和另一表面102上形成至少一个凹部。

另外，蒸镀区域da可以包括有效部aa和非有效部ua。并且，非有效部ua可以包括外缘区域oa和分离区域ia。

此时，所述蒸镀用掩模100的一表面101和另一表面102的非有效部ua也可以形成有凹部。此时，所述非有效部ua中的所述凹部不会影响蒸镀用掩模100的蒸镀性能，因此可以不对所述非有效部ua中的凹部进行管理。

只是，实施例中，可以对有效部aa上的凹部进行管理。因此，以下，仅对有效部aa上的凹部进行说明。即，在除有效部以外的其他区域中，可以在蒸镀用掩模100的一表面101和另一表面102上形成凹部，但这不影响蒸镀用掩模100的蒸镀性能。只是，有效部aa上的凹部会影响蒸镀用掩模100的蒸镀性能，因此在实施例中控制所述有效部aa上的凹部，从而可以提高蒸镀用掩模的收率，同时提高蒸镀性能。

此时，在有效部aa上形成有通孔th的小表面孔v1和大表面孔v2。其中，可以在形成有大表面孔v2的蒸镀用掩模100的另一表面102上不形成所述凹部。

即，在蒸镀用掩模100的另一表面102中的与所述有效部aa的区域上，存在多个大表面孔v2和岛部is。其中，在形成通孔th前，即使在所述蒸镀用掩模100的另一表面102中的与有效部aa对应的区域上形成有凹部，也可以在形成所述大表面孔v2时去除全部的所述凹部。另外，在所述蒸镀用掩模100的另一表面102中的与有效部aa对应区域上，形成有凹部，如果在形成所述大表面孔v2时未能去除所述凹部，则该凹部位于岛部is上且因此与大表面孔v2连接。并且，所述凹部与所述大表面孔v2连接时，这将增加大表面孔v2的开口面积，并因此增加大表面孔v2的开口面积，视为有缺陷而被废弃。换句话说，在实施例的蒸镀用掩模100的另一表面102中的与有效部aa对应的区域上，不存在凹部。例如，在形成通孔th前，即使在蒸镀用掩模100的另一表面102中的与有效部aa对应的区域上存在凹部，也是相应凹部在被处理为合格品的蒸镀用掩模100上都已被去除。

只是，可以在蒸镀用掩模100的一表面101中的与有效部aa对应的区域上存在凹部g1、g2。

此时，所述凹部g1、g2可以不与小表面孔v1连接，且形成在多个小表面孔v1之间。即，当所述凹部g1、g2与小表面孔v1连接时，由于所述凹部g1、g2而增加小表面孔v1的孔径，因此，可以在实施例的蒸镀用掩模100的一表面101的有效部aa上包括不与小表面孔v1连接的至少一个凹部g1、g2。

此时，所述凹部g1、g2可根据其开口面积而影响蒸镀用掩模100的蒸镀性能，也可以不影响蒸镀性能。

此时，在实施例中，可以不对开口面积小于等于小表面孔v1的开口面积的30％的凹部进行控制。即，开口面积小于等于小表面孔v1的开口面积的30％的凹部不影响所述蒸镀用掩模100的蒸镀性能，因此可以不对该凹部进行控制。

只是，开口面积大于小表面孔v1开口面积的30％的凹部g1、g2会影响蒸镀用掩模100的蒸镀性能，因此，实施例中，将开口面积大于所述小表面孔v1开口面积的30％的凹部g1、g2控制为规定数量以下。

只是，当开口面积小于等于小表面孔v1的开口面积的30％的凹部与小表面孔v1连接时，增加小表面孔v1的孔径，因此，使开口面积小于所述30％的凹部不与所述小表面孔v1连接为优选。

以下，对开口面积大于小表面孔v1的开口面积的30％的凹部g1、g2的控制，进行说明。

另一方面，蒸镀用掩模100包括多个有效部aa。例如，多个所述有效部aa可以是3个以上。

并且，在实施例的蒸镀用掩模100的一表面101上，将在与多个有效部aa对应的区域形成的凹部g1、g2的总数控制为5个以下。

此时，当在所述蒸镀用掩模100的一表面101中的与多个有效部aa对应的区域上形成的凹部g1、g2的总数大于5个时，可能在蒸镀有机物的过程中由于所述凹部g1、g2而降低蒸镀用掩模100和基板之间的紧贴力，由此降低蒸镀性能。因此，实施例中，将在与多个所述有效部aa对应的蒸镀用掩模100的一表面101上形成的凹部g1、g2的总数控制为5个以下。

即，当所述凹部g1、g2为5个以下时，可以在没有降低所述基板和蒸镀用掩模100之间的紧贴力的情况下，实现有机物的蒸镀。另外，当所述凹部g1、g2为5个以下时，能够通过所述凹部g1、g2来分散蒸镀用掩模100的应力，由此解决蒸镀用掩模100发生弯曲等问题，从而进一步提高蒸镀性能。

另一方面，当所述凹部g1、g2集中于多个有效部中的任一有效部内时，可降低相应有效部内的蒸镀性能。

因此，将在实施例中所述蒸镀用掩模100的一表面101中的与一个有效部aa对应的区域上形成的凹部g1、g2的总数控制为3个以下。并且，当在一个有效部aa上形成有3个以下的所述凹部g1、g2时，可以在不降低相关有效部aa中的蒸镀性能的状态下，提高蒸镀用掩模100的蒸镀性能。

另一方面，在所述表面处理过程中，实施例中的所述凹部产生在将蒸镀用掩模100的表面粗糙度ra调整为100～200nm(0.1～0.2μm)的过程中。因此，实施例中的蒸镀用掩模100的表面粗糙度ra可以是100～200nm(0.1～0.2μm)。并且，在所述蒸镀用掩模100的表面粗糙度ra为100～200nm(0.1～0.2μm)的状态下，可能产生所述凹部g1、g2，因此，在实施例中，对于形成有小表面孔v1的一表面101的有效部aa区域上的凹部g1、g2的总数进行控制，从而能够通过分散应力来提高蒸镀性能，同时防止在有机物蒸镀过程中的与基板间的紧贴力下降。

图6是示出实施例的图5的b-b'方向或者c-c'方向的剖面图的图，图7是示出在蒸镀用掩模的一表面上发生的各种形态的凹部。

换句话说，第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2可以在蒸镀用掩模100上沿横轴方向排列，也可以沿纵轴方向排列。即，所述第1-2通孔th1-2可以形成在多个第1-1通孔th1-1之间。图6可以是示出沿纵轴方向排列的第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2，也可以是示出沿横轴方向排列的第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2。

参照图6及图7，蒸镀用掩模100可以包括第1-1通孔th1-1，该第1-1通孔th1-1形成有所述第一小表面孔v1-1和第一大表面孔v2-1，通过使所述第一小表面孔v1-1和第一大表面孔v2-1彼此连通而形成。

另外，蒸镀用掩模100可以与所述第1-1通孔th1-1相邻或者隔开规定间隔地形成所述第二小表面孔v1-2和第二大表面孔v2-2，能够通过使所述第二小表面孔v1-2和第二大表面孔v2-2彼此连通而形成所述第1-2通孔th1-2。

此时，所述蒸镀用掩模100能够具有特定厚度。所述蒸镀用掩模100的厚度可以是形成有所述第1-1通孔th1-1的区域中的第一厚度t1，也可以是形成有第1-2通孔th1-2的区域中的第二厚度t2。只是，所述第一厚度t1可以是第二厚度t2的95％至105％，但不限于此。

此时，所述第一厚度t1可以被定义为所述蒸镀用掩模100的位于与第1-1通孔th1-1相邻的区域的第2-1肋rb2-1的厚度，所述第二厚度t2可以被定义为所述蒸镀用掩模100的位于与第1-2通孔th1-2相邻区域的第2-2肋rb2-2的厚度。

所述第一厚度t1可以与第二厚度t2相同，可以在蒸镀用掩模100的制备工艺中因各种因素而具有误差范围以内的彼此不同的厚度。

所述第一厚度t1和所述第二厚度t2可以是约15μm以下。例如，所述第一厚度t1和所述第二厚度t2可以是约7μm至约10μm。例如，所述第一厚度t1和所述第二厚度t2可以是约6μm至约9μm。

当所述第一厚度t1和所述第二厚度t2大于约15μm时，可能很难形成500ppi级以上的高清晰度的oled蒸镀图案。另外，当所述第一厚度t1和所述第二厚度t2小于约6μm时，可能很难均匀形成蒸镀图案。

因此，所述第一厚度t1和所述第二厚度t2可以相同，也可以与之不同，在满足所述范围的同时，具有彼此不同的尺寸。

更具体地，所述第一厚度t1和所述第二厚度t2可以在满足所述范围的同时，具有规定尺寸范围的差值。例如，所述第一厚度t1大于所述第二厚度t2，且此时所述第二厚度t2可以是所述第一厚度t1的97％以上，即0.97倍以上。

即，所述第一厚度t1和所述第二厚度t2能够满足下述数学式1。

数学式1：

第一厚度×0.97≤第二厚度＜第一厚度

如果所述第二厚度t2小于所述第一厚度t1的0.97倍，则由于所述第一厚度t1和所述第二厚度t2的偏差而在作为所述蒸镀用掩模的原材料的金属板上形成通孔时，可增加多个通孔的倾斜角的偏差。

另一方面，如图所示，第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2分别包括小表面孔和大表面孔。并且，所述第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2可以具有实质上彼此相同的倾斜角。确切地，所述第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2的倾斜角也可以彼此不同，且其偏差可处于误差范围内。

即，所述第1-1通孔th1-1的所述第一大表面孔v2-1的内侧表面的角度可以定义为连接所述另一表面和所述第一大表面孔v2-1的第二内侧表面es2的一端e1以及位于所述第一小表面孔v1-1和第一大表面孔v2-1之间的连通部的一端e2的延长线的第一倾斜角θ1。

另外，所述第1-2通孔th1-2的所述第二大表面孔v2-2的内侧表面的角度可以定义为连接所述另一表面和所述第二大表面孔v2-2的第二内侧表面es2的一端e1以及位于所述第二小表面孔v1-2和第二大表面孔v2-2之间的连通部的一端e2的延长线的第二倾斜角θ2。

此时，所述第1-1通孔th1-1的第一倾斜角θ1可以与所述第1-2通孔th1-2的所述第二大表面孔v2-2的第二倾斜度θ2实质上相同。

此时，第1-1通孔th1-1的所述第一大表面孔v2-1的第一倾斜角θ1和所述第1-2通孔th1-2的所述第二大表面孔v2-2的第二倾斜角θ2可以是30°至55°。

因此，能够在形成400ppi级以上，具体为500ppi级以上的高清晰度的蒸镀图案的同时，在蒸镀用掩模100的另一表面上可存在岛部is。

另外，实施例中的第1-1通孔th1-1的连通部的宽度w4可以与第1-2通孔th1-2的连通部的宽度实质上相同。

另外，实施例中的第1-1通孔th1-1的第一小表面孔v1-1的高度h可以与第1-2通孔th1-2的第二小表面孔v1-2的高度相同。

换句话说，第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2虽然是通过彼此不同的方式制备的孔，但分别具有的大表面孔的倾斜角、小表面孔的高度及连通部的宽度可以实质上相同或者具有误差范围内的偏差。

即，第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2的各个小表面孔的高度h可以是约4.0μm以下。所述蒸镀用掩模100的所述第2肋rb2中的小表面孔的高度h可以是约3.5μm以下。

优选地，所述第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2的各个小表面孔的高度h可以是约3.5μm以下。所述第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2的各个小表面孔的高度h可以是约2.5μm以下。

优选地，所述第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2的多个小表面孔的高度h可以是约0.1μm至约3.4μm。例如，所述第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2的多个小表面孔的高度h可以是约0.5μm至约3.2μm。例如，所述第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2的多个小表面孔的高度h可以是约1μm至约3μm。

其中，高度可以在蒸镀用掩模100的厚度测量方向，即，深度方向上测量，可以是从蒸镀用掩模100的一表面测量至连通部的高度。具体地，可以是在与图5的俯视图中的所述水平方向(x方向、长度方向、拉伸方向)和垂直方向(y方向、宽度方向、拉伸垂直方向)分别呈90度的z轴方向上测量的。

当所述第1-1通孔th1-1和第1-2通孔th1-2的多个小表面孔的高度h大于约3.5μm时，在进行oled蒸镀时，因蒸镀物质扩散至比通孔的面积更大的区域的阴影效应(shadoweffect)而发生蒸镀缺陷。

另外，所述蒸镀用掩模100的形成有小表面孔的一表面的孔径w3以及作为小表面孔和大表面孔之间的分界的连通部的孔径w4可以彼此相似或者彼此不同。此时，所述第1-1通孔th1-1的小表面孔的孔径和第1-2通孔th1-2的小表面孔的孔径彼此对应，且第1-1通孔th1-1的连通部的孔径和第1-2通孔th1-2的连通部的孔径彼此对应。

所述蒸镀用掩模100的形成有小表面孔的一表面的孔径w3可大于连通部中的孔径w4。例如，所述蒸镀用掩模100的一表面的孔径w3和所述连通部的孔径w4之差可以是约0.01μm至约1.1μm。

例如，所述蒸镀用掩模的一表面的孔径w3和所述连通部中的孔径w4之差可以是约0.03μm至约1.1μm。例如，所述蒸镀用掩模的一表面的孔径w3和所述连通部中的孔径w4之差可以是约0.05μm至约1.1μm。

当所述蒸镀用掩模100的一表面的孔径w3和所述连通部的孔径w4之差大于约1.1μm时，可以因阴影效应而发生蒸镀缺陷。

另一方面，实施例的蒸镀用掩模100通过蚀刻而形成有通孔的有效部aa的厚度以及未被蚀刻的非有效部ua的厚度可以彼此不同。

具体地，实施例的蒸镀用掩模100的非有效部ua的厚度可以大于有效部aa1、aa2、aa3的厚度。例如，所述蒸镀用掩模100的非有效部ua或非蒸镀区域nda的最大厚度可以是约30μm以下。例如，所述蒸镀用掩模100的非有效部ua或非蒸镀区域nda的最大厚度可以是约25μm以下。例如，实施例的蒸镀掩模的非有效部或非蒸镀区域的最大厚度可以是约15μm至约25μm。

当实施例的蒸镀掩模的非有效部或非蒸镀区域的最大厚度大于约30μm时，作为所述蒸镀用掩模100原材料的金属板10的厚度变厚，因此可能很难形成精细尺寸的通孔th。另外，当所述蒸镀用掩模100的非有效部ua或非蒸镀区域nda的最大厚度小于约15μm时，金属板的厚度偏薄，因此很难形成均匀尺寸的通孔。

另一方面，在实施例的蒸镀用掩模100的一表面101的有效部aa中，形成有至少一个凹部g1、g2。例如，在第一小表面孔v1-1的相邻区域，可以形成有第一凹部g1。另外，在所述第二小表面孔v1-2的相邻区域，可以形成有第二凹部g2。

此时，所述第一凹部g1能够形成为从与第2-1肋rb2-1垂直重叠的位置隔开规定间隔。因此，所述第一凹部g1可以不影响所述第一厚度t1。只是，当所述第一凹部g1形成在与所述第2-1肋rb2-1垂直重叠的位置上时，所述第一厚度t1可以在该位置上与第一凹部g1的厚度相应地减小。

另外，所述第二凹部g2能够形成为从与第2-2肋rb2-2垂直重叠的位置隔开规定间隔。因此，所述第二凹部g2可以不影响所述第二厚度t2。只是，当所述第二凹部g2形成在与所述第2-2肋rb2-2垂直重叠的位置上时，所述第二厚度t2可以在该位置上与第二凹部g2的厚度相应地减小。

此时，可以在实施例的蒸镀用掩模100的一表面101和另一表面102中的除有效部aa以外的其他区域(例如，非有效部和非蒸镀区域)形成第三凹部(未图示)。但是，所述第三凹部不影响蒸镀用掩模100的蒸镀性能。只是，当所述第三凹部的数量增加时，蒸镀用掩模的整体强度可能变弱。因此，实施例中，也可以控制在除有效部aa以外的非有效部和所述非蒸镀区域的所述一表面和所述另一表面上形成的第三凹部的数量。例如，所述第三凹部的开口面积可以大于所述小表面孔的开口面积，且其数量可以是15个以下。

并且，在形成于有效部aa的凹部中，开口面积小于等于小表面孔的开口面积的30％的凹部也不影响蒸镀用掩模100的蒸镀性能，因此对开口面积大于小表面孔的开口面积的30％的凹部进行控制。

此时，可以在蒸镀用掩模100的另一表面102的有效部aa上不形成凹部。即，在蒸镀用掩模100的另一表面102的有效部所形成的凹部可以在形成大表面孔的过程中被去除，或者由于与大表面孔连接，视为有缺陷而被废弃。

参照图7，形成在蒸镀用掩模的一表面101上的凹部可以具有各种形态。例如，如图7的(a)所示，所述凹部ga可以不与小表面孔连接且其开口面积小于等于所述小表面孔开口面积的30％。这些凹部ga不影响蒸镀用掩模的蒸镀性能，因此不限制其数量。

另外，参照图7的(b)，所述凹部gb可以不与小表面孔连接且其开口面积大于所述小表面孔开口面积的30％。当这种凹部gb为固定数量以下时，能够通过分散应力来提高蒸镀性能，而当大于规定数量时，可降低蒸镀性能。因此，在实施例中，限制对所述凹部的数量，从而可以提高蒸镀用掩模100的蒸镀性能。

另外，参照图7的(c)，所述凹部gc能够与小表面孔连接。并且，如此与小表面孔连接的凹部gc增加所述小表面孔的孔径。并且，包括与所述小表面孔连接的凹部gc的蒸镀用掩模可能视为有缺陷。

即，在实施例中，当凹部的开口面积大于小表面孔的开口面积的30％时，能够通过分散应力来提高蒸镀性能，因此，能够通过控制凹部gb的数量来提高蒸镀用掩模100的蒸镀性能，同时能够提高收率。

例如，可以在蒸镀用掩模100的一表面101的有效部aa上形成有凹部g1、g2。

此时，在实施例的蒸镀用掩模100的一表面101上，将在与多个有效部aa对应的区域形成的凹部g1、g2总数控制为5个以下。

此时，在所述蒸镀用掩模100的一表面101上，当形成在与多个有效部aa对应的区域的凹部g1、g2的总数大于5个时，在有机物的蒸镀过程中，可能由于所述凹部g1、g2而降低蒸镀用掩模100和基板之间的紧贴力，由此降低蒸镀性能。因此，在实施例中，将在与多个所述有效部aa对应的蒸镀用掩模100的一表面101上形成的凹部g1、g2的总数控制为5个以下。

即，当所述凹部g1、g2为5个以下时，在没有降低所述基板和蒸镀用掩模100之间的紧贴力的情况下，实现有机物的蒸镀。另外，当所述凹部g1、g2为5个以下时，能够通过所述凹部g1、g2来分散蒸镀用掩模100的应力，由此解决蒸镀用掩模100发生弯曲等问题，从而进一步提高蒸镀性能。

另一方面，当所述凹部g1、g2集中于多个有效部中的任一有效部内时，可降低相应有效部内的蒸镀性能。

因此，将在实施例的所述蒸镀用掩模100的一表面101中的与一个有效部aa对应的区域上形成的凹部g1、g2的总数控制为3个以下。并且，当在一个有效部aa形成有3个以下的所述凹部g1、g2时，在没有降低相关有效部aa中的蒸镀性能的状况下，能够提高蒸镀用掩模100的蒸镀性能。

另一方面，在所述表面处理过程中，实施例中的所述凹部产生在将蒸镀用掩模100的表面粗糙度ra调整为100～200nm(0.1～0.2μm)的过程中。因此，实施例中的蒸镀用掩模100的表面粗糙度ra可以是100～200nm(0.1～0.2μm)。并且，当所述蒸镀用掩模100的表面粗糙度ra为100～200nm(0.1～0.2μm)时，可产生所述凹部g1、g2，因此，在实施例中，对于形成有小表面孔v1的一表面101的有效部aa区域上的凹部g1、g2的总数进行控制，从而能够通过分散应力来提高蒸镀性能，同时防止在有机物蒸镀过程中降低与基板间的紧贴力。

另一方面，在有效部内，所述凹部形成在形成有小表面孔的蒸镀用掩模的一表面。并且，在有效部内，所述凹部没有形成在所述蒸镀用掩模的另一表面。即，所述蒸镀用掩模的另一表面只包括多个大表面孔以及位于它们之间的多个岛部。并且，由于没有在所述多个岛部形成所述凹部，多个岛部之间的高度可以实质上彼此相同。确切地，由于没有在所述多个岛部形成所述凹部，多个岛部之间的实际高度差处于±1μ下之间。

上述实施例中说明的特征、结构、效果等包含在本发明的至少一个实施例中，但并非必须限定于一个实施例。并且，各实施例中示例的特征、结构、效果等也可以通过本领域技术人员对其他实施例进行组合或者变形后实施。因此，与这些组合和变形相关的内容都应解释为包含在本发明的范围。

另外，虽然以上以实施例为中心进行了说明，但这仅是示例，本发明并非限定于此，本领域技术人员应当理解，在不脱离本实施例的本质特性的范围内可以进行以上未示例的各种变形和应用。例如，多个实施例中具体示出的各构成要素可以变形后实施。并且，应当将与这种修改和变更有关的区别技术特征解释为包含于所附的权利要求书中规定的本发明的范围内。