1.一种薄型晶片双面研磨用吸附垫,包括吸附垫主体(1),其特征在于:所述吸附垫主体(1)的上下表面均通过胶层连接有第一环氧树脂层(2)和第二环氧树脂层(3),吸附垫主体(1)的中心开设有中心凹槽(11),中心凹槽(11)内卡合连接有橡胶气囊(4),中心凹槽(11)的一周等距离的开设有导通槽(12),导通槽(12)的一端开设有第一吸附孔(13),所述第一环氧树脂层(2)和第二环氧树脂层(3)的表面呈环形开设有第二吸附孔(21),第一环氧树脂层(2)和第二环氧树脂层(3)的中心均开设有锥形孔(22),所述橡胶气囊(4)包括中心控制气囊(41)、连通气囊(42)和夹持气囊(43),中心控制气囊(41)与中心凹槽(11)卡合连接,橡胶中心控制气囊(41)的一周等距离的连接有连通气囊(42),连通气囊(42)与导通槽(12)卡合连接,连通气囊(42)的一端与夹持气囊(43)卡合连接。
2.如权利要求1所述的一种薄型晶片双面研磨用吸附垫,其特征在于:所述第一环氧树脂层(2)上表面距离第二环氧树脂层(3)下表面的高度小于薄型晶片的厚度。
3.如权利要求1所述的一种薄型晶片双面研磨用吸附垫,其特征在于:所述锥形孔(22)的一周连接有橡胶层(221)。
4.如权利要求1所述的一种薄型晶片双面研磨用吸附垫,其特征在于:所述中心控制气囊(41)、连通气囊(42)和夹持气囊(43)的厚度相等,且中心控制气囊(41)、连通气囊(42)和夹持气囊(43)的厚度与吸附垫主体(1)的厚度相同。
5.如权利要求1所述的一种薄型晶片双面研磨用吸附垫,其特征在于:所述中心控制气囊(41)的上下表面对称连接有锥形块(411),锥形块(411)靠近中心控制气囊(41)的一端分别与锥形孔(22)活动连接,中心控制气囊(41)的内部设置有等距离分布的韧性橡胶柱(412)。
6.如权利要求5所述的一种薄型晶片双面研磨用吸附垫,其特征在于:所述锥形块(411)为环氧树脂材料制成的构件。
7.如权利要求1所述的一种薄型晶片双面研磨用吸附垫,其特征在于:所述夹持气囊(43)的中心开设有晶片夹持孔(431),晶片夹持孔(431)的直径与第二吸附孔(21)相匹配,夹持气囊(43)的上下表面通过胶层分别与第一环氧树脂层(2)和第二环氧树脂层(3)粘接。
8.一种如权利要求1-7任一项所述的薄型晶片双面研磨用吸附垫的生产方法,其特征在于,包括以下步骤:
s1:在吸附垫主体(1)的中心开设中心凹槽(11),并在中心凹槽(11)的一周的等距离的开设导通槽(12),导通槽(12)的一端开设第一吸附孔(13),并将中心凹槽(11)、导通槽(12)和第一吸附孔(13)的边缘打磨光滑;
s2:将橡胶气囊(4)安装进吸附垫主体(1),中心控制气囊(41)与中心凹槽(11)卡合,连通气囊(42)与导通槽(12)卡合,夹持气囊(43)与第一吸附孔(13)卡合连接;
s3:在吸附垫主体(1)、中心控制气囊(41)和夹持气囊(43)的上下表面刷上胶层;
s4:将第一环氧树脂层(2)和第二环氧树脂层(3)分别对应吸附垫主体(1)的上下表面进行粘接,同时将第二吸附孔(21)的圆心与第一吸附孔(13)的圆心对应,按压第一环氧树脂层(2)和第二环氧树脂层(3),直至胶层凝固;
s5:从锥形孔(22)将锥形块(411)与中心控制气囊(41)的上下表面粘接,粘接时,将锥形块(411)表面积小的一端与中心控制气囊(41)的表面粘黏。