一种镀膜绝缘辊道及真空溅射镀膜装置的制作方法

1.本技术涉及玻璃镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜绝缘辊道及真空溅射镀膜装置。


背景技术：

2.玻璃镀膜是在玻璃表面涂镀一层或多层金属膜或金属氧化物薄膜，从而改变玻璃的光学性能。目前，玻璃镀膜的方法通常有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气象沉积法以及溶胶
‑
凝胶法等。其中，真空磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀性和耐磨性较好，是目前较为普遍的镀膜方法。
3.为了避免辊道本体与轴头导通，导致膜面损坏的情况发生，通常在辊道本体和轴头之间添加一层绝缘层，使得辊道本体与绝缘轴头之间绝缘不导电，从而避免玻璃膜面与地导通放电。
4.但是，由于辊道在真空磁控溅射的环境下长时间使用后，辊道本体、绝缘层以及轴头的表面会溅射到靶材，而靶材通常为金属导电材料，在使用一段时间后，绝缘层会被靶材覆盖导致辊道本体和轴头导通，造成绝缘失效的情况发生。


技术实现要素：

5.本技术提供一种镀膜绝缘辊道及真空溅射镀膜装置，能够避免在使用过程中由于靶材的溅射导致轴头与辊道本体间导通，能够有效避免玻璃膜面被损坏的情况发生。
6.根据本技术的第一个方面，提供了一种镀膜绝缘辊道，包括：
7.辊道本体，端部具有安装孔，
8.轴头，安装于所述安装孔内，并与所述辊道本体绝缘连接；
9.绝缘挡块，套设于所述轴头上，所述绝缘挡块封挡所述安装孔，且所述绝缘挡块靠近所述安装孔的一侧与所述辊道本体的端面间具有间隙。
10.在一种可能的设计方式中，所述绝缘挡块与所述轴头通过安装顶丝固接。
11.在一种可能的设计方式中，所述绝缘挡块靠近所述辊道本体的一侧具有第一凹槽。
12.在一种可能的设计方式中，所述第一凹槽包括至少两个，至少两个所述第一凹槽的轴心相同。
13.在一种可能的设计方式中，相邻的两个所述第一凹槽的间距为4～8mm。
14.在一种可能的设计方式中，所述绝缘挡块的周壁上环设有第二凹槽。
15.在一种可能的设计方式中，所述第二凹槽沿所述轴头的轴向宽度为6～10mm。
16.在一种可能的设计方式中，所述间隙的宽度为3～7mm。
17.在一种可能的设计方式中，所述安装孔内设有绝缘套，所述轴头通过所述绝缘套与所述辊道本体相连接。
18.根据本技术的第二个方面，提供了一种真空溅射镀膜装置，包括本技术第一个方面任一可能的设计方式所提供的镀膜绝缘辊道。
19.本技术实施例，通过在轴头上套设绝对挡块，用绝缘挡块封挡辊道本体端部的安装孔，并将绝缘挡块与辊道本体的端面间预留一定的间隙。这样，在辊道本体长时间使用的情况下，即使靶材溅射到绝缘挡块上，由于绝缘挡块与辊道本体之间具有间隙，该间隙也能够保持辊道本体与绝缘挡块之间的绝缘，从而保证辊道本体与轴头不会导通。相比于现有技术，能够避免在使用过程中由于靶材的溅射导致轴头与辊道本体间导通，能够有效避免玻璃膜面被损坏的情况发生，提高玻璃镀膜的成品率。
20.本技术的构造以及它的其他目的及有益效果将会通过结合附图进行详细说明，以保证对优选实施例的描述更加明显易懂。
附图说明
21.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
22.图1是本技术实施例提供的镀膜绝缘辊道的整体结构示意图；
23.图2是本技术实施例提供的绝缘挡块的主视图；
24.图3是本技术实施例提供的绝缘挡块的左视图。
25.附图标记说明：
[0026]1‑
镀膜绝缘辊道；
[0027]
10
‑
辊道本体；20
‑
轴头；30
‑
绝缘挡块；40
‑
间隙；50
‑
绝缘套；
[0028]
101
‑
安装孔；30
‑
安装顶丝；302
‑
第一凹槽；303
‑
第二凹槽。
具体实施方式
[0029]
为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]
在本技术实施例的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0031]
在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]
在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以
是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0033]
在本技术的描述中，需要理解的是，术语“内”、“外”、“上”、“底”、“前”、“后”等指示的方位或者位置关系(若有的话)为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0034]
针对现有技术中的镀膜辊道存在的技术问题，本技术实施例提供了一种镀膜绝缘辊道，主要思路是在轴头上套设一绝缘挡块，绝缘挡块将辊道本体端部的安装孔挡住，并且，绝缘挡块靠近安装孔的一侧与辊道本体的端面之间预留一定的间隙。这样，在对玻璃进行真空溅射镀膜时，即使靶材发生一定的溅射并溅射到绝缘挡块的表面，由于绝缘挡块与辊道本体之间具有间隙，也不会出现辊道本体与绝缘挡块导通的情况，从而能够有效避免辊道本体与轴头导通，能够有效避免玻璃膜面被损坏的情况发生，提高玻璃镀膜的成品率。
[0035]
具体的，参照图1所示，图1是本技术实施例提供的镀膜绝缘辊道的整体结构示意图。本技术实施例提供了一种镀膜绝缘辊道1，包括：
[0036]
辊道本体10，端部具有安装孔101。
[0037]
具体的，本技术实施例中，辊道本体10可以是与相关技术中的辊道本体相同或类似。参照图1所示，在辊道本体10的周壁上可以套设有多个并排设置的o型圈，通过设置o型圈，能够避免辊道本体10与玻璃基板发生剐蹭的情况，能够有效保护玻璃基板上的镀膜。
[0038]
其中，o型圈可以为橡胶圈。
[0039]
需要说明的是，位于辊道本体10端部的安装孔101可以沿辊道本体10的轴向向内开设，具体可以通过铣刀或者车床加工得到。
[0040]
轴头20，安装于安装孔101内，并与辊道本体10绝缘连接。
[0041]
可以理解的是，真空磁控溅射镀膜需要在真空环境下进行，轴头20和辊道本体10均需要安装在真空腔室内。通常，在真空腔室内沿辊道本体10的两端设置支架，轴头20通过轴承安装在支架上。轴头20的端部接地。
[0042]
在真空溅射过程中，金属靶材可能溅射到轴头20上，并逐渐覆盖轴头20和辊道本体10之间的绝缘部分，可能导致辊道本体10与轴头20导通发生放电，而破坏镀膜的情况发生。为了避免这种情况，本技术实施例中，在轴头20上套设有绝缘挡块30，绝缘挡块30封挡安装孔101，且绝缘挡块30靠近安装孔101的一侧与辊道本体10的端面间具有间隙40。
[0043]
可以理解的是，本技术实施例中，绝缘挡块30封挡安装孔101是指绝缘挡块30的外径大于安装孔101的直径。这样，绝缘挡块30能够阻挡在整个安装孔101的外侧，将溅射的靶材阻挡在绝缘挡块30外。
[0044]
具体的，本技术实施例中绝缘挡块30可以通过花键与轴头20固接。例如在轴头20的周壁上开设键槽，在绝缘挡块30的内周壁上对应的位置处也开设键槽，在安装时，在键槽内首先放置花键，然后将绝缘挡块30套设到轴头20上。
[0045]
可以理解，绝缘挡块30可以采用绝缘材料制成。例如，木块、橡胶、塑料、陶瓷块、云母或者石棉等材料。在一种可选方式中，绝缘挡块30可以是聚醚酮(polyether ketone，
pek)材料制成。
[0046]
在另一些示例中，绝缘挡块30与轴头20可以通过过盈配合的方式连接。例如，将绝缘挡块30的内径设置的略微小于轴头20的直径，然后将绝缘挡块30套设到轴头20的周壁上。
[0047]
其中，本技术实施例中，绝缘挡块30与辊道本体10的端面之间具有一定间隙40，具体可以在安装连接绝缘挡块30和轴头20是，对绝缘挡块30的位置进行定位。例如，前述的键槽的开设位置可以以辊道本体10的端面为基准，向远离辊道本体10的端面的方向移动一定距离，从而对绝缘挡块30进行定位，保证绝缘挡块30与辊道本体10之间具有间隙40。
[0048]
本技术实施例，通过在轴头20上套设绝对挡块30，用绝缘挡块30封挡辊道本体10端部的安装孔101，并将绝缘挡块30与辊道本体10的端面间预留一定的间隙40。这样，在辊道本体10长时间使用的情况下，即使靶材溅射到绝缘挡块30上，由于绝缘挡块30与辊道本体10之间具有间隙40，该间隙40也能够保持辊道本体10与绝缘挡块30之间的绝缘，从而保证辊道本体10与轴头20不会导通。相比于现有技术，能够避免在使用过程中由于靶材的溅射导致轴头20与辊道本体10间导通，能够有效避免玻璃膜面被损坏的情况发生，提高玻璃镀膜的成品率。
[0049]
继续参照图1所示，本技术实施例中，绝缘挡块30与轴头20通过安装顶丝301固接。
[0050]
具体的，安装顶丝301也可以采用绝缘材料制作，例如与绝缘挡块30相同的材料。
[0051]
在具体实现时，可以在绝缘挡块30的径向上开设固定孔，并在轴头20的周壁上开设沉孔，安装顶丝301贯穿绝缘挡块30上开设的固定孔，并与开设在轴头20周壁上的沉孔进行固接。例如，可以在沉孔内设置内螺纹，而安装顶丝301与沉孔连接的一端设置外螺纹，通过螺纹连接。
[0052]
这样，通过安装顶丝301固定绝缘挡块30和轴头20，能够使得绝缘挡块30与轴头20之间的连接更加稳固，避免绝缘挡块30在使用过程中发生位移的情况出现，能够提高绝缘效果。
[0053]
可选的，在本技术实施例中，安装顶丝301可以沿绝缘挡块30的轴向设置多个，多个安装顶丝301均匀间隔排布。
[0054]
例如，安装顶丝301可以设置两个、三个或者四个等。本技术实施例中，对安装顶丝301的具体个数不做限定。
[0055]
可以理解的是，由于绝缘挡块30与辊道本体10的端面之间设有一定的间隙40。在真空磁控溅射镀膜的过程中，少量或者微量的靶材有可能溅射到间隙40内，并逐渐附着在绝缘挡块30的表面。为了增大绝缘挡块30能够附着靶材的表面积，参照图1
‑
图3所示，图2是本技术实施例提供的绝缘挡块的主视图，图3是本技术实施例提供的绝缘挡块的左视图。在本技术实施例中，在绝缘挡块30靠近辊道本体10的一侧具有第一凹槽302。
[0056]
具体的，本技术实施例中，第一凹槽302可以与绝缘挡块30一体成型。例如，在对绝缘挡块30进行注塑成型时，通过对磨具的设计一体成型得到第一凹槽302。在一些可能的示例中，也可以是在绝缘挡块30成型后，通过二次加工的方式得到第一凹槽302。
[0057]
本技术实施例中，通过在绝缘挡块30靠近辊道本体10的一侧设置第一凹槽302，能够增大绝缘挡块30的表面积，这样，少量溅射的靶材能够有足够的附着面积，提供有效延长绝缘挡块30的使用时间，能够有效避免辊道本体10与绝缘挡块30之间导通。
[0058]
可选的，本技术实施例中，第一凹槽302可以是圆环形凹槽，第一凹槽302的轴心可以与绝缘挡块30的轴心相同。
[0059]
可以理解的是，在一些可选的示例中，第一凹槽302也可以是三角形、四边形或者其他多边形的形状。
[0060]
可选的，本技术实施例中，第一凹槽302包括至少两个，至少两个第一凹槽302的轴心相同。
[0061]
通过采用多个第一凹槽302，能够有效增加绝缘挡块30的表面积，提高对靶材的附着面积，有效避免绝缘挡块30与辊道本体10之间的间隙40被毒蛇的情况发生。
[0062]
需要说明的是，如前所述，第一凹槽302的形状可以是三角形、四边形或者其他多边形的形状，在第一凹槽302为多个的情况下，多个第一凹槽302的形状可以相同，也可以不同。本技术实施例中对此不做限定。
[0063]
可选的，参照图2所示，本技术实施例中，相邻的两个第一凹槽302的间距d1为4～8mm。在一种具体示例中，相邻两个第一凹槽302的间距d1可以为6mm。
[0064]
其中，第一凹槽302的底壁可以是矩形，在一些可能的示例中，第一凹槽302的底壁也可以是圆弧形或者锥型等形状。
[0065]
在具体设置时，只要保证第一凹槽302的槽底不存在毛刺或者毛边等尖锐部位即可。
[0066]
在一种具体示例中，参照图2和图3所示，第一凹槽302可以是两个，两个第一凹槽302均为圆环形凹槽，并且两个第一凹槽302的轴心相同，且均与绝缘挡块30的轴心相同。
[0067]
两个第一凹槽302的槽宽可以为6～10mm，在一种具体示例中，第一凹槽302的槽宽可以是8mm。
[0068]
这里需要说明的是，本技术涉及的数值和数值范围为近似值，受制造工艺的影响，可能会存在一定范围的误差，这部分误差本领域技术人员可以认为忽略不计。
[0069]
可选的，参照图1和图2所示，本技术实施例中，绝缘挡块30的周壁上环设有第二凹槽303。
[0070]
具体的，本技术实施例中，第二凹槽303可以是环绕绝缘挡块30周壁的环形槽，也可以是在绝缘挡块30周壁上沿周向间断排布的多个凹槽。
[0071]
在第二凹槽303为多个间断排布的凹槽的情况下，多个凹槽可以沿绝缘挡块30的周向均匀间隔排布设置。
[0072]
具体的，本技术实施例中，第二凹槽303沿轴头20的轴向宽度为6～10mm。
[0073]
其中，绝缘挡块30的厚度可以为12～16mm。
[0074]
在一些可能的示例中，绝缘挡块30背离辊道本体10的一侧还具有台阶部，台阶部沿绝缘挡块30的轴向凸出，台阶部的高度为1～3mm。
[0075]
可选的，本技术实施例中，间隙40的宽度为3～7mm。
[0076]
在一些可选示例中，间隙40的宽度可以为5mm。这样，间隙40的宽度始终，即不会因为间隙40过大导致大量的靶材溅射到间隙40内，也不会因为间隙40过小导致绝缘挡块30与辊道本体10导通的情况发生，能够提供较好的绝缘效果。
[0077]
可选的，本技术实施例中，安装孔101内设有绝缘套50，轴头20通过绝缘套50与辊道本体10相连接。
[0078]
具体的，绝缘套50的材质可以与绝缘挡块30选用相同的材质，当然，绝缘套50也可以选用与绝缘挡块30不同的材质。
[0079]
本技术实施例中，绝缘套50可以通过绝缘螺栓与辊道本体10固定连接；轴头20可以通过绝缘螺杆或者普通螺杆与绝缘套50固定连接，从而将轴头20与管道本体10连接。
[0080]
根据本技术实施例的第二个方面，提供了一种真空溅射镀膜装置，包括本技术实施例的第一个方面任一可选实施方式提供的镀膜绝缘辊道1。
[0081]
其中，镀膜绝缘辊道1可以安装在真空磁控镀膜腔室内。
[0082]
以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。