一种真空镀膜设备的制作方法

文档序号:28203911发布日期:2021-12-25 03:07阅读:253来源:国知局

1.本实用新型涉及镀膜技术领域,具体为一种真空镀膜设备。


背景技术:

2.真空镀膜是一种提高钕铁硼产品性能的方法。在连续镀膜生产线中,工件单侧表面需要进行多次镀膜以便达到要求的膜厚,每次镀膜都会产生热量,导致盛放工件的基片架温度升高,反复几次作业之后,基片架温度过高,反而会把工件的镀层破坏。因此,为了不破坏镀层,需要在每次镀膜后对基片架进行降温,使每次进入镀膜区域的基片架温度保持稳定,每次镀膜完成后基片架的温度不会达到破坏镀层的程度。
3.现有的基片架需要单独的冷却时间,影响镀膜的生产效率,同时镀膜设备外侧的冷却方式通常为自然冷,或采用气冷的方式,其冷却效率较低,会导致镀膜设备的温度过高,而影响镀膜的颜色和厚度,使镀膜效果不稳定的问题,为此,我们提出一种真空镀膜设备。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜设备,以解决上述背景技术中提出现有的基片架需要单独的冷却时间,影响镀膜的生产效率,同时镀膜设备外侧的冷却方式通常为自然冷,或采用气冷的方式,其冷却效率较低,会导致镀膜设备的温度过高,而影响镀膜的颜色和厚度,使镀膜效果不稳定的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜设备,包括主体,所述主体的底部固定连接的有底板,所述主体的右端中间位置固定连接的有隔板,且主体的右端固定连接的有一组连接板,所述连接板的左端固定连接的有冷却箱,所述冷却箱的表面设有箱门,所述主体的后端固定连接的有散热板,所述冷却箱的顶部固定连接的有电机盒,且冷却箱的内部设有若干放置板,所述冷却箱的后端开设有排气口,所述主体的左端固定连接的有油箱。
6.优选的,所述底板的顶部左端固定连接的有冷却器,所述底板的顶部固定连接的有水泵。
7.优选的,所述散热板通过导管与油箱、冷却器和水泵连接,所述散热板通过焊接与主体构成固定结构。
8.优选的,所述箱门与冷却箱的连接处设有铰链,且铰链设有若干个,所述箱门的表面设有观测窗,且观测窗由亚克力材质制成。
9.优选的,所述电机盒的内部固定连接的有伺服电机,所述伺服电机的伸出轴固定连接的有扇叶。
10.优选的,所述放置板的内部设有若干个散热孔,所述放置板由金属材质制成,所述放置板通过焊接与冷却箱构成固定结构。
11.优选的,所述油箱通过焊接与主体构成固定结构,所述底板通过焊接与主体构成
固定结构。
12.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
13.1、本实用新型中,通过冷却箱,解决了现有的基片架需要单独的冷却时间,影响镀膜的生产效率问题,通过启动伺服电机,伺服电机带动扇叶转动,带走放置板内的热量,提高了散热能力,保证冷却箱的温度始终保持稳定,每次镀膜完成后冷却箱的温度不会达到破坏镀层的程度,同时,不需要单独的冷却时间,提高了真空镀膜设备的工作效率,通过排气口,将冷却箱内部的热量排出,提高了散热效率;
14.2、本实用新型中,通过水泵和散热板,解决了现有的镀膜设备影响镀膜的颜色和厚度问题,通过启动水泵,水泵将冷却器内部的散热油,通过导管输送到散热板内,散热板内的冷却油输送到油箱内,油箱通过导管将内部的散热油输送到冷却器内,在散热油流动过程中,可以将主体的热量带走,使主体内的温度保持在镀膜需求的范围内,提高了降温能力,延长了使用寿命,通过冷却箱,提高了整体的散热效率,通过隔板和连接板的相互配合,提高了整体的储物能力。
附图说明
15.图1为本实用新型立体结构图;
16.图2为本实用新型中的主视示意图;
17.图3为本实用新型中的俯视示意图;
18.图4为本实用新型中的后视示意图;
19.图5为本实用新型中的侧剖示意图。
20.图中:1、主体;2、底板;3、隔板;4、连接板;5、散热孔;6、冷却箱;7、箱门;8、散热板;9、电机盒;10、放置板;11、排气口;12、油箱;13、冷却器;14、水泵;15、铰链;16、观测窗;17、伺服电机;18、扇叶。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1

图5,本实用新型提供一种技术方案:一种真空镀膜设备,包括主体1,主体1的底部固定连接的有底板2,主体1的右端中间位置固定连接的有隔板3,且主体1的右端固定连接的有一组连接板4,连接板4的左端固定连接的有冷却箱6,冷却箱6的表面设有箱门7,主体1的后端固定连接的有散热板8,冷却箱6的顶部固定连接的有电机盒9,且冷却箱6的内部设有若干放置板10,冷却箱6的后端开设有排气口11,主体1的左端固定连接的有油箱12,保证冷却箱6的温度始终保持稳定,每次镀膜完成后冷却箱6的温度不会达到破坏镀层的程度。
23.本实用新型中:底板2的顶部左端固定连接的有冷却器13,底板2的顶部固定连接的有水泵14,不需要单独的冷却时间,提高了真空镀膜设备的工作效率。
24.本实用新型中:散热板8通过导管与油箱12、冷却器13和水泵14连接,散热板8通过
焊接与主体1构成固定结构,提高了稳定性。
25.本实用新型中:箱门7与冷却箱6的连接处设有铰链15,且铰链15设有若干个,箱门7的表面设有观测窗16,且观测窗16由亚克力材质制成,提高了降温能力,延长了使用寿命。
26.本实用新型中:电机盒9的内部固定连接的有伺服电机17,伺服电机17的伸出轴固定连接的有扇叶18,提高了散热能力。
27.本实用新型中:放置板10的内部设有若干个散热孔5,放置板10由金属材质制成,放置板10通过焊接与冷却箱6构成固定结构,提高了工作效率。
28.本实用新型中:油箱12通过焊接与主体1构成固定结构,底板2通过焊接与主体1构成固定结构,提高了稳定性。
29.工作原理:在使用时,通过启动伺服电机17,伺服电机17带动扇叶18转动,带走放置板10内的热量,提高了散热能力,保证冷却箱6的温度始终保持稳定,每次镀膜完成后冷却箱6的温度不会达到破坏镀层的程度,同时,不需要单独的冷却时间,提高了真空镀膜设备的工作效率,通过排气口11,将冷却箱6内部的热量排出,提高了散热效率,需要散热时,通过启动水泵14,水泵14将冷却器13内部的散热油,通过导管输送到散热板8内,散热板8内的冷却油输送到油箱12内,油箱12通过导管将内部的散热油输送到冷却器13内,在散热油流动过程中,可以将主体1的热量带走,使主体1内的温度保持在镀膜需求的范围内,提高了降温能力,延长了使用寿命,通过冷却箱6,提高了整体的散热效率,通过隔板3和连接板4的相互配合,提高了整体的储物能力。
30.该文中出现的电器元件均与外界的主控制器及220v市电电连接,并且主控制器可为伺服电机、接触传感器、处理器、警报模块和驱动模块等起到控制的常规已知设备,本技术文件中使用到的标准零件均可以从市场上购买,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段进行连接,且机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再作出具体叙述。
31.需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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