镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种镀膜装置，特别是涉及一种具有多倾角功能的镀膜装置。


背景技术：

2.近年来，超导电子学技术在量子计算、高性能数字集成电路、微波辐射探测等领域有着广泛的需求和应用。而约瑟夫森结(josephson junction)是电子技术中最基础的器件，因此，制备约瑟夫森结已成为本领域技术人员想要解决的问题之一。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种具有多倾角功能的镀膜装置。
4.为了解决上述的技术问题，本实用新型所采用的其中一技术方案是提供一种镀膜装置，所述镀膜装置包括：基座模块；倾角模块，包括：第一驱动单元，所述第一驱动单元能活动地连接于所述基座模块，以及第一连动单元，所述第一连动单元连接于所述第一驱动单元，并穿设于所述基座模块；承载模块，所述承载模块连接于所述第一连动单元，所述承载模块具有开口，所述承载模块用于固持物件；位移模块，所述位移模块能活动地连接于所述承载模块，所述位移模块用于驱使所述承载模块朝第一方向或第二方向进行移位、或用于开启或遮蔽所述开口；以及自转模块，所述自转模块能活动地连接于所述承载模块，所述自转模块用于驱使所述承载模块进行转动动作；其中，所述第一驱动单元用于驱使所述第一连动单元朝第三方向或第四方向转动，以使所述承载模块呈现倾斜状态。
5.优选地，所述基座模块包括：底座单元；以及阻隔单元，所述阻隔单元为中空结构，所述阻隔单元连接于所述底座单元，所述阻隔单元连接于真空腔室且所述阻隔单元的内部与所述真空腔室的内部容积部相通；其中，所述第一驱动单元连接于所述底座单元且邻近于所述阻隔单元的一端，所述承载模块、所述位移模块、所述自转模块位于所述阻隔单元的另一端。
6.优选地，所述第一连动单元包括：传动元件，所述传动元件能活动地连接于所述第一驱动单元；固定元件，所述固定元件连接于所述传动元件，所述固定元件位于所述阻隔单元的所述一端；以及支撑元件，所述支撑元件穿设于所述阻隔单元，所述支撑元件的一端连接于所述固定元件，所述支撑元件的另一端连接于所述承载模块。
7.优选地，所述承载模块包括遮蔽单元以及物件固持单元，所述遮蔽单元连接于所述第一连动单元，所述遮蔽单元具有容置空间，所述容置空间与所述开口相通，所述物件固持单元位于所述容置空间中，所述物件固持单元用于固持所述物件。
8.优选地，所述位移模块包括第二驱动单元以及屏蔽单元，所述第二驱动单元穿设于所述遮蔽单元，所述屏蔽单元位于所述容置空间中且能活动地连接于所述第二驱动单元；其中，所述第二驱动单元用于带动所述屏蔽单元移位，以使所述屏蔽单元开启或遮蔽所述开口。
9.优选地，所述位移模块包括第二驱动单元以及第二连动单元，所述第二驱动单元连接于所述遮蔽单元，所述第二连动单元能活动地连接于所述物件固持单元与所述第二驱动单元；其中，所述第二驱动单元用于带动所述第二连动单元转动，以使所述第二连动单元带动所述物件固持单元朝所述第一方向或所述第二方向进行移位。
10.优选地，所述位移模块包括第二驱动单元以及第二连动单元，所述第二驱动单元穿设于所述遮蔽单元，所述第二连动单元连接于所述物件固持单元且能活动地连接于所述第二驱动单元；其中，所述第二驱动单元用于带动所述第二连动单元移位，以使所述第二连动单元带动所述物件固持单元朝所述第一方向或所述第二方向进行移位。
11.优选地，所述位移模块连接于所述物件固持单元且能活动地连接于所述遮蔽单元，所述位移模块用于带动所述物件固持单元朝所述第一方向或所述第二方向进行移位。
12.优选地，所述遮蔽单元包括框架元件以及多个阻挡元件，多个所述阻挡元件能活动地连接于所述框架元件，多个所述阻挡元件与所述框架元件形成所述容置空间，相邻的所述阻挡元件之间形成所述开口，且所述开口呈几何图形。
13.优选地，所述自转模块能活动地连接于所述物件固持单元，所述自转模块用于驱使所述物件固持单元进行所述转动动作。
14.本实用新型的其中一有益效果在于，本实用新型所提供的镀膜装置能通过“倾角模块包括第一驱动单元以及第一连动单元。第一驱动单元能活动地连接于所述基座模块。第一连动单元连接于所述第一驱动单元，并穿设于所述基座模块。承载模块连接于所述第一连动单元，所述承载模块具有开口，所述承载模块用于固持物件。位移模块能活动地连接于所述承载模块，所述位移模块用于驱使所述承载模块朝一第一方向或一第二方向进行移位、或用于开启或遮蔽所述开口。自转模块能活动地连接于所述承载模块，所述自转模块用于驱使所述承载模块进行转动动作。其中，所述第一驱动单元用于驱使所述第一连动单元朝第三方向或第四方向转动，以使所述承载模块呈现倾斜状态”的技术方案，提升在物件上制备约瑟夫森结的便利性。
15.为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所提供的附图仅用于提供参考与说明，并非用来对本实用新型加以限制。
附图说明
16.图1为本实用新型第一实施例的镀膜装置的其中一视角的立体示意图。
17.图2为本实用新型第一实施例的镀膜装置的另外一视角的立体示意图。
18.图3为本实用新型第一实施例的镀膜装置的部分分解示意图。
19.图4为本实用新型第一实施例的镀膜装置的部分剖面示意图。
20.图5为本实用新型第一实施例的镀膜装置的俯视示意图。
21.图6为本实用新型第一实施例的镀膜装置的使用状态示意图。
22.图7为本实用新型第一实施例的镀膜装置的前视示意图。
23.图8为本实用新型第一实施例的镀膜装置的倾斜示意图。
24.图9为本实用新型第一实施例的镀膜装置的方框图。
25.图10为本实用新型第二实施例的镀膜装置的其中一个实施方式的部分剖面示意
图。
26.图11为本实用新型第二实施例的镀膜装置的其中一个实施方式的部分示意图。
27.图12为本实用新型第二实施例的镀膜装置的另外一个实施方式的部分剖面示意图。
28.图13为本实用新型第二实施例的镀膜装置的另外一个实施方式的使用状态示意图。
29.图14为本实用新型第三实施例的镀膜装置的部分剖面示意图。
30.图15为本实用新型第三实施例的镀膜装置的镀膜装置的部分示意图。
31.图16为本实用新型第四实施例的镀膜装置的部分剖面示意图。
32.图17为本实用新型第五实施例的镀膜装置的立体示意图。
具体实施方式
33.以下是通过特定的具体实施例来说明本实用新型所公开有关“镀膜装置”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本实用新型的优点与效果。本实用新型可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不背离本实用新型的构思下进行各种修改与变更。另外，需事先声明的是，本实用新型的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘。以下的实施方式将进一步详细说明本实用新型的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本实用新型的保护范围。
34.应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种元件，但这些元件不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一元件与另一元件。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况而可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
35.第一实施例
36.请参阅图1至图9，分别为本实用新型第一实施例的镀膜装置的其中一视角的立体示意图、另外一视角的立体示意图、部分分解示意图、部分剖面示意图、俯视示意图、使用状态示意图、前视示意图、倾斜示意图以及方框图。如图所示，本实用新型第一实施例提供一种镀膜装置z，该镀膜装置包括基座模块1、倾角模块2、承载模块3、位移模块4以及自转模块5。
37.举例来说，配合图1至图3所示，本实用新型的基座模块1能拆卸地连接于真空腔室vc。倾角模块2的第一驱动单元20位于基座模块1的一端，承载模块3、位移模块4、自转模块5位于基座模块1的另一端。并且，倾角模块2的第一连动单元21能穿设于真空腔室vc，承载模块3、位移模块4、自转模块5位于真空腔室vc中。
38.进一步来说，配合图1至图3所示，基座模块1可包括底座单元10以及阻隔单元11。底座单元10能拆卸地固定于地面或载物台上。阻隔单元11可为中空结构，阻隔单元11连接于底座单元10且位于底座单元10上；其中，阻隔单元11可为单一构件或由多个构件组装而成。倾角模块2的第一驱动单元20能拆卸地连接于底座单元10且邻近于阻隔单元11的一端，承载模块3、位移模块4与自转模块5位于阻隔单元11的另一端。而且，阻隔单元11的另一端能拆卸地连接于真空腔室vc，且阻隔单元11的内部与真空腔室vc的内部容积部相通。
39.接着，配合图1至图5所示，本实用新型的倾角模块2可包括第一驱动单元20以及第一连动单元21。第一驱动单元20能活动地连接于基座模块1。第一连动单元21连接于第一驱动单元20，并穿设于基座模块1。举例来说，本实用新型的第一驱动单元20可为马达或其他类型的驱动器，第一驱动单元20能拆卸地连接于底座单元10。第一连动单元21可包括传动元件210、固定元件211以及支撑元件212。传动元件210能活动地连接于第一驱动单元20；其中，传动元件210可进一步包括传动轮2100、传动带2101以及活动件2102。传动带2101能活动地连接于传动轮2100与第一驱动单元20。活动件2102呈t型结构且为部分中空结构，活动件2102的一端能拆卸地连接于传动元件210，活动件2102的另一端能活动地穿设于固定元件211；其中，活动件2102与固定元件211之间可具有磁流体(ferrolfuid)，磁流体可密封活动件2102与固定元件211之间的间隙，并且润滑活动件2102的转动。固定元件211为中空结构，固定元件211连接于阻隔单元11。支撑元件212穿设于阻隔单元11与固定元件211，支撑元件212的一端能拆卸地连接于活动件2102，支撑元件212的另一端裸露在阻隔单元11的外部且连接承载模块3；其中，支撑元件212可为长条形的结构，且支撑元件212可为单一构件或由多个构件组装而成；而当支撑元件212是由多个构件组装而成的结构时，操作者可通过调整多个构件彼此的距离而调整支撑元件212的长度。并且，第一驱动单元20可用于驱使第一连动单元21朝第三方向或第四方向转动，以使承载模块3呈现倾斜状态；其中，第三方向可为顺时针方向或逆时针方向，第四方向可为顺时针方向或逆时针方向，且第三方向与第四方向彼此相反。此外，传动元件210还包括限位片2103，限位片2103能拆卸地设置于传动轮2100上，且限位片2103可为弧形结构。并且，底座单元10上具有定位元件100，定位元件100具有凹陷部100a。限位片2103的第一限位部2103a能活动地位于凹陷部100a中。
40.接下来，配合图1至图5所示，本实用新型的承载模块3能拆卸地连接于第一连动单元21，承载模块3用于固持物件b；其中，物件b可为晶圆、显示面板或其他类型的物件。举例来说，承载模块3可包括遮蔽单元30以及物件固持单元31。遮蔽单元30能拆卸地连接第一连动单元21的支撑元件212，遮蔽单元30可具有容置空间300以及开口301，开口301与容置空间300相通。进一步来说，遮蔽单元30可包括框架元件302以及限位元件303，框架元件302可呈立体状的几何形状且为中空结构，框架元件302下方可具有开口301，框架元件302上方可为开放状(如图1所示)或封闭状。限位元件303设置于框架元件302中；其中，限位元件303可为螺杆或导轨，但不以此为限。物件固持单元31位于容置空间300中，物件固持单元31用于固持物件b；其中，物件固持单元31能活动地连接于限位元件303。
41.接着，配合图1至图5所示，本实用新型的位移模块4能活动地连接于承载模块3，位移模块4用于驱使承载模块3朝第一方向f1或第二方向f2进行移位。举例来说，位移模块4包括第二驱动单元40以及第二连动单元41。第二驱动单元40可为马达或其他类型的驱动器，第二驱动单元40能拆卸地连接于遮蔽单元30；进一步来说，第二驱动单元40能拆卸地连接于框架元件302，第二驱动单元40位于框架元件302的侧边且位于框架元件302的外部。第二连动单元41能活动地穿设于框架元件302，且第二连动单元41能活动地连接于物件固持单元31与第二驱动单元40；其中，第二连动单元41可为螺杆或相同类型的导引构件。并且，第一方向f1与第二方向f2平行于第二连动单元41，第一方向f1与第二方向f2垂直于支撑元件212，且第一方向f1与第二方向f2彼此相反；举例来说，配合图5与图7所示，若承载模块3的位置是位于支撑元件212(或基座模块1)的前方，则第一方向f1对应于支撑元件212(或基座
模块1)的右方，第二方向f2对应于支撑元件212(或基座模块1)的左方，但不以此为限。
42.进一步来说，配合图1至图5所示，第二驱动单元40与第二连动单元41可呈现相互平行或相互垂直的设置状态，支撑元件212与第二连动单元41可呈现相互垂直的设置状态，支撑元件212与第二驱动单元40可呈现相互平行或相互垂直的设置状态。并且，第二连动单元41与遮蔽单元30的限位元件303可呈现相互平行的设置状态。
43.接下来，配合图1至图7所示，本实用新型的自转模块5能活动地连接于承载模块3，自转模块5用于驱使承载模块3进行转动动作。举例来说，自转模块5可为马达或其他类型的驱动器。自转模块5能活动地连接于物件固持单元31，自转模块5位于物件固持单元31的上方，物件固持单元31的下方可固持物件b。进一步来说，物件固持单元31还可包括本体元件310以及夹具元件311。本体元件310能活动地连接于限位元件303(即限位元件303穿设于本体元件310)，本体元件310上方设置有自转模块5。夹具元件311穿设于本体元件310，且夹具元件311的物件固持部311a裸露在本体元件310的下方外部；其中，物件固持部311a可以夹持、吸附或其他固定方式固定物件b。
44.因此，配合图1至图6所示，本实用新型的镀膜装置z在进行镀膜工艺时，承载模块3以及支撑元件212的裸露在阻隔单元11外部的部分可位于真空腔室vc中，真空腔室vc中设置有镀膜源cs(例如坩埚，但不以此为限)，镀膜源cs位于承载模块3的下方(即承载模块3的开口301朝向镀膜源cs)。并且，承载模块3的物件固持单元31可固持物件b(在本实施例中是以晶圆作为示例，但不以此为限)。
45.接着，在对物件b进行镀膜的过程中，镀膜源cs可朝承载模块3提供镀膜料(在图中未示出)，而镀膜料可通过通过承载模块3的开口301而附着于物件b的表面上，进而形成膜层(在图中未示出)。
46.进一步来说，配合图1至图9所示，本实用新型的镀膜装置z可通过第一驱动单元20带动传动元件210以自身的轴心ac1为中心而朝第三方向或第四方向转动，而使得传动元件210带动活动件2102与支撑元件212一起转动；此时，支撑元件212会带动承载模块3(即遮蔽单元30与物件固持单元31)一起转动，且使得承载模块3呈现倾斜状态(如图8所示)。接着，在镀膜源cs朝承载模块3提供镀膜料时，物件b离开口301较近的表面上可附着较多的镀膜料，物件b离开口301较远的表面上可附着较少的镀膜料。
47.并且，配合图5所示，本实用新型的镀膜装置z也可通过第二驱动单元40带动第二连动单元41转动，而一并带动物件固持单元31朝第一方向f1或第二方向f2进行移位，使得物件b的待镀膜的表面可比较靠近或对应开口301。
48.而且，配合图7所示，本实用新型的镀膜装置z也可通过自转模块5带动物件固持单元31以自身的轴心ac2为中心进行轴向转动(即原地转动)，使得物件b的待镀膜的表面可靠近或对应开口301。其中，自转模块5可带动物件固持单元31以顺时针方向或逆时针方向进行转动。
49.由此，本实用新型的镀膜装置z在进行镀膜工艺时，可分别或同时通过倾角模块2、位移模块4以及自转模块5驱使承载模块3进行多轴向的运动动，以调整承载模块3的位置或角度，再配合制备约瑟夫森结的制备方法，可使得物件b表面能形成约瑟夫森结。并且，本实用新型的镀膜装置z也可使得大尺寸的物件b的表面能形成均匀厚度的镀膜，同时，也能对物件b表面的特定区域进行均匀镀膜，进而提升镀膜的便利性及均匀度。值得一的是，本实
用新型的镀膜装置z不只限于应用在制备约瑟夫森结，也可应用于其他的镀膜领域。
50.此外，本实用新型的镀膜装置z还可包括控制模块6，控制模块6可为具有处理功能的电路板或控制机台，但不以此为限。控制模块6可连接倾角模块2的第一驱动单元20、位移模块4的第二驱动单元40以及自转模块5。控制模块6可根据至少一个控制命令(例如指令或信号，但不以此为限)驱使第一驱动单元20、第二驱动单元40与自转模块5中至少一者进行运作。
51.值得注意的是，在本实用新型中，阻隔单元11上可具有多个通孔(在附图中未标出)，以使得位于真空腔室vc中的驱动器(例如第二驱动单元40与自转模块5，如图1所示，但不以此为限)能与位于真空腔室vc外部的控制模块6连接。
52.然而，上述所举的例子只是其中一个可行的实施例而并非用以限定本实用新型。
53.第二实施例
54.请参阅图10至图13，分别为本实用新型第二实施例的镀膜装置的其中一个实施方式的部分剖面示意图、其中一个实施方式的部分示意图、另外一个实施方式的部分剖面示意图以及另外一个实施方式的使用状态示意图，并请一并参阅图1至图9。如图所示，本实施例的镀膜装置z与上述第一实施例的镀膜装置z大致相似，因此，相同元件的设置或作动在此不再赘述。而本实施例与上述第一实施例的差异在于，在本实施例中，位移模块4可包括第二驱动单元40以及第二连动单元41，第二驱动单元40穿设于遮蔽单元30，第二连动单元41连接于物件固持单元31且能活动地连接于第二驱动单元40；其中，第二驱动单元40用于带动第二连动单元41移位，以使第二连动单元41带动物件固持单元31朝第一方向或第二方向进行移位。
55.举例来说，配合图10及图11所示，本实用新型的位移模块4包括了第二驱动单元40以及第二连动单元41，第二驱动单元40可为马达或其他类型的驱动器，第二连动单元41可为板件，但不以此为限。第二驱动单元40可位于阻隔单元11中，第二驱动单元40具有驱动部400，驱动部400穿设于阻隔单元11、固定元件211、活动件2102与遮蔽单元30的框架元件302。第二连动单元41的截面可呈l形，第二连动单元41的一侧连接于物件固持单元31的本体元件310，第二连动单元41的另一侧具有第一连动部410，第一连动部410与驱动部400能以啮合或其他卡合方式彼此活动地连接。
56.因此，本实用新型的镀膜装置z在进行镀膜工艺时，可通过第二驱动单元40的驱动部400带动第二连动单元41的第一连动部410移位，而使得第二连动单元41一并带动物件固持单元31朝第一方向或第二方向进行移位，进而使得物件b的待镀膜的表面可靠近或对应开口301。其中，本实施例中的第一方向以及第二方向与第一实施例所述的第一方向以及第二方向相同，在此不再特别说明。
57.并且，配合图10及图11所示，遮蔽单元30还可具有多个限位元件303，多个限位元件303分别位于物件固持单元31的两侧。第二连动单元41邻近于其中一个限位元件303。物件固持单元31还可包括多个导引元件312，多个导引元件312分别设置于本体元件310的两侧，每一个导引元件312能活动地连接于其中一个限位元件303；其中，每一个导引元件312可由支撑柱与导轮组成，但不以此为限，导引元件312也可为其他类型的导引元件。
58.此外，在本实施例的其他可选的实施方式中，本实用新型的位移模块4可包括第二驱动单元40以及屏蔽单元42。第二驱动单元40穿设于遮蔽单元30，屏蔽单元42位于容置空
间300中且能活动地连接于第二驱动单元40；其中，第二驱动单元40用于带动屏蔽单元42移位，以使屏蔽单元42开启或遮蔽开口301。
59.举例来说，配合图10至图13所示，本实用新型的位移模块4可不包括第二连动单元41，而改成设置为包括屏蔽单元42。屏蔽单元42可为板件，屏蔽单元42位于物件固持单元31与开口301之间。屏蔽单元42对应第二驱动单元40的驱动部400的一侧向外延伸形成第二连动部420，第二连动部420与驱动部400能以啮合或其他卡合方式彼此活动地连接。
60.因此，配合图12及图13所示，本实用新型的镀膜装置z可通过第二驱动单元40的驱动部400带动第二连动单元41的第一连动部410移位，而使得第二连动单元41能完全开启开口301、部分遮蔽开口301或完全遮蔽开口301。也就是说，本实用新型的镀膜装置z在进行镀膜工艺时，可通过第二驱动单元40驱使第二连动单元41开启开口301或部分遮蔽开口301，使得镀膜料能附着到物件b表面上的特定区域；同时，也配合倾角模块2以及自转模块5驱使承载模块3进行多轴向的运动。
61.然而，上述所举的例子只是其中一个可行的实施例而并非用以限定本实用新型。
62.第三实施例
63.请参阅图14及图15所示，分别为本实用新型第三实施例的镀膜装置的部分剖面示意图以及部分示意图，并请一并参阅图1至图13。如图所示，本实施例的镀膜装置z与上述各实施例的镀膜装置z大致相似，因此，相同元件的设置或作动在此不再赘述。而本实施例与上述各实施例的差异在于，在本实施例中，自转模块5可包括第三驱动单元50、连杆单元51以及传动单元52。第三驱动单元50可为马达或其他类型的驱动器，第三驱动单元50可穿设于第一连动单元21的活动件2102。连杆单元51的一端连接于第三驱动单元50，连杆单元51的另一端活动地连接于第二连动单元41。传动单元52设置于连杆单元51的另一端，传动单元52能活动地连接于夹具元件311的一传动部311b。
64.因此，配合图14及图15所示，本实用新型的镀膜装置z在进行镀膜工艺时，可通过第三驱动单元50带动连杆单元51转动，而使得连杆单元51带动传动单元52转动，进而使得传动单元52带动夹具元件311以自身的轴心ac2为中心进行轴向转动。
65.进一步来说，配合图14及图15所示，连杆单元51还可包括多个传动件510、多个转动件511以及伸缩件512。传动件510与伸缩件512可为杆件或其他相同类型的元件，转动件511可为万向接头或其他相同类型的元件。其中一个传动件510连接于第三驱动单元50与其中一个转动件511，伸缩件512的一端连接于其中一个转动件511，伸缩件512的另一端连接于另外一个转动件511，另外一个转动件511连接于另外一个传动件510，且另外一个传动件510穿设于传动单元52且能活动地连接于本体元件310与第二连动单元41。其中，伸缩件512可包括第一伸缩杆5120以及第二伸缩杆5121。第一伸缩杆5120为中空结构，第一伸缩杆5120的一端连接于其中一个转动件511，第一伸缩杆5120的另一端朝外延伸形成圆饼部5120a，圆饼部5120a背对第一伸缩杆5120本体的一面朝外延伸形成相对设置的多个支撑柱5120b。并且，第二伸缩杆5121的一端能活动地穿设于第一伸缩杆5120，第二伸缩杆5121的另一端连接于另外一个转动件511。第二伸缩杆5121的本体朝外延伸形成环状部5121a，环状部5121a的外缘向内凹陷形成多个第二限位部5121b，且每一个支撑柱5120b能活动地穿设于其中一个第二限位部5121b。
66.因此，配合图10至图15所示，当镀膜装置z的第二驱动单元40的驱动部400带动第
二连动单元41的第一连动部410进行移位时，除了物件固持单元31会随着第二连动单元41一并移动之外，伸缩件512以及与传动单元52连接的传动件510可通过转动件511的自身转动，而随着第二连动单元41一并移动；其中，伸缩件512在随着第二连动单元41一并移动的过程中，会产生伸长或缩短的活动。
67.然而，上述所举的例子只是其中一个可行的实施例而并非用以限定本实用新型。
68.第四实施例
69.请参阅图16，为本实用新型第四实施例的镀膜装置的部分剖面示意图，并请一并参阅图1至图15。如图所示，本实施例的镀膜装置z与上述各实施例的镀膜装置z大致相似，因此，相同元件的设置或作动在此不再赘述。而本实施例与上述各实施例的差异在于，在本实施例中，位移模块4连接于物件固持单元31且能活动地连接于遮蔽单元30，位移模块4用于带动物件固持单元31朝第一方向或第二方向进行移位。
70.举例来说，配合图10、图11以及图16所示，本实用新型的位移模块4可为压电陶瓷马达或其他类型的驱动器。并且，位移模块4能活动地连接于遮蔽单元30的其中一个限位元件303；而且，遮蔽单元30还可具有多个限位元件303，多个限位元件303分别位于物件固持单元31的两侧、或物件固持单元31的一侧。物件固持单元31还可包括多个导引元件312；其中，本实施例中的导引元件312与第二实施例所述的导引元件312的结构设计相同，在此不再特别说明。
71.因此，本实用新型的镀膜装置z在进行镀膜工艺时，可通过位移模块4在所对应的限位元件303上进行线性移位，以带动物件固持单元31朝第一方向或第二方向进行移位，进而使得物件b的待镀膜的表面可靠近或对应开口301。
72.然而，上述所举的例子只是其中一个可行的实施例而并非用以限定本实用新型。
73.第五实施例
74.请参阅图17，为本实用新型第五实施例的镀膜装置的立体示意图，并请一并参阅图1至图16。如图所示，本实施例的镀膜装置z与上述各实施例的镀膜装置z大致相似，因此，相同元件的设置或作动在此不再赘述。而本实施例与上述各实施例的差异在于，在本实施例中，遮蔽单元30可包括框架元件302以及多个阻挡元件304，多个阻挡元件304能活动地连接于框架元件302，多个阻挡元件304与框架元件302形成容置空间300，相邻的阻挡元件304之间形成开口301，且开口301呈几何图形。
75.举例来说，配合图16及图17所示，遮蔽单元30还可包括多个阻挡元件304，阻挡元件304可为板件结构，阻挡元件304可为金属、塑胶或玻璃的材质。多个阻挡元件304能以卡合或其他结合方式而活动地连接于框架元件302的底部。
76.因此，若要在物件b的表面上形成特定形状的镀膜时，可将开口301设计成任何形状，例如，在本实施例中是以长方形作为示例，但不以此为限，也可设置成圆形、菱形、椭圆形、多角形或其他几何图形。
77.然而，上述所举的例子只是其中一个可行的实施例而并非用以限定本实用新型。
78.实施例的有益效果
79.本实用新型的其中一有益效果在于，本实用新型所提供的镀膜装置z能通过“倾角模块2包括第一驱动单元20以及第一连动单元21。第一驱动单元20能活动地连接于基座模块1。第一连动单元21连接于第一驱动单元20，并穿设于基座模块1。承载模块3连接于第一
连动单元21，承载模块3用于固持一物件b。位移模块4能活动地连接于承载模块3，位移模块4用于驱使承载模块3朝第一方向或第二方向进行移位。自转模块5能活动地连接于承载模块3，自转模块5用于驱使承载模块3进行转动动作。其中，第一驱动单元20用于驱使第一连动单元21朝第三方向或第四方向转动，以使承载模块3呈现倾斜状态”的技术方案，以提升在物件上制备约瑟夫森结的便利性。
80.更进一步来说，本实用新型的镀膜装置z通过上述的技术方案，在进行镀膜工艺时，可分别或同时通过倾角模块2、位移模块4以及自转模块5驱使承载模块3进行多轴向的运动，以调整承载模块3的位置或角度，再配合制备约瑟夫森结的制备方法，可使得物件b表面能形成约瑟夫森结。并且，本实用新型的镀膜装置z也可使得大尺寸的物件b的表面能形成均匀厚度的镀膜，进而提升镀膜的便利性及均匀度。并且，在特殊需求下，也能利用倾角模块2、位移模块4以及自转模块5调整承载模块3的位置或角度，来对物件b表面的特定区域镀上特殊图形的膜层。
81.以上所公开的内容仅为本实用新型的优选可行实施例，并非因此局限本实用新型的权利要求书的保护范围，所以凡是运用本实用新型说明书及附图内容所做的等效技术变化均包含于本实用新型的权利要求书的保护范围内。