用于有机发光二极管的沉积设备的制作方法

本申请要求于2020年11月18日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请no.10-2020-0154758的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过参引并入本文。本公开涉及用于有机发光二极管的沉积设备，并且特别地，涉及通过辅助室独立地维护沉积材料来缩短沉积材料的评估时间的用于有机发光二极管的沉积设备。

背景技术：

1、有机发光二极管(oled)是主动发光装置，在该主动发光装置中，在上下分开的两个电极之间设置有有机膜，并且，当电流流过这两个电极时，由这两个电极提供的电子和空穴在有机膜中结合以产生光。这种oled是薄且轻的，并且具有高亮度、低功耗等性能，并且在各种领域中使用。特别地，oled作为下一代显示器已经受到关注，并且oled还可以用作发射白光和单色光的照明。

2、在制造oled时，需要形成有机薄膜的工艺和形成导体薄膜的工艺，并且作为这种薄膜形成工艺，主要使用蒸发沉积。

3、有机薄膜主要以下述方式制造：装有低分子有机材料的坩埚通过使电流流过包围该坩埚的加热丝来加热，转移至坩埚的热使坩埚中的有机材料的温度增加，并且随着有机材料的温度增加，有机材料以气体形式离开坩埚并沉积在基材上。在这种利用热沉积方法制造有机薄膜的过程中，已经使用了oled沉积装置。

4、图1是图示了现有的oled沉积装置的横截面图。

5、当参照图1时，现有的oled沉积装置具有定位在上部部分上的基材(s)，并且在下部部分上设置了用于将原材料加热并蒸发以将原材料沉积在基材(s)上的oled沉积装置源和用于测量沉积在基材上的薄膜的厚度的厚度测量传感器。

6、oled沉积装置源形成有：坩埚，该坩埚中容纳有机材料、原材料；加热装置，该加热装置绕坩埚缠绕从而以电力的方式加热坩埚；以及喷嘴单元，该喷嘴单元包括设置有喷射孔的多个喷嘴，喷射通过加热装置从坩埚中蒸发的原材料。

7、现有的oled沉积装置将所有沉积材料都包括在一个反应室中，并且因此，每当更换蒸发源时，解除室中的真空状态，放置新的蒸发材料，并且使室内部再次处于真空状态以进行虚拟过程，这导致沉积时间和评估时间很长的问题。

8、因此，需要对用于有机发光二极管的沉积设备进行改进，该用于有机发光二极管的沉积设备能够对所有沉积材料中的一些沉积材料进行评估或缩短沉积时间。

技术实现思路

1、技术问题

2、本公开是鉴于上述情况做出的，并且本公开涉及提供一种用于有机发光二极管的沉积设备，该用于有机发光二极管的沉积设备通过包括包含沉积材料并且能够独立地进行维护的多个辅助室在对沉积材料进行部分沉积时缩短了沉积材料的评估时间。

3、技术方案

4、根据本公开的一个实施方式的用于有机发光二极管的沉积设备包括：主室，该主室沉积和评估材料；辅助室，该辅助室连接至主室，并且待沉积的沉积材料装入该辅助室中；以及加热单元，该加热单元加热装入辅助室中的沉积材料。

5、在一个实施方式中，包括将辅助室和加热单元连接的波纹管。

6、在一个实施方式中，辅助室包括将沉积材料装入主室的隔室中的装载单元。

7、在一个实施方式中，装载单元还包括控制沉积材料的运动的闸阀。

8、在一个实施方式中，还包括使辅助室的内部处于真空状态的真空单元。

9、在一个实施方式中，辅助室安置在主室的下方。

10、在一个实施方式中，辅助室包括位于一个侧部上用于装载和卸载沉积材料的打开/关闭单元。

11、在一个实施方式中，打开/关闭单元还包括用于保持辅助室的内部的气氛的压缩构件。

12、在一个实施方式中，辅助室和加热单元是可移动的。

13、在一个实施方式中，还包括使波纹管压缩和解压缩的马达。

14、有益效果

15、根据本公开，当通过包括包含沉积材料并且能够独立地进行维护的多个辅助室对沉积材料进行部分沉积时，获得缩短沉积材料的评估时间的效果。

1.一种用于有机发光二极管的沉积设备，所述设备包括：

2.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管的沉积设备，包括将所述辅助室和所述加热单元连接的波纹管。

3.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管的沉积设备，其中，所述辅助室包括将所述沉积材料装入所述主室的隔室中的装载单元。

4.根据权利要求3所述的用于有机发光二极管的沉积设备，其中，所述装载单元还包括控制所述沉积材料的运动的闸阀。

5.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管的沉积设备，还包括使所述辅助室的内部处于真空状态的真空单元。

6.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管的沉积设备，其中，所述辅助室安置在所述主室的下方。

7.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管的沉积设备，其中，所述辅助室包括位于一个侧部上用于装载和卸载所述沉积材料的打开/关闭单元。

8.根据权利要求7所述的用于有机发光二极管的沉积设备，其中，所述打开/关闭单元还包括用于保持所述辅助室的内部的气氛的压缩构件。

9.根据权利要求1所述的用于有机发光二极管的沉积设备，其中，所述辅助室和所述加热单元是可移动的。

10.根据权利要求2所述的用于有机发光二极管的沉积设备，还包括：使所述波纹管压缩和解压缩的马达。