技术特征：
1.一种多层膜系的各层膜厚检测系统，其特征在于：包括安装在真空镀膜腔内部的载片架上可随载片架向前移动的检测盒体，所述检测盒体的前盖上设有用于接收镀膜材料的镀膜开口窗，所述检测盒体内部均匀的设有若干待镀的样品、用于安装样品的载盘，所述载盘的中心位置设有能拨动载盘或检测盒体的前盖转动后将下一个样品能对应到镀膜开口窗位置的拨动装置，所述真空镀膜腔内部设有能触动载盘拨动装置工作的触发机构。2.根据权利要求1所述的多层膜系的各层膜厚检测系统，其特征在于：所述拨动装置为能拨动载盘转动的载盘拨动装置，载盘拨动装置从检测盒体的内部至外部依次包括固定安装在载盘中心位置的单向棘齿离合器、连接轴、拨杆，所述检测盒体前盖的内部设有固定座，所述单向棘齿离合器、连接轴安装在固定座上，所述连接轴一部分置于检测盒体内部，另一部分置于检测盒体的外部，其中置于检测盒体外部的连接轴段上套设有复位弹簧，在初始状态，所述拨杆倾斜且向着靠近触发机构的方向设置。3.根据权利要求2所述的多层膜系的各层膜厚检测系统，其特征在于：所述触发机构为固定在相邻的两层镀膜源之间位置的固定触碰杆，且固定触碰杆为若干个，均水平向的固定于真空镀膜腔的腔体上，并沿着检测盒体移动的方向排布，在初始状态，所述拨杆在竖直方向投影的高度略高于触碰杆的高度。4.根据权利要求1所述的多层膜系的各层膜厚检测系统，其特征在于：所述载盘上设有成圆形矩阵排布的用于固定样品的样品定位装置。5.根据权利要求4所述的多层膜系的各层膜厚检测系统，其特征在于：所述定位装置包括用于放置样品的定位面和安装于定位面上的带有弹性的限位连接件。6.根据权利要求4所述的多层膜系的各层膜厚检测系统，其特征在于：所述定位装置包括固定在载盘上的定位销轴和安装于定位销轴上的带有弹性的限位连接件。7.根据权利要求4所述的多层膜系的各层膜厚检测系统的检测方法，其具体步骤是：(1)首先，将检测系统组装完成，并在检测盒体内安装上待镀膜的新样品，并做好样品标记；(2)其次，将安装有新样品的检测系统固定在真空镀膜腔的载片架上，在镀膜前确认载盘拨动装置是否能进行弹性复位；(3)接着，运转镀膜设备，让检测系统在真空镀膜腔内随同载片架一起向前移动，当载盘拨动装置中的拨杆触碰到第一触碰杆时，载盘拨动装置会带动载盘转动一个角度，将待镀的第一个样品对应至检测盒体的开口窗位置，进行第一个样品的第一膜层的镀膜工作；(4)然后，当检测系统随着载片架继续向前移动时，第一个触碰杆脱离拨杆，在复位弹簧的弹簧回复力的作用下，载盘拨动装置回复到原始位置，直至移动到第二膜层的镀膜源位置，第二触碰杆触碰到拨杆，将第二个样品拨动到检测盒体的开口窗位置，进行第二个样品的第二膜层的镀膜工作，并按此循环进行第三个样品的第三膜层的镀膜工作直至第n样品的第n膜层的镀膜工作；(5)各样品对应的各膜层的镀膜工作完成后，依次按序取出已完成膜层镀膜工作的各样片，按照与对应膜层作好标识，进行各膜层的膜厚检测工作。(6)最后，将各膜层的厚度数据输入电脑制作膜厚分布曲线，根据其趋势对生产工艺参数进行修订。
技术总结
本发明属于真空镀膜技术领域，具体是多层膜系的各层膜厚检测系统，包括安装在真空镀膜腔内部的载片架上可随载片架向前移动的检测盒体，所述检测盒体的前盖上设有用于接收镀膜材料的镀膜开口窗，所述检测盒体内部均匀的设有若干待镀的样品、用于安装样品的载盘，所述载盘的中心位置设有能拨动载盘转动或检测盒体前盖转动后将下一个样品能对应到镀膜开口窗位置的拨动装置，所述真空镀膜腔内部设有能触动拨动装置工作的触发机构。该独立检测系统能准确的及时的检测出镀膜设备中单独的每一个膜层的膜厚，检测过程简单方便快速，检测成本低。本低。本低。
技术研发人员：潘振强 朱宇彬
受保护的技术使用者：广东振华科技股份有限公司
技术研发日：2022.04.20
技术公布日：2022/8/1