掩模板框架及掩模板组件的制作方法

1.本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种掩模板及掩模板组件。


背景技术：

2.oled(organic light-emitting diode，有机发光二级管)因其响应时间快、可视角度大、对比度高、重量轻、功耗低等优势，成为最具发展潜力的显示器件。
3.oled材料的形成是通过掩模板蒸镀工艺形成的。掩模板的载体是开口的框架。目前，产线使用的框架，其上表面具有一较宽的平面，焊接上掩模板后，此平面会和掩模板表面紧密接触。
4.然而，在将掩模板焊接于掩模板框架上时，由于当前的焊接方式，会导致焊点附近的部分掩模板褶皱延伸至有效蒸镀区，造成掩模板有效蒸镀区与产品基板的待蒸镀区对位偏差较大，蒸镀精度较差，引起显示面板的显示不良问题，导致产品良率下降。


技术实现要素：

5.本技术实施例提供的掩模板框架及掩模板组件，旨在解掩模板因焊接导致焊点附近的部分掩模板褶皱延伸至有效蒸镀区，造成掩模板有效蒸镀区与产品基板的待蒸镀区对位偏差较大，蒸镀精度较差，引起显示面板的显示不良的问题。
6.为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种掩模板框架。该掩模板框架用于使掩模板张网于所述掩模板框架上，所述掩模板的相对两端具有焊接部；其中，所述掩模板框架具有镂空部，所述掩模板框架用于与所述掩模板接触的表面包括焊接区和支撑区，所述支撑区位于所述焊接区靠近所述镂空部的一侧，且所述支撑区具有凹凸结构，以向所述焊接部提供阻止褶皱生成的作用力。
7.其中，所述支撑区具有波浪形表面，以形成所述凹凸结构；所述波浪形表面的形状与所述焊接部的仿真焊接生成的褶皱形状呈镜像，用于向所述焊接部提供阻止褶皱生成的作用力；
8.可选地，所述波浪形表面的峰值点所在的高度，不高于所述焊接区所在的高度。
9.其中，所述掩模板框架包括一体成型的框架主体，所述框架主体包括相对的两个第一侧边框，且两个所述第一侧边框间隔设置，所述第一侧边框朝向所述焊接部的表面包括所述焊接区和所述支撑区。
10.其中，所述掩模板框架包括：
11.框架主体，所述框架主体包括相对的两个第一侧边框，且两个所述第一侧边框间隔设置，所述第一侧边框朝向所述焊接部的表面为所述焊接区；
12.承载单元，可拆卸设置于所述第一侧边框靠近所述镂空部的一侧；其中，所述承载单元朝向所述焊接部的表面为所述支撑区；
13.可选地，所述承载单元的材质为金属材质或硅胶材质。
14.其中，所述第一侧边框靠近所述镂空部的表面为平面，所述承载单元固定连接于
所述第一侧边框靠近所述镂空部的表面；或
15.所述第一侧边框靠近镂空部的一侧形成台阶结构，所述台阶结构具有上台阶面和下台阶面，所述上台阶面具有所述焊接区，所述承载单元设置于所述下台界面上。
16.其中，所述承载单元整个设置于所述下台阶面上；或，所述承载单元部分设置于所述下台阶面上，部分延伸出所述下台阶面悬空设置。
17.其中，所述掩模板框架具有多个阵列排布的子镂空部，一个所述掩模板对应同一列所述子镂空部设置；沿着列方向，同一列所述子镂空部的两侧分别设置一个所述承载单元。
18.其中，所述框架主体的外表面具有环形凸缘。
19.为解决上述技术问题，本技术采用的另一个技术方案是：提供一种掩模板组件。该掩模板组件包括：掩模板框架和掩模板；其中，所述掩模板框架为上述所涉及的掩模板框架；掩模板设置于所述掩模板框架上；所述掩模板的相对两端具有焊接部，所述焊接部焊接固定于所述焊接区且被所述凹凸结构支撑。
20.其中，所述掩模板框架为上述所涉及的掩模板框架，其包括所述框架主体和所述承载单元；多个所述掩模板并排设置于所述掩模板框架上；所述掩模板的相对两端的所述焊接部之间具有有效蒸镀区，所述承载单元与所述有效蒸镀区间隔设置。
21.本技术实施例提供的掩模板框架及掩模板组件，该掩模板框架具有镂空部，使得掩模板张网于掩模板框架上时，掩模板的有效蒸镀区可对位于镂空部，从而与显示基板的待蒸镀区精确对位，实现对显示基板的待蒸镀区的有效蒸镀；同时，通过使该掩模板框架用于与掩模板接触的表面包括焊接区和支撑区，使支撑区位于焊接区靠近镂空部的一侧，且使支撑区具有凹凸结构，使得该凹凸结构的多个凸起对掩模板的相对两端的焊接部具有多个支撑点，支撑点对焊接部具有较为集中的支持力和压强，从而可有效避免因焊接而产生褶皱和/或褶皱向掩模板的有效蒸镀区延伸；并且，该凹凸结构的凸起可对褶皱的凹陷具有向上的支持力，以使褶皱的凹陷舒展，凹凸结构的相邻凸起之间的凹陷可使褶皱的凸起悬空，使得褶皱的凸起因重力作用下沉，从而使得已生成的褶皱可被舒展开，进一步阻止了因焊接导致焊点附近的部分掩模板褶产生的皱延伸至有效蒸镀区，避免因褶皱造成掩模板有效蒸镀区与显示基板的待蒸镀区对位偏差较大，蒸镀精度变差，从而引起显示面板的显示不良的问题。
附图说明
22.图1为本技术一实施例提供的掩模板组件的俯视结构示意图；
23.图2为图1中掩模板组件的a-a向截面示意图；
24.图3a为本技术一实施例中掩模板焊接部褶皱的受力状态示意图；
25.图3b为图3a中掩模板焊接部的褶皱被凹凸结构舒展后的状态示意图；
26.图4为本技术第二实施例提供的掩模板框架的截面示意图；
27.图5为本技术第三实施例提供的掩模板框架的截面示意图；
28.图6为本技术第四实施例提供的掩模板框架的截面示意图；
29.图7为本技术另一实施例提供的掩膜版组件的俯视结构示意图；
30.图8为图7中实施例提供的掩模板框架的俯视结构示意图；
31.图9为图7中掩模板组件的b-b向截面示意图。
具体实施方式
32.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
33.本技术中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
34.在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本技术的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
35.在对本技术实施例所提供的掩模板框架组件及掩模板组件进行详细说明之前，有必要对相关技术进行以下说明：
36.在相关技术中，oled的显示面板的发光材料是通过精细金属掩模板(fine metal mask，fmm)蒸镀到显示基板上的。在对显示基板进行蒸镀前，需要将掩模板，例如fmm，张网于掩模板框架上，使掩模板的有效蒸镀区与显示基板上的待蒸镀区精确对位，并将掩模板焊接于掩模板框架上；具体通过采用激光点状焊接方式将掩模板焊接于掩模板框架上。
37.本技术发明人经大量实践研究发现，造成显示面板的显示亮度不均、显示混色等显示不良问题的原因之一是：显示激光点状焊接方式极易导致焊接点附近的部分掩模板产生褶皱，且产生的褶皱还易延伸至掩模板的有效蒸镀区，造成掩模板有效蒸镀区与显示基板的待蒸镀区产生较大偏差，使得蒸镀精度变差，从而引起显示面板显示不良的问题发生，使得产品良率下降。
38.为解决上述问题，本技术实施例提供了一种掩模板框架及掩模板组件。
39.下面结合附图和实施例对本技术进行详细的说明。
40.请参阅图1-2，图1为本技术第一实施例提供的掩模板组件的结构示意图，图2为图1中掩模板组件的a-a向截面示意图；本实施例提供一种掩模板组件，该掩模板组件包括掩模板框架10和掩模板20。
41.其中，掩模板20设置于掩模板框架10上。在具体实施例中，掩模板20可为长条状，掩模板20的相对两端具有焊接部21，掩模板20上位于两端焊接部21之间的区域为蒸镀区
23。当然，在其他实施例中，掩模板20也可为其他形状，例如矩形、多边形等，具体可根据实际需求进行设置，对此本技术不做具体限定。
42.具体地，掩模板20的相对两端部还具有夹持部22，夹持部22位于焊接部21远离蒸镀区23的一端，且连接于焊接部21；以在掩模板20焊接于掩模板框架10前，加持器件通过夹持掩模板20相对两端的夹持部22，沿掩模板20的长度方向拉伸掩模板20，使得掩模板20呈展平状态，并使掩模板20的焊接部21的表面与掩模板框架10的相对的两个边框表面相贴合，然后通过焊枪将掩模板20焊接于掩模板框架10上。在具体实施例中，掩模板20可为一体成型结构，掩模板20的材质可为不锈钢、纯镍、镍钴合金、镍铁合金、因瓦合金等材质，具体可根据实际需求进行设置，对此不做具体限定。
43.其中，掩模板框架10具有镂空部13，镂空部13由掩模板框架10的边框围设形成。掩模板框架10用于与掩模板20接触的表面包括焊接区1121和支撑区1122，支撑区1122位于焊接区1121靠近镂空部13的一侧。具体地，掩模板20张网于掩模板框架10上后，掩模板20的焊接部21与掩模板框架10的焊接区1121和支撑区1122对应设置，掩模板20的蒸镀区23与掩模板框架10的镂空部13对应设置，以使得掩模板20的蒸镀区23与显示基板的待蒸镀区精确对位，从而实现对显示基板的待蒸镀区的有效蒸镀。
44.具体地，掩模板20的支撑区1122具有凹凸结构，以向焊接部21提供阻止褶皱生成的作用力。其中，凹凸结构使得支撑区1122表面具有多个凸起和凹陷，对应于掩模板20，多个凸起对掩模板20相对两端的焊接部21具有多个支撑点，支撑点对焊接部21具有较为集中的支持力和压强，从而可有效避免因焊接掩模板20产生褶皱和/或褶皱延伸至掩模板20的蒸镀区23的问题；并且，针对已产生的褶皱，该凹凸结构的凸起可对褶皱的凹陷具有向上的支持力，以使褶皱的凹陷舒展，凹凸结构的相邻凸起之间的凹陷可使褶皱的凸起悬空，使得褶皱的凸起因重力作用下沉，从而使得已生成的褶皱舒展开，进一步阻止了因焊接导致焊接点附近的掩模板20产生的褶皱延伸至蒸镀区23，避免因褶皱造成掩模板20蒸镀区23与显示基板的待蒸镀区对位偏差较大，蒸镀精度变差，从而引起显示面板的显示不良的问题。
45.在本实施例中，掩模板框架10包括一体成型的框架主体，框架主体包括相对的两个第一侧边框11和两个第二侧边框，第一侧边框11和第二侧边框围设形成矩形框架结构；第一侧边框11和第二侧边框环形设置限定出镂空部13。其中，两个第一侧边框11间隔设置，且第一侧边框11朝向掩模板20的焊接部21的表面包括焊接区1121和支撑区1122。具体地，框架主体一体成型；或者也可为第一侧边框11和第二侧边框可拆卸的固定连接结构，但第一侧边框11和第二侧边框各自一体成型；框架主体的材质可为因瓦合金、不锈钢、镍铁合金等金属材质；在具体实施例中，框架主体的材质、形状大小、结构连接方式等可根据实际生产需要进行设置，对此不做具体限定。
46.具体地，如图2所示，第一侧边框11朝向掩模板20焊接部21的表面包括焊接区1121和支撑区1122；其中，焊接区1121对应于焊接点所在区域，支撑区1122位于焊接区1121靠近镂空部13的一侧。支撑区1122具有波浪形表面，以形成支撑区1122的凹凸结构；即，波浪形表面的波峰为凹凸结构的凸起，波浪形表面的波谷为凹凸结构的凹陷。
47.具体地，波浪形表面的形状与焊接部21的方针焊接生成的褶皱形状呈镜像，用于向焊接部21提供阻止褶皱生成的作用力。波浪形表面的具体形状的设计是先对掩模板20和掩模板框架10进行仿真模拟焊接，使掩模板20的焊接部21预生成褶皱，然后将仿真模拟中
掩模板20的焊接部21预生成的褶皱形状进行镜像以得到波浪形表面的具体形状；通过仿真模拟设计得到波浪形表面，且使波浪形表面与焊接部21预生成的褶皱呈镜像位置关系，使得使波浪形表面的波峰对掩模板20的焊接部21的着力点预设于焊接部21预生成的褶皱的凹陷的位置，使得波浪形表面的波谷对应预设于焊接部21预生成的褶皱的凸起的位置；也就是说，针对不同的掩模板20的焊接部21支撑区1122的凹凸结构可能不相同。可以理解，通过仿真模拟设计得到的波浪形表面的形状和设置位置更具针对性，从而能够有效减少掩模板20的焊接部21因焊接产生的褶皱，和/或阻止褶皱延伸至掩模板20的蒸镀区23。
48.其中，沿垂直于焊接区1121的方向，凹凸结构的凸起的最高点所在的高度不高于焊接区1121所在的高度。在具体实施例中，沿垂直于焊接区1121的方向，波浪形表面的峰值点所在的高度不高于焊接区1121所在的高度，从而使得波浪形表面对掩模板20焊接部21的支撑点所在的高度不高于焊接区1121所在的高度，使得蒸镀过程中掩模板20与显示基板贴合效果更佳，缩小了显示基板与掩模板20之间的间隙，掩模板20上的有效蒸镀区231与显示基板的待蒸镀区距离进一步缩短，使得有效蒸镀区231与待蒸镀区对位精确度提高；同时，也可减弱阴影效应，使得升华的有机材料分子更少地沉积在待蒸镀区之外。
49.请参见图3a和图3b，图3a为本技术一实施例中掩模板焊接部褶皱的受力状态示意图，图3b为图3a中掩模板焊接部的褶皱被凹凸结构舒展后的状态示意图；在具体实施例中，如图3a所示，针对焊接部21预生成的褶皱，波浪形表面与预生成褶皱的形状和位置关系呈镜像。具体地，波浪形表面的波峰与预生成褶皱的凹陷部位对应设置，使得波峰对预生成褶皱的凹陷部位具有向上的支持力n，可以理解为波峰对预生成褶皱的凹陷部位具有向上顶起的作用力，从而使得凹陷舒展；波浪形表面的波谷与预生成褶皱的凸起部位对应设置，使得褶皱的凸起部位悬空，从而使得凸起部分因自身重力g作用而下沉；即，通过使支撑区1122的波浪形表面与焊接部21的预生成褶皱的形状和位置关系呈镜像，可使预生成褶皱的凹陷部位舒展，凸起部位下沉，从而使预生成褶皱被摊平，通过波浪形表面使预生成褶皱被舒展开的状态如图3b所示。通过仿真模拟设计得到的波浪形表面的形状和设置位置更具针对性，能够使波浪形表面形成的凹凸结构的凸起对焊接部21的支持力的着力点恰好位于焊接部21产生褶皱时褶皱的凹陷部位，能够使凹凸结构的凹陷恰好对应于焊接部21产生褶皱时褶皱的凸起部分，从而可有效预防焊接部21因焊接而产生褶皱以及褶皱延伸至蒸镀区23。
50.请参见图4，图4为本技术第二实施例提供的掩模板框架的截面示意图；该实施例提供一种掩模板框架10，该掩模板框架10包括框架主体和承载单元12。其中，框架主体包括相对的两个第一侧边框11，且两个第一侧边框11间隔设置，第一侧边框11朝向焊接部21的表面为焊接区1121。具体地，与第一实施例中的框架主体相似，本实施例中框架主体包括相对的两个第一侧边框11和两个第二侧边框，第一侧边框11和第二侧边框围设形成矩形框架结构；第一侧边框11和第二侧边框围绕限定出镂空部13；其中，两个第一侧边框11间隔设置。
51.具体地，该框架主体的外表面具有环形凸缘111，且从该环形凸缘111过渡至框架主体朝向掩模板20的表面的过渡面具有一斜面；以在对显示基板进行蒸镀时，可通过该环形凸缘111将掩模板框架10和显示基板固定于蒸镀室内相应的位置。框架主体可一体成型，或者也可为可拆卸的固定连接结构；框架主体的材质可为因瓦合金、不锈钢、镍铁合金等金
属材质；在具体实施例中，框架主体的材质、形状大小、结构连接方式等可根据实际生产需要进行设置，对此不做具体限定。与第一实施例中框架主体不同的是，本实施例中，第一侧边框11朝向掩模板20的焊接部21的表面为焊接区1121，不包括支撑区1122，而支撑区1122设置于承载单元12上。
52.在本实施例中，承载单元12可拆卸地设置于第一侧边框11靠近镂空部13的一侧；其中，承载单元12朝向焊接部21的表面为支撑区1122；即，承载单元12具有凹凸结构。具体地，承载单元12的凹凸结构的具体结构和作用与上述实施例中所涉及的凹凸结构的具体结构和作用相同或相似，可有效预防焊接部21因焊接而产生褶皱以及褶皱延伸至蒸镀区23，具体可参见上文，此处不再赘述。具体地，第一侧边框11靠近镂空部13的表面为平面，即第一侧边框11靠近镂空部13的侧壁为平面；承载单元12固定连接于第一侧边框11靠近镂空部13的表面。在具体实施例中，承载单元12可通过卡合、胶粘或螺钉等方式固定连接于第一侧边框11靠近镂空部13的表面，以实现上述功能。
53.优选地，承载单元12可通过卡合方式固定连接于第一侧边框11靠近镂空部13的表面；例如，可在承载单元12靠近第一侧边框11的一侧设置卡接槽，第一侧边框11靠近承载单元12的一侧设置卡接部，从而实现承载单元12可拆卸地连接于第一侧边框11；或者，在第一侧边框11和承载单元12上对应设置通孔，采用螺钉通过通孔将承载单元12与第一侧边框11连接。承载单元12与第一侧边框11的具体连接方式可根据生产需要进行设置，对此不做具体限定。
54.承载单元12可拆卸地设置于第一侧边框11靠近镂空部13的一侧，一方面，更新掩模板20时，无需重新制备框架主体，只要针对新的掩模板20制备新的承载单元12，将新的承载单元12与框架主体进行装配，即可预防焊接时新的掩模板20的焊接部21产生褶皱以及预防褶皱延伸至蒸镀区23，减小了生产成本；另一方面，还可使得承载单元12可以设置于不同的掩模板框架10的框架主体上；即，对于同一种掩模板20的焊接部21因焊接可生成同种形态的褶皱，承载单元12可以从一个掩模板框架的框架主体上拆卸下来，然后对应装配在另一个框架主体上，以预防焊接时掩模板20的焊接部21同种褶皱的产生以及预防褶皱延伸至蒸镀区23，可进一步减小生产成本。
55.在具体实施例中，承载单元12的材质可为金属材质或硅胶材质，例如不锈钢、因瓦合金、铁镍合金等金属材质或硅胶材质，具体可根据实际生产需求进行设置，对此不做具体限定。优选，承载单元12的材质采用硅胶。由于硅胶具有一定弹性，可以缓解承载单元12与掩模板20的褶皱之间的应力，使褶皱逐渐舒展。
56.请参见图5，图5为本技术第三实施例提供的掩模板框架的截面示意图；该实施例提供一种掩模板框架10，该掩模板框架10包括框架主体和承载单元12。与第二实施例中相似，框架主体包括相对的两个第一侧边框11，相对的两个第一侧边框11和两个第二侧边框，第一侧边框11和第二侧边框围设形成矩形框架结构；第一侧边框11和第二侧边框围绕限定出镂空部13；其中，两个第一侧边框11间隔设置。与第二实施例不同的是，本实施例中，第一侧边框11靠近镂空部13的一侧形成台阶结构，台阶结构具有上台阶面113和下台阶面114，上台阶面113具有焊接区1121，承载单元12设置于下台阶面114上。
57.具体地，第一侧边框11靠近镂空部13的一侧沿垂直于掩模板20的方向，具有上台阶和下台阶。其中，上台阶与掩模板20焊接部21接触的一侧表面为上台阶面113，容易理解，
上台阶面113即为焊接区1121。下台阶靠近掩模板20焊接部21的一侧表面为下台阶面114。在该实施例中，承载单元12整个设置于下台阶面114上；即，沿下台阶靠近镂空部13的方向，承载单元12不超出下台阶面114所在的区域，即承载单元12靠近镂空部13的表面与下台阶靠近镂空部13的表面平齐，使得承载单元12不遮挡掩模板20的蒸镀区23，从而使得承载单元12不遮挡显示基板的待蒸镀区，保证产品的有效蒸镀。承载单元12具体可与上台阶的侧壁贴合设置，或者承载单元12与上台阶间隔设置均可，具体可根据实际需求进行设置，只要承载单元12能够实现上述实施例中所实现的作用即可，对此不做具体限定。
58.进一步地，承载单元12设置于下台阶面114上时，沿垂直于掩模板20的方向，承载单元12的凹凸结构的凸起的最高点所在的高度同样不高于焊接区1121所在的高度，使得蒸镀过程中掩模板20与显示基板贴合效果更佳，缩小了显示基板与掩模板20之间的间隙，掩模板20上的有效蒸镀区231与显示基板的待蒸镀区距离进一步缩短，使得有效蒸镀区231与待蒸镀区对位精确度提高；同时，也可减弱阴影效应，使得升华的有机材料分子更少地沉积在待蒸镀区之外。
59.具体地，承载单元12设置于下台阶面114上时，其装配方式与上述实施例中相似，具体可通过卡合、螺钉或胶粘等方式将承载单元12可拆卸地连接于第一侧边框11的下台阶面114。例如，第一侧边框11对应下台阶面114位置形成凹槽，将承载单元12嵌设于凹槽内。可以理解，沿着第一侧边框11的长度方向可以形成多个凹槽，每个凹槽内的承载单元12对应一个掩模板20。其中，承载单元12的具体结构和作用与上述实施例中的承载单元12的具体结构和作用相同或相似，此处不再赘述，具体可参见上文。
60.请参见图6，图6为本技术第四实施例提供的掩模板框架的截面示意图；与上一实施例不同的是，该实施例中，承载单元12部分设置于下台阶面114上，部分延伸出下台阶面114悬空设置。即，沿下台阶靠近镂空部13的方向，承载单元12部分超出下台阶面114所在的区域，超出下台阶面114所在的区域的部分承载单元12悬空设置，使得承载单元12沿靠近镂空部13的方向上的宽度相比于上一实施例中的承载单元12的宽度较大，从而使得承载单元12的凹凸结构的沿靠近镂空部13的方向上的延伸宽度较大，即凹凸结构具有更多的凸起和凹陷，进一步提升了该凹凸结构的预防掩模板20焊接部21因焊接产生褶皱的效果以及对已生成的褶皱进行舒展防止褶皱延伸至蒸镀区23的效果。在具体实施例中，当掩模板20张网于掩模板框架10上时，若第一边框至有效蒸镀区231的距离较大时，可使承载单元12部分伸出下台阶面114悬空设置，以提升该承载单元12的预防褶皱生成的效果以及对已生成的褶皱进行舒展防止褶皱延伸至有效蒸镀区231的效果。需要说明，有效蒸镀区231为掩模板20上与显示基板待蒸镀区对位设置的部分蒸镀区23，本技术实施例中有效蒸镀区231均是如此。
61.可以理解，本实施例中，承载单元12部分设置于下台阶面114上，部分延伸出下台阶面114悬空设置时，承载单元12不遮挡掩模板20的有效蒸镀区231，从而保证产品的有效蒸镀。
62.请参见图7-9，图7为本技术另一实施例提供的掩模板组件的俯视结构示意图，图8为图7中实施例提供的掩模板框架的俯视结构示意图，图9为图7中掩模板组件的b-b向截面示意图；本实施例提供一种掩模板20组件，其中，该掩膜版组件中的掩模板框架10与以上实施例不同之处在于，该掩模板框架10具有多个阵列排布的子镂空部131，一个掩模板20对应
同一列子镂空部131设置；沿着列方向，同一列子镂空部131的两侧分别设置一个上述实施例中所涉及的承载单元12。
63.具体地，该掩模板框架10的镂空部13包括多个子镂空部131，每一子镂空部131对应于显示基板的待蒸镀区设置，子镂空部131呈阵列分布，使得掩模板20设置于掩模板框架10上时，可对应同一列子镂空部131设置，且多个掩模板20可并排设置于掩模板框架10上，使得同一掩模板框架10上可同时设置多个掩模板20，掩模板20的有效蒸镀区231对应于镂空部13设置，从而使得在同一时间可对多个显示基板的待蒸镀区进行蒸镀，有效提高了生产效率。
64.在该实施例中，同一列子镂空部131的两侧分别设置一个上述实施例中所涉及的承载单元12，从而防止掩模板20因焊接生成的褶皱延伸至有效蒸镀区231，避免因褶皱造成掩模板20有效蒸镀区231与显示基板的待蒸镀区对位偏差较大，蒸镀精度变差，从而引起显示面板的显示不良的问题。具体地，该实施例中的承载单元12与上述实施例中所涉及的承载单元12的具体结构和作用相同或相似，具体可参见上文，此处不再赘述。
65.需要说明，由于不同的显示面板产品因尺寸、设计方案等不同，会导致掩模板框架10上不同位置焊接时，掩模板20产生的褶皱形态都不相同；针对不同的显示面板的特点以及对应掩模板框架10的不同焊接位置，本技术具体实施中，可根据这些因素先进行仿真模拟焊接，以得到具有针对性的凹凸结构的形态，然后再根据得到的凹凸结构的形态进行加工制作承载单元12。并且，在具体实施例中，具有凹凸结构的承载单元12能够可拆卸地装配于框架主体上，即，对应于焊接的不同位置和不同的显示基板，该掩模板框架10只需对承载单元12进行更换，而无需更换框架主体即可解决本技术要解决的问题，从而节省了更换框架主体的成本，有利于生产。
66.以上所述仅为本技术的实施方式，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。