曲面玻璃镀膜工艺的制作方法

1.本发明属于玻璃加工领域，具体涉及一种曲面玻璃镀膜工艺。


背景技术：

2.真空镀膜是指在真空环境下，采用低电压、大电流的电弧放电技术轰击靶材，利用气体放电，使靶材蒸发，蒸发物质与气体都发生电离子作用，利用电场加速，使被蒸发的物质及其反应产生的物质沉积在工件上面，真空镀膜常用于玻璃深加工领域，由于玻璃产品形状繁多，因此对镀膜的工艺要求逐渐提高，现有技术中针对平面玻璃镀膜的工艺较为成熟，对于曲面玻璃，由于部分区域不能与溅射靶材形成垂直状态而导致曲面镀膜层的不均匀。


技术实现要素：

3.为了解决上述问题，本发明提供了一种曲面玻璃镀膜工艺，具体步骤如下：
4.s1：曲面玻璃扫描：将待加工的曲面玻璃放置于满载送料盘13，满载送料盘13运行至上片架1，机器人抓取待加工的曲面玻璃放置于上片架1，ccd扫描装置12对待加工的曲面玻璃进行扫描，获取该曲面玻璃的拱高h以及拱长l数据，并将所述数据传输至后台系统；
5.s2：后台系统计算：后台系统获取预设的镀膜厚度q，并结合已获取的曲面玻璃的拱高以及拱长数据，计算四组靶材的溅射功率以及镀膜传动速度，并基于计算的溅射功率以及镀膜传动速度预先调试镀膜室5的参数以及传送速度。
6.s3：曲面玻璃镀膜：打开前粗抽室隔板，将曲面玻璃送入前粗抽室，关闭前粗抽室，通过真空泵对前粗抽室抽真空，达到粗抽真空精度，保持预定时间；打开前精抽室隔板，将曲面玻璃送入前精抽室，关闭前精抽室，通过真空泵对前精抽室抽真空，达到精抽真空精度，保持预定时间；打开前缓冲精抽室隔板，将曲面玻璃送入前缓冲精抽室，通过真空泵对后缓冲精抽室抽真空，进行气体隔离后，保持预定时间，将曲面玻璃送入镀膜室，按照预设的参数依次控制四组靶材的溅射功率以及镀膜传动速度，对曲面玻璃进行镀膜；
7.打开后缓冲精抽室隔板将完成镀膜的曲面玻璃送入后缓冲精抽室，关闭后缓冲精抽室，通过真空泵对后缓冲精抽室抽真空，进行气体隔离后，保持预定时间；打开后精抽室隔板，将曲面玻璃送入后精抽室，关闭后精抽室，通过真空泵对后精抽室抽真空，达到精抽真空精度，保持预定时间；打开后粗抽室隔板，将曲面玻璃送入后粗抽室，关闭后粗抽室，通过真空泵对后粗抽室抽真空，达到粗抽真空精度，保持预定时间；
8.s4：曲面玻璃下片：将完成镀膜的曲面玻璃，由后粗抽室输送至纠偏架进行纠偏，完成纠偏后的玻璃进入下片架，空载送料盘14运行至下片架，机器人抓取完成镀膜的曲面玻璃放置于空载送料盘14。
9.执行本发明曲面玻璃镀膜工艺的组件为镀膜机总装，镀膜机总装由依次连接的上片架、前粗抽室、前精抽室、前缓冲精抽室、镀膜室、后缓冲精抽室、后精抽室、后粗抽室、纠偏架、下片架，其中在前粗抽室、前精抽室、前缓冲精抽室、后缓冲精抽室、后精抽室、后粗抽
室底部均设置一个真空泵，在镀膜室底部设置有两个真空泵；上述每个室与其相邻的室之间均设有独立的真空阀以及隔板，用于隔绝腔室之间的真空度。
10.上片架上设置有ccd扫描装置12，用于扫描待镀膜的曲面玻璃的拱高以及拱长。
11.该磁射部件共四组设于镀膜室，具体包括镀膜靶材、靶材阴极连接铜板、靶材阳极连接铜板、电机。
12.优选地，s2步骤中具体计算公式如下：
13.获取预设镀膜厚度为q的平板玻璃的所需的四组靶材的溅射功率w以及镀膜传动速度v，对于平板玻璃，四组靶材的溅射功率相同，
14.将曲面拱长l四等分，获取拱长l/4处的拱高h1以及3l/4处的拱高h2，则位于第一位置的靶材溅射功率w1以及镀膜传动速度v1公式如下：
[0015][0016][0017]
其中，第一位置为位于侧部最先接触曲面玻璃靶材的位置。
[0018]
位于第二位置的靶材溅射功率w2以及镀膜传动速度v2公式如下：
[0019][0020][0021]
其中，第二位置为位于中间部第二接触曲面玻璃靶材的位置。
[0022]
位于第三位置的靶材溅射功率w3以及镀膜传动速度v3公式如下：
[0023][0024][0025]
其中，第三位置为位于中间部第三接触曲面玻璃靶材的位置。
[0026]
位于第四位置的靶材溅射功率w4以及镀膜传动速度v4公式如下：
[0027]
[0028][0029]
本发明带来的有益效果：1、曲面产品的镀膜品质更加稳定；2、自调整的镀膜工艺更趋自动化。
附图说明
[0030]
为了更清楚的说明本发明的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。
[0031]
图1为本发明镀膜机总装主视图；
[0032]
图2为本发明镀膜机总装俯视图；
[0033]
图3为本发明磁射部件主视图；
[0034]
图4为本发明磁射部件俯视图。
[0035]
附图标记说明：上片架1，前粗抽室2，前精抽室3，前缓冲精抽室4，镀膜室5，后缓冲精抽室6，后精抽室7，后粗抽室8，纠偏架9，下片架10，真空泵11，ccd扫描装置12。
具体实施方式
[0036]
下面结合附图1至附图4对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0037]
参见说明书附图1-2，执行本发明曲面玻璃镀膜工艺的组件为镀膜机总装，镀膜机总装由依次连接的上片架1、前粗抽室2、前精抽室3、前缓冲精抽室4、镀膜室5、后缓冲精抽室6、后精抽室7、后粗抽室8、纠偏架9、下片架10，其中在前粗抽室2、前精抽室3、前缓冲精抽室4、后缓冲精抽室6、后精抽室7、后粗抽室8底部均设置一个真空泵11，在镀膜室5底部设置有两个真空泵11；上述每个室与其相邻的室之间均设有独立的真空阀以及隔板，用于隔绝腔室之间的真空度。
[0038]
上片架1上设置有ccd扫描装置12，用于扫描待镀膜的曲面玻璃的拱高以及拱长。
[0039]
参见说明书附图3-4为本发明磁射部件，该磁射部件共四组设于镀膜室5，具体包括镀膜靶材5-1、靶材阴极连接铜板5-2、靶材阳极连接铜板5-3、电机5-4。
[0040]
本发明曲面玻璃镀膜工艺具体步骤如下：
[0041]
s1：曲面玻璃扫描：将待加工的曲面玻璃放置于满载送料盘13，满载送料盘13运行至上片架1，机器人抓取待加工的曲面玻璃放置于上片架1，ccd扫描装置12对待加工的曲面玻璃进行扫描，获取该曲面玻璃的拱高h以及拱长l数据，并将所述数据传输至后台系统；
[0042]
s2：后台系统计算：后台系统获取预设的镀膜厚度q，并结合已获取的曲面玻璃的拱高以及拱长数据，计算四组靶材的溅射功率以及镀膜传动速度，并基于计算的溅射功率以及镀膜传动速度预先调试镀膜室5的参数以及传送速度。
[0043]
具体计算方式如下：
[0044]
获取预设镀膜厚度为q的平板玻璃的所需的四组靶材的溅射功率w以及镀膜传动
速度v，对于平板玻璃，四组靶材的溅射功率相同，
[0045]
将曲面拱长l四等分，获取拱长l/4处的拱高h1以及3l/4处的拱高h2，则位于第一位置的靶材溅射功率w1以及镀膜传动速度v1公式如下：
[0046][0047][0048]
其中，第一位置为位于侧部最先接触曲面玻璃靶材的位置。
[0049]
位于第二位置的靶材溅射功率w2以及镀膜传动速度v2公式如下：
[0050][0051][0052]
其中，第二位置为位于中间部第二接触曲面玻璃靶材的位置。
[0053]
位于第三位置的靶材溅射功率w3以及镀膜传动速度v3公式如下：
[0054][0055][0056]
其中，第三位置为位于中间部第三接触曲面玻璃靶材的位置。
[0057]
位于第四位置的靶材溅射功率w4以及镀膜传动速度v4公式如下：
[0058][0059][0060]
s3：曲面玻璃镀膜：打开前粗抽室隔板，将曲面玻璃送入前粗抽室，关闭前粗抽室，通过真空泵对前粗抽室抽真空，达到粗抽真空精度，保持预定时间；打开前精抽室隔板，将曲面玻璃送入前精抽室，关闭前精抽室，通过真空泵对前精抽室抽真空，达到精抽真空精
度，保持预定时间；打开前缓冲精抽室隔板，将曲面玻璃送入前缓冲精抽室，通过真空泵对后缓冲精抽室抽真空，进行气体隔离后，保持预定时间，将曲面玻璃送入镀膜室，按照预设的参数依次控制四组靶材的溅射功率以及镀膜传动速度，对曲面玻璃进行镀膜；
[0061]
打开后缓冲精抽室隔板将完成镀膜的曲面玻璃送入后缓冲精抽室，关闭后缓冲精抽室，通过真空泵对后缓冲精抽室抽真空，进行气体隔离后，保持预定时间；打开后精抽室隔板，将曲面玻璃送入后精抽室，关闭后精抽室，通过真空泵对后精抽室抽真空，达到精抽真空精度，保持预定时间；打开后粗抽室隔板，将曲面玻璃送入后粗抽室，关闭后粗抽室，通过真空泵对后粗抽室抽真空，达到粗抽真空精度，保持预定时间；
[0062]
s4：曲面玻璃下片：将完成镀膜的曲面玻璃，由后粗抽室输送至纠偏架进行纠偏，完成纠偏后的玻璃进入下片架，空载送料盘14运行至下片架，机器人抓取完成镀膜的曲面玻璃放置于空载送料盘14。
[0063]
最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。