一种抛光盘和抛光设备的制作方法

文档序号:30927679发布日期:2022-07-29 23:59阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种抛光盘,其特征在于,所述抛光盘包括:盘本体,所述盘本体具有第一面和第二面,所述第一面用于直接或间接与抛片接触而对抛片进行抛光,所述盘本体在抛光工作状态下,所述盘本体上形成有热源;第一件,所述第一件连接于所述第二面上相应于所述热源的位置上,使得所述热源的热量传导至所述第一件上进行散热。2.根据权利要求1所述的一种抛光盘,其特征在于,所述盘本体上具有呈环形分布的热源;所述第一件呈环形布置,且连接于所述第二面上相应于所述热源的位置。3.根据权利要求2所述的一种抛光盘,其特征在于,所述第一件分布的圆心和所述热源分布的圆心重合。4.根据权利要求2所述的一种抛光盘,其特征在于,所述抛光盘还包括:第二件,所述第二件呈环形布置,所述第二件连接于所述抛光盘的第二面上;所述第二件具有一组或多组,且所述第二件与所述第一件同心布置。5.根据权利要求2所述的一种抛光盘,其特征在于,所述第一件布置的半径r0为:r0=1/2
×
(r-r)+r其中,所述盘本体为环形,r为所述盘本体的外圈半径,r为所述盘本体的内圈半径。6.根据权利要求4所述的一种抛光盘,其特征在于,所述第一件的径向宽度大于所述第二件的径向宽度。7.根据权利要求4所述的一种抛光盘,其特征在于,所述抛光盘还包括:第三件,所述第三件具有多组,且所述第三件径向均匀分布并连接于所述抛光盘的第二面上。8.一种抛光设备,其特征在于,包括:第一盘,所述第一盘为权利要求7中所述的抛光盘;第二盘,所述第二盘与所述第一盘相对布置,在所述第二盘与所述第一盘之间形成抛光空间;以及驱动机构,所述驱动机构分别连接所述第一盘和第二盘,用于驱动所述第一盘和第二盘旋转。9.根据权利要求8所述的一种抛光设备,其特征在于,所述第三件的数量n1为:n1=(n
2-1)
×
10,n2=2
×
α+1其中,n2为第一件和第二件的数量之和,且n2为奇数;α为第一盘和第二盘的转速比。10.根据权利要求8所述的一种抛光设备,其特征在于,所述第二件布置的半径r
x
为:r
x
=r0+x/(n
2-1)+α)
×
(r-r)其中,所述盘本体为环形,r0为第一件的布置半径,r为所述盘本体的外圈半径,r为所述盘本体的内圈半径;α为所述第一盘和第二盘的转速比;x为所述第二件排布的标号,所述标号以第一件为0基准,位于第一件内部的第二件从外到内标号依次-1,位于所述第一件外部的第二件从内到外标号依次+1。

技术总结
本申请涉及抛光设备技术领域,尤其是一种抛光盘,所述抛光盘包括:盘本体,所述盘本体具有第一面和第二面,所述第一面用于直接或间接与抛片接触而对抛片进行抛光,所述盘本体在抛光工作状态下,所述盘本体上形成有热源;第一件,所述第一件连接于所述第二面上相应于所述热源的位置上,使得所述热源的热量传导至所述第一件上进行散热。解决了现有技术中无法兼具抛光盘的良好的散热效果和结构的简化的技术问题;达到抛光盘在简化结构的同时具有良好的散热效果的技术效果。散热效果的技术效果。散热效果的技术效果。


技术研发人员:朱亮 李阳健 张雪纯 严浩 张国阳
受保护的技术使用者:浙江晶盛机电股份有限公司
技术研发日:2022.02.10
技术公布日:2022/7/28
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