一种气相沉积炉的进气分布控制模组的制作方法

1.本实用新型涉及气相沉积炉领域，特别涉及一种气相沉积炉的进气分布控制模组。


背景技术：

2.气相沉积炉的进气分布控制模组是一种控制气体在沉积炉内分布且在结构、性能上独立的一部分组件，使得气体能够在沉积炉内发生气相反应，是控制气体的核心组件；
3.但是现有的气相沉积炉的进气分布控制模组在使用时存在着一定的不足之处有待改善，首先，现有的气相沉积炉的进气分布控制模组在使用时，不具备增强管道之间密封性的功能，管道之间的密封不优良，容易出现漏气的现象；其次，现有的气相沉积炉的进气分布控制模组使用时，不具备控制气体分布的功能，不能够将气体均匀的分布在沉积炉内，给实际使用带来一定的影响。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的在于提供一种气相沉积炉的进气分布控制模组，可以有效解决背景技术中提出的技术问题。
5.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
6.一种气相沉积炉的进气分布控制模组，包括通气管和电机，所述电机的一端安装有齿轮，所述通气管的底面靠近中间安装有延伸管，所述延伸管的底面安装有锥管，所述通气管的顶面安装有连接机构，所述延伸管的正面开设有凹槽，所述凹槽内安装有若干个卡齿，所述延伸管的外侧靠近顶端安装有挡环，所述挡环的外侧安装有密封套。
7.作为本实用新型的进一步方案，所述延伸管贯穿通气管的底面，挡环和密封套均位于通气管内，卡齿与齿轮呈相互咬合设置，卡齿的厚度小于凹槽的深度。
8.作为本实用新型的进一步方案，所述密封套套在延伸管的顶端和挡环的外周，延伸管与通气管呈可伸缩设置，挡环和密封套均与通气管呈上下移动设置。
9.作为本实用新型的进一步方案，所述连接机构包括与通气管连接的连接盘，连接盘的顶面安装有螺纹管，螺纹管的外侧安装有卡管，螺纹管与卡管之间安装有橡胶环和两个密封弧环。
10.作为本实用新型的进一步方案，所述螺纹管的外侧和卡管的内侧均开设有螺纹，橡胶环位于密封弧环的正下方，卡管的外径与连接盘的外径保持一致。
11.作为本实用新型的进一步方案，所述卡管与螺纹管呈螺纹连接设置，橡胶环与密封弧环呈分离设置，橡胶环和密封弧环均与卡管和螺纹管呈分离设置。
12.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型中通过设置连接机构，将卡管安装在软管上，在软管的一端安装有卡头，将橡胶环放置在螺纹管上，在卡管与卡头之间按上两个密封弧环，将卡头移动到橡胶环上，转动卡管，使得卡管与螺纹管连接，将软管与通气管连接，使得控制模组具备增强管道之间密封性的功能，使得管道之间密封
性更好，避免出现漏气的现象；
13.通过为通气管通入气相气体，电机反转带动齿轮转动，通过齿轮与卡齿之间的相互咬合，带动延伸管收入通气管内，气体通过锥管散出，在电机的作用力下控制气相气体层层分布在沉积炉内，使得控制模组具备控制气体分布的功能，能够将气体均匀的分布在沉积炉内。
附图说明
14.图1为本实用新型一种气相沉积炉的进气分布控制模组的整体结构示意图；
15.图2为本实用新型一种气相沉积炉的进气分布控制模组的通气管与延伸管及其组件的正面剖视图；
16.图3为本实用新型一种气相沉积炉的进气分布控制模组的连接机构的正面拆分剖视图。
17.图中：1、通气管；2、电机；3、齿轮；4、延伸管；5、锥管；6、连接机构；7、卡齿；8、挡环；9、密封套；10、连接盘；11、螺纹管；12、卡管；13、橡胶环；14、密封弧环。
具体实施方式
18.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
19.如图1-3所示，一种气相沉积炉的进气分布控制模组，包括通气管1和电机2，电机2的一端安装有齿轮3，通气管1的底面靠近中间安装有延伸管4，延伸管4的底面安装有锥管5，通气管1的顶面安装有连接机构6，延伸管4的正面开设有凹槽，凹槽内安装有若干个卡齿7，延伸管4的外侧靠近顶端安装有挡环8，挡环8的外侧安装有密封套9。
20.在本实施例中，为了实现层层分布气体的功能，设置了延伸管4，延伸管4贯穿通气管1的底面，挡环8和密封套9均位于通气管1内，卡齿7与齿轮3呈相互咬合设置，卡齿7的厚度小于凹槽的深度。
21.在本实施例中，为了保证延伸管4在通气管1内稳定性，密封套9套在延伸管4的顶端和挡环8的外周，延伸管4与通气管1呈可伸缩设置，挡环8和密封套9均与通气管1呈上下移动设置。
22.在本实施例中，为了增强软管与通气管1之间的密封性，设置了连接机构6，连接机构6包括与通气管1连接的连接盘10，连接盘10的顶面安装有螺纹管11，螺纹管11的外侧安装有卡管12，螺纹管11与卡管12之间安装有橡胶环13和两个密封弧环14。
23.在本实施例中，为了方便对连接机构6进行使用，螺纹管11的外侧和卡管12的内侧均开设有螺纹，橡胶环13位于密封弧环14的正下方，卡管12的外径与连接盘10的外径保持一致。
24.在本实施例中，为了保证连接机构6与软管之间的密封性，设置了橡胶环13与密封弧环14，卡管12与螺纹管11呈螺纹连接设置，橡胶环13与密封弧环14呈分离设置，橡胶环13和密封弧环14均与卡管12和螺纹管11呈分离设置。
25.需要说明的是，本实用新型为一种气相沉积炉的进气分布控制模组，在使用时，首先，在连接盘10上转动卡管12，使得卡管12与螺纹管11分离，将卡管12安装在软管上，在软
管的一端安装有卡头，在卡头上按上两个密封弧环14，在软管上移动卡管12，使得卡管12与卡头将密封弧环14卡住，将橡胶环13放置在螺纹管11上，将卡头移动到橡胶环13上，转动卡管12，使得卡管12与螺纹管11连接，将软管与通气管1连接，启动电机2，电机2带动齿轮3转动，通过齿轮3与卡齿7之间的相互咬合，带动延伸管4伸出通气管1的底面，延伸管4带动挡环8和密封套9在通气管1内移动，通过密封套9增强延伸管4与通气管1之间的密封性，为通气管1通入气相气体，电机2反转带动延伸管4收入通气管1内，气体通过锥管5散出，在电机2的作用力下控制气相气体层层分布在沉积炉内。
26.本实用新型通过设置连接机构6，将卡管12安装在软管上，在软管的一端安装有卡头，将橡胶环13放置在螺纹管11上，在卡管12与卡头之间按上两个密封弧环14，将卡头移动到橡胶环13上，转动卡管12，使得卡管12与螺纹管11连接，将软管与通气管1连接，使得控制模组具备增强管道之间密封性的功能，使得管道之间密封性更好，避免出现漏气的现象；通过为通气管1通入气相气体，电机2反转带动齿轮3转动，通过齿轮3与卡齿7之间的相互咬合，带动延伸管4收入通气管1内，气体通过锥管5散出，在电机2的作用力下控制气相气体层层分布在沉积炉内，使得控制模组具备控制气体分布的功能，能够将气体均匀的分布在沉积炉内。
27.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。