一种便于控制温度的化学气相沉积装置的制作方法

1.本实用新型涉及化学气相沉积装置相关技术领域，具体为一种便于控制温度的化学气相沉积装置。


背景技术：

2.化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，为了在铜箔的表面生成石墨烯，则需要使用到化学气相沉积装置。
3.现有的化学气相沉积装置在使用之前不便调整好其稳定性，且不便精准的控制加热温度，内部组件的稳定性不够，针对上述问题，需要对现有的设备进行改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种便于控制温度的化学气相沉积装置，以解决上述背景技术中提出的现有的化学气相沉积装置在使用之前不便调整好其稳定性，且不便精准的控制加热温度，内部组件的稳定性不够的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于控制温度的化学气相沉积装置，包括化学气相沉积装置主体、玻璃管道和钩杆，
6.所述化学气相沉积装置主体的前端面固定有控制面板，且化学气相沉积装置主体的顶部转动连接有机盖，同时机盖通过第一螺栓固定在化学气相沉积装置主体上；
7.所述玻璃管道贯穿两个弧形电热板之间，且两个弧形电热板分别固定在化学气相沉积装置主体的顶部和机盖的底部，所述玻璃管道一端的底部固定有抽气玻璃管道，且抽气玻璃管道的底部通过螺母固定有真空泵，同时真空泵固定在化学气相沉积装置主体的一侧，所述玻璃管道的一端通过第二螺栓固定有进气塞，且玻璃管道的另一端通过管箍固定有出气塞。
8.通过采用上述技术方案，在使用该装置之前需要调整好该装置的稳定性，打开机盖并将玻璃管道放置在化学气相沉积装置主体上之后再关上并固定好机盖，拆下出气塞并将盛有铜箔的玻璃托盘放入玻璃管道内之后再固定好出气塞，利用真空泵抽走玻璃管道内的气体之后可向玻璃管道内通入氩气，随后可利用弧形电热板对玻璃管道进行加热处理，同时可控制好加热程度，接着先后向玻璃管道内通入氢气和甲烷，加热后一段时间，支起机盖进行散热，温度足够低之后可利用将钩杆将长好石墨烯的铜箔取出。
9.优选的，所述化学气相沉积装置主体的底部螺纹连接有垫块，且垫块设置有四个，同时四个垫块关于化学气相沉积装置主体的竖直中轴线对称设置。
10.通过采用上述技术方案，垫块对该装置起到垫撑的作用，在使用该装置之前可调整好四个垫块之间的高度差，直至该装置平稳。
11.优选的，所述机盖通过轴杆转动连接在化学气相沉积装置主体的顶部。
12.通过采用上述技术方案，拧松螺栓之后可在轴杆的作用下手动转动并打开机盖，
方便安放玻璃管道，安放好玻璃管道之后再关上机盖。
13.优选的，所述玻璃管道的外侧固定有卡环，且卡环卡合连接在化学气相沉积装置主体与机盖之间。
14.通过采用上述技术方案，卡环可起到加强连接的作用，使玻璃管道能更加平稳的放置在化学气相沉积装置主体与机盖之间。
15.优选的，所述钩杆卡放在机盖顶部的一侧，且机盖顶部的中间处固定有承载箱，同时承载箱内放置有玻璃托盘。
16.通过采用上述技术方案，利用钩杆可将玻璃托盘伸入到玻璃管道内以及将玻璃托盘从玻璃管道内钩拉出来。
17.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该便于控制温度的化学气相沉积装置，
18.(1)将该装置放置在所需地点之后可手动上下拧动垫块，方便调节四个垫块之间的高度差，使该装置摆放起来更加平稳；
19.(2)打开机盖之后可将玻璃管道放置在化学气相沉积装置主体上，关上机盖并拆下出气塞之后可将盛放铜箔的玻璃托盘放入玻璃管道内，随后可利用钩杆将玻璃托盘伸入到玻璃管道内，固定好出气塞之后可利用真空泵抽走玻璃管道内的气体，向玻璃管道内通入氩气之后可利用弧形电热板对玻璃管道进行加热处理，通过操作控制面板可控制好加热温度。
附图说明
20.图1为本实用新型正视剖面结构示意图；
21.图2为本实用新型正视结构示意图；
22.图3为本实用新型左视剖面结构示意图。
23.图中：1、化学气相沉积装置主体，2、垫块，3、控制面板，4、机盖，5、轴杆，6、第一螺栓，7、弧形电热板，8、玻璃管道，9、卡环，10、抽气玻璃管道，11、真空泵，12、进气塞，13、第二螺栓，14、出气塞，15、钩杆，16、承载箱，17、玻璃托盘。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种便于控制温度的化学气相沉积装置，根据图1和图2所示，化学气相沉积装置主体1的前端面固定有控制面板3，且化学气相沉积装置主体1的顶部转动连接有机盖4，同时机盖4通过第一螺栓6固定在化学气相沉积装置主体1上，化学气相沉积装置主体1的底部螺纹连接有垫块2，且垫块2设置有四个，同时四个垫块2关于化学气相沉积装置主体1的竖直中轴线对称设置，在使用该装置之前可手动上下拧动垫块2，方便调节四个垫块2之间的高度差，使该装置能够平稳的放置在所需地点，机盖4通过轴杆5转动连接在化学气相沉积装置主体1的顶部，拧松第一螺栓6之后可在轴杆5
的作用下转动并打开机盖4上，安放好玻璃管道8之后可关上机盖4并利用第一螺栓6固定好机盖4，方便限位住玻璃管道8。
26.根据图1、图2和图3所示，玻璃管道8贯穿两个弧形电热板7之间，且两个弧形电热板7分别固定在化学气相沉积装置主体1的顶部和机盖4的底部，玻璃管道8的外侧固定有卡环9，且卡环9卡合连接在化学气相沉积装置主体1与机盖4之间，安放好玻璃管道8并关上机盖4之后，卡环9卡合连接在化学气相沉积装置主体1与机盖4之间，方便起到加强稳定的作用，玻璃管道8一端的底部固定有抽气玻璃管道10，且抽气玻璃管道10的底部通过螺母固定有真空泵11，同时真空泵11固定在化学气相沉积装置主体1的一侧，玻璃管道8的一端通过第二螺栓13固定有进气塞12，且玻璃管道8的另一端通过管箍固定有出气塞14，钩杆15卡放在机盖4顶部的一侧，且机盖4顶部的中间处固定有承载箱16，同时承载箱16内放置有玻璃托盘17，将盛有材料的玻璃托盘17放到玻璃管道8内后可利用钩杆15将玻璃托盘17推动伸入到玻璃管道8内，工作结束之后可利用钩杆15将玻璃托盘17从玻璃管道8内钩拉出来。
27.工作原理：在使用该便于控制温度的化学气相沉积装置时，首先将该装置放置在所需地点，再手动上下拧动垫块2，以此调节四个垫块2之间的高度差，使该装置放置平稳，接通至外部电源，通过操作控制面板3来控制整个装置的运作，拧松第一螺栓6并转动打开机盖4之后再将玻璃管道8放置在化学气相沉积装置主体1上，接着关上机盖4，此时卡环9卡合连接在化学气相沉积装置主体1与机盖4之间，拆下出气塞14并将盛放铜箔的玻璃托盘17放入玻璃管道8内之后，取下钩杆15并利用钩杆15将玻璃托盘17伸入到玻璃管道8内，利用管箍固定好出气塞14之后，启动真空泵11，以此抽走玻璃管道10内的气体，向玻璃管道8内通入氩气之后，启动弧形电热板7，以此控制玻璃管道8的温度，接着向玻璃管道10内先后通入氢气和甲烷，停止加热一段时间后，将机盖4支起散热，温度足够低之后，再利用将钩杆15将长好石墨烯的铜箔取出，这就完成整个工作，且本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
28.术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本实用新型的简化描述，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、为特定的方位构造和操作，因而不能理解为对本实用新型保护内容的限制。
29.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。