一种连绞式辗道退火炉炉膛结构的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种连绞式辗道退火炉炉膛结构。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。
3.例如公告号为201720953467.7（一种辊道式热氧退火炉），包括：炉体和炉体内的炉膛，炉膛包括对硅片进行加热的工艺腔室和对硅片进行冷却的冷却腔室，炉体左右两端设有与炉膛相贯通进口和出口，炉膛中部沿输送方向等距设有若干个输送硅片的传输辊道，炉体顶部设有与炉膛相连通的热风排气口，炉体底部设有与炉膛相连通的气体入口。本实用新型热氧退火炉，退火时间短，效率高，温度均匀，工艺时间短，产能高。
4.但是，现有的辗道退火炉在使用的时候，排出的气体有损伤工作人员的安全隐患问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种连绞式辗道退火炉炉膛结构。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种连绞式辗道退火炉炉膛结构，以解决上述背景技术中提出的现有辗道退火炉在使用的时候，排出的气体有损伤工作人员的安全隐患的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种连绞式辗道退火炉炉膛结构，包括：退火炉主体，所述退火炉主体的一端设置有耐高温移动板，且耐高温移动板与退火炉主体上下移动连接，所述耐高温移动板的内部设置有耐高温观察窗口，且耐高温观察窗口内嵌式与耐高温移动板固定连接。
7.还包括：
8.内腔体，其安装在所述退火炉主体的内部，所述内腔体内部上方的两壁均设置有喷淋雾化端头，且喷淋雾化端头设置有若干个，若干个所述喷淋雾化端头之间的上方设置有吸孔槽；
9.绞式退火环，其安装在所述内腔体的内部，所述绞式退火环的两端均与退火炉主体的内壁固定连接。
10.优选的，所述退火炉主体一端内壁的两侧均设置有预留轨道，且预留轨道均与退火炉主体一端的内壁一体式形成，所述耐高温移动板通过辊轴与退火炉主体上下移动连接，且辊轴设置有两个，两个所述辊轴均安装在预留轨道的内部，且左右各安装一个。
11.优选的，所述预留轨道内部的上方和下方均设置有限位保护块，且限位保护块设
置有四个，四个所述限位保护块均内嵌式固定安装在预留轨道内部。
12.优选的，所述退火炉主体的一侧设置有操作机构，所述操作机构的一侧设置有显示屏，所述显示屏的下方设置有抽屉操作面板，且抽屉操作面板与操作机构抽拉式连接。
13.优选的，所述退火炉主体的上端面设置有排气机构，且排气机构与退火炉主体固定连接，所述排气机构的上端面设置有散热孔槽，且散热孔槽设置有若干个，若干个所述散热孔槽均与排气机构的一体式形成。
14.优选的，所述排气机构的一端设置有检修板，所述检修板均通过六角螺栓与排气机构螺栓连接，且六角螺栓设置有四个，所述排气机构的前端面设置有翻转板，所述翻转板通过电动转轴与排气机构转动连接。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
16.1、本实用新型通过在内腔体内部的抽气端口处设置的两个喷淋雾化端头，可在内部热量进行排出的时候，由设置的喷淋雾化端头对通过的气体进行喷淋处理，使得雾化后的水带着气体中的温度进行降温，从而提高安全性，避免现有的辗道退火炉在使用的时候，排出的气体有损伤工作人员的安全隐患问题。
17.2、通过在操作机构上设置的抽屉操作面板，可在面板不使用的时候，对面板进行收纳，避免粉尘堆积，以及提高元件的使用寿命，同时设置的电动转轴，也保障翻转板不使用时的完全收纳，避免异物的进入。
附图说明
18.图1为本实用新型的整体结构示意图。
19.图2为本实用新型的退火炉主体内部结构示意图。
20.图3为本实用新型的排气机构一端结构示意图。
21.图中：1、退火炉主体；2、操作机构；3、显示屏；4、抽屉操作面板；5、排气机构；6、散热孔槽；7、检修板；8、六角螺栓；9、翻转板；10、耐高温移动板；11、耐高温观察窗口；12、内腔体；13、绞式退火环；14、预留轨道；15、辊轴；16、限位保护块；17、喷淋雾化端头；18、吸孔槽；19、电动转轴。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
23.请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种连绞式辗道退火炉炉膛结构，包括：退火炉主体1，退火炉主体1的一端设置有耐高温移动板10，且耐高温移动板10与退火炉主体1上下移动连接，耐高温移动板10的内部设置有耐高温观察窗口11，且耐高温观察窗口11内嵌式与耐高温移动板10固定连接。
24.还包括：
25.内腔体12，其安装在退火炉主体1的内部，内腔体12内部上方的两壁均设置有喷淋雾化端头17，且喷淋雾化端头17设置有若干个，若干个喷淋雾化端头17之间的上方设置有吸孔槽18；
26.绞式退火环13，其安装在内腔体12的内部，绞式退火环13的两端均与退火炉主体1的内壁固定连接。
27.请参阅图2，退火炉主体1一端内壁的两侧均设置有预留轨道14，且预留轨道14均与退火炉主体1一端的内壁一体式形成，耐高温移动板10通过辊轴15与退火炉主体1上下移动连接，且辊轴15设置有两个，两个辊轴15均安装在预留轨道14的内部，且左右各安装一个。
28.请参阅图2，预留轨道14内部的上方和下方均设置有限位保护块16，且限位保护块16设置有四个，四个限位保护块16均内嵌式固定安装在预留轨道14内部，内嵌式固定，使得连接更加稳定。
29.请参阅图1，退火炉主体1的一侧设置有操作机构2，操作机构2的一侧设置有显示屏3，显示屏3的下方设置有抽屉操作面板4，且抽屉操作面板4与操作机构2抽拉式连接，抽屉操作面板4的设置，可对操作面板进行收纳。
30.请参阅图1，退火炉主体1的上端面设置有排气机构5，且排气机构5与退火炉主体1固定连接，排气机构5的上端面设置有散热孔槽6，且散热孔槽6设置有若干个，若干个散热孔槽6均与排气机构5的一体式形成。
31.请参阅图3，排气机构5的一端设置有检修板7，检修板7均通过六角螺栓8与排气机构5螺栓连接，且六角螺栓8设置有四个，排气机构5的前端面设置有翻转板9，翻转板9通过电动转轴19与排气机构5转动连接，电动转轴19的设置，使得翻转板9转动便捷。
32.工作原理：该装置在使用的时候，需要退火的物件放置在退火炉主体1内部的内腔体12中，通过内部设置的绞式退火环13可通过升温加热处理，而在降温对内部热量进行排出的时候，设置的喷淋雾化端头17可对通过的气体进行喷淋处理，使得雾化后的水带着气体中的温度进行降温，从而使得排出的气体最大化的进行降低，避免工作人员受伤的问题。
33.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。