技术特征：
1.一种用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，包括：底板和面板，所述底板和所述面板可拆卸地相连，所述底板和所述面板能够沿预设方向排列设置，所述预设方向能够与所述底板和所述面板中的每一者的厚度方向一致，所述底板和所述面板之间能够限定出用于夹持工件的夹持腔，其中所述底板设有沿其厚度方向贯通的第一镀膜窗口和/或所述面板设有沿其厚度方向贯通的第二镀膜窗口，所述第一镀膜窗口能够在所述预设方向上与所述夹持腔相对以便能够与所述夹持腔连通，所述第二镀膜窗口能够在所述预设方向上与所述夹持腔相对以便能够与所述夹持腔连通。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述底板和所述面板中的每一者的形状为多边形，所述底板的形状与所述面板的形状相同，其中所述底板和所述面板通过紧固件可拆卸地相连，所述紧固件能够设置在所述底板和所述面板中的每一者的拐角处。3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述底板具有在其厚度方向上相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有多个第一凹槽，每个所述第一凹槽的底壁面设有所述第一镀膜窗口；所述面板具有在其厚度方向上相对的第三表面和第四表面，所述第三表面上设有多个第二凹槽，每个所述第二凹槽的底壁面设有所述第二镀膜窗口，其中所述第一表面和所述第三表面能够在所述预设方向上相对设置，多个所述第一凹槽和多个所述第二凹槽能够在所述预设方向上一一相对，相对的所述第一凹槽和所述第二凹槽形成所述夹持腔。4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述夹持腔、所述第一镀膜窗口和所述第二镀膜窗口中的每一者排列成多行多列。5.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，每个所述第一凹槽的所述底壁面的未设置所述第一镀膜窗口的部分构成第一夹持面，每个所述第二凹槽的所述底壁面的未设置所述第二镀膜窗口的部分构成第二夹持面，其中所述第一夹持面和所述第二夹持面中的每一者为环形面。6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，进一步包括用于压制工件的弹性件，所述弹性件的一端能够抵靠在所述夹持腔的壁面上，所述弹性件能够处于形变状态以便将工件推向所述底板和所述面板中的一者。7.根据权利要求6所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，进一步包括用于压制工件的压制件，所述弹性件的另一端能够抵靠在所述压制件上，所述弹性件能够处于形变状态以便能够通过所述压制件将工件压制在所述底板和所述面板中的一者上。8.根据权利要求7所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述夹持腔能够具有在所述预设方向上相对的第一夹持面和第二夹持面，所述弹性件的所述一端能够抵靠在所述第二夹持面上，其中所述弹性件能够处于压缩状态以便能够通过所述压制件将工件压制在所述第一夹持面上。9.根据权利要求8所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述弹性件的一端能够抵靠在所述面板上以便能够通过所述压制件将工件压制在所述底板上。10.根据权利要求7所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述基片夹具包括至少四个所述弹性件和至少四个压制件，至少两个所述弹性件能够在第一方向上相对且间隔设置，至少两个所述弹性件能够在第二方向上相对且间隔设置，至少两个所述压制件能
够在所述第一方向上相对且间隔设置，至少两个所述压制件能够在所述第二方向上相对且间隔设置，所述第一方向、所述第二方向和所述预设方向彼此垂直，其中所述弹性件的另一端能够一一对应地抵靠在所述压制件上。11.根据权利要求10所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，在所述第一方向上相对且间隔设置的所述压制件能够沿所述第二方向延伸，在所述第二方向上相对且间隔设置的所述压制件能够沿所述第一方向延伸。12.一种上下料设备，其特征在于，包括：基片夹具，所述基片夹具为根据权利要求1-11中任一项所述的用于真空镀膜的基片夹具；以及上料机械手和下料机械手，所述上料机械手和所述下料机械手中的每一者包括吸盘，所述上料机械手与所述基片夹具配合以便将工件放置在所述基片夹具上，所述下料机械手与所述基片夹具配合以便从所述基片夹具上取走工件。13.一种连续真空镀膜系统，其特征在于，包括基片夹具，所述基片夹具为根据权利要求1-11中任一项所述的用于真空镀膜的基片夹具。
技术总结
本实用新型公开了一种用于真空镀膜的基片夹具、上下料设备和连续真空镀膜系统。基片夹具包括：底板和面板，底板和面板可拆卸地相连，底板和面板能够沿预设方向排列设置，预设方向能够与底板和面板中的每一者的厚度方向一致，底板和面板之间能够限定出用于夹持工件的夹持腔，底板设有沿其厚度方向贯通的第一镀膜窗口和/或面板设有沿其厚度方向贯通的第二镀膜窗口，第一镀膜窗口能够在预设方向上与夹持腔相对以便能够与夹持腔连通，第二镀膜窗口能够在预设方向上与夹持腔相对以便能够与夹持腔连通。通过利用根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具，可以提高工件挂装和卸料的自动化程度、提高工件的挂装和卸料效率、降低人力成本、提高产品合格率。提高产品合格率。提高产品合格率。
技术研发人员：杨培勇 孙晨皓 贾逸轩 刘浩 陆维 卢华兴
受保护的技术使用者：国家电投集团氢能科技发展有限公司
技术研发日：2022.05.24
技术公布日：2022/9/13