一种适用于PVD机可拆分式防着板结构的制作方法

一种适用于pvd机可拆分式防着板结构
技术领域
1.本实用新型涉及防着板技术领域，特别是涉及一种适用于pvd机可拆分式防着板结构。


背景技术：

2.pvd是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上，从而除工件外，放置工件的表面也会残留一些物质，造成对放置设备表面的损坏，从而需要通过防着板避免蒸发物质及其反应产物沉积在防着板上无法清理的情况。
3.现有适用于pvd上的防着板之间都是通过胶粘或者焊接在一起，不便于对单个防着板之间进行拆卸、安装或更换，当需要对防着板更换时，需要整体更换，从而造成提高成本的同时，更换也较为繁琐，为此我们提出一种适用于pvd机可拆分式防着板结构。


技术实现要素：

4.针对上述问题，本实用新型提供了一种适用于pvd机可拆分式防着板结构，具有快速对单个防着板进行拆分更换的作用。
5.本实用新型的技术方案是：一种适用于pvd机可拆分式防着板结构，包括一号防着板和二号防着板，所述一号防着板和二号防着板的外表面均设有安装组件，所述安装组件包括固定螺筒，两个所述固定螺筒两端的内部分别螺纹连接有一号固定螺杆和二号固定螺杆，两个所述一号固定螺杆和二号固定螺杆的一端均固定连接有紧固组件，所述一号防着板和二号防着板的表面均开设有多个固定凹槽，多个所述固定凹槽的内部均放置有连接条板，多个所述固定凹槽和连接条板的表面均开设有固定螺孔，多个所述固定螺孔的内部均螺纹连接有固定螺栓。
6.在进一步的技术方案中，所述紧固组件包括安装板，所述安装板的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部滑动连接有两个滑板，两个所述滑板相对的一侧表面均固定连接有拉伸弹簧，两个所述滑板不相对的一侧表面分别固定连接有一号拉板和二号拉板，两个所述一号拉板和二号拉板的一侧表面分别与一号固定螺杆和二号固定螺杆固定连接。
7.在进一步的技术方案中，两个所述一号拉板、二号拉板、一号防着板和二号防着板的外表面均开设有安装螺孔，多个所述安装螺孔的内部均螺纹连接安装螺杆，多个所述安装螺杆的一端均固定连接有转环。
8.在进一步的技术方案中，所述一号防着板的外表面均固定连接有限位条，所述二号防着板的外表面均开设有限位槽，所述限位条的一端设在限位槽的内部。
9.在进一步的技术方案中，多个所述限位条的一侧均开设有弧形槽，所述固定螺筒的一端设在弧形槽的内部。
10.在进一步的技术方案中，多个所述固定凹槽分别设在一号防着板和二号防着板的
四角处。
11.本实用新型的有益效果是：
12.1、通过固定螺筒、一号固定螺杆、二号固定螺杆带动紧固组件对一号防着板和二号防着板的两侧进行加紧和松弛，从而可便与对多个一号防着板和二号防着板的进行固定和拆卸的作用，通过固定凹槽、连接条板、固定螺孔和固定螺栓可便于进一步对一号防着板和二号防着板之间便于连接的作用，通过其零件拆卸后，可便于对其中一个防着板进行拆卸的作用；
13.2、通过紧固组件的拉力可对一号防着板和二号防着板一个方向的限位和拉紧，通过安装螺孔和安装螺杆可对一号防着板和二号防着板进一步固定的作用，同时可便于对防着板进行拆卸、更换的作用。
附图说明
14.图1是本实用新型实施例的整体结构示意图；
15.图2是本实用新型实施例的紧固组件结构剖视图；
16.图3是本实用新型实施例的图1中a处结构放大图；
17.图4是本实用新型实施例的图2中b处结构放大图；
18.附图标记说明：
19.1、一号防着板；2、二号防着板；3、固定螺筒；4、一号固定螺杆；5、二号固定螺杆；6、固定凹槽；7、连接条板；8、固定螺孔；9、安装板；10、安装槽；11、滑板；12、拉伸弹簧；13、一号拉板；14、二号拉板；15、安装螺孔；16、安装螺杆；17、转环；18、限位条；19、限位槽；20、弧形槽。
具体实施方式
20.下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步说明。
21.实施例：
22.如图1-图4所示，一种适用于pvd机可拆分式防着板结构，包括一号防着板1和二号防着板2，一号防着板1和二号防着板2的外表面均设有安装组件，安装组件包括固定螺筒3，两个固定螺筒3两端的内部分别螺纹连接有一号固定螺杆4和二号固定螺杆5，两个一号固定螺杆4和二号固定螺杆5的一端均固定连接有紧固组件，一号防着板1和二号防着板2的表面均开设有多个固定凹槽6，多个固定凹槽6的内部均放置有连接条板7，多个固定凹槽6和连接条板7的表面均开设有固定螺孔8，多个固定螺孔8的内部均螺纹连接有固定螺栓；
23.多个固定凹槽6分别设在一号防着板1和二号防着板2的四角处。
24.上述技术方案的工作原理如下：
25.通过转动固定螺筒3，在螺纹的作用下使一号固定螺杆4和二号固定螺杆5向不同的方向滑动，一号固定螺杆4和二号固定螺杆5的滑动带动了两端的紧固组件滑动，从而紧固组件远离一号防着板1和二号防着板2，使其对一号防着板1和二号防着板2位置不进行限位的作用，然后通过拉动固定螺筒3带动紧固组件拉伸，从而可使两个固定螺筒3脱离限位条18的内部，然后转动固定螺栓，使固定螺栓脱离固定凹槽6和连接条板7表面的固定螺孔8内部，在把连接条板7脱离固定凹槽6的内部，从而可对一号防着板1和二号防着板2进行快
速拆卸、分开的作用，便于对单个防着板进行快速更换的作用，避免整体更换，降低了产生成本。
26.在另外一个实施例中，如图1、图2和图4所示，紧固组件包括安装板9，安装板9的内部开设有安装槽10，安装槽10的内部滑动连接有两个滑板11，两个滑板11相对的一侧表面均固定连接有拉伸弹簧12，两个滑板11不相对的一侧表面分别固定连接有一号拉板13和二号拉板14，两个一号拉板13和二号拉板14的一侧表面分别与一号固定螺杆4和二号固定螺杆5固定连接；
27.两个一号拉板13、二号拉板14、一号防着板1和二号防着板2的外表面均开设有安装螺孔15，多个安装螺孔15的内部均螺纹连接安装螺杆16，多个安装螺杆16的一端均固定连接有转环17。
28.通过转动转环17带动安装螺杆16转动，在螺纹的作用下，使安装螺杆16脱离安装螺孔15的内部，然后通过拉动一号拉板13和二号拉板14向不同的方向拉动后，一号拉板13和二号拉板14带动了滑板11滑动在安装槽10的内部，从而可对拉伸弹簧12进行拉伸，然后使一号拉板13和二号拉板14两端的安装组件脱离一号防着板1和二号防着板2，从而可便于对单个防着板进行更换拆分的作用。
29.在另外一个实施例中，如1所示，一号防着板1的外表面均固定连接有限位条18，二号防着板2的外表面均开设有限位槽19，限位条18的一端设在限位槽19的内部；
30.多个限位条18的一侧均开设有弧形槽20，固定螺筒3的一端设在弧形槽20的内部。
31.通过限位条18和限位槽19可便于使一号防着板1和二号防着板2之间位置进行初步限位的作用，通过限位条18一侧的弧形槽20可便于安装组件放置的作用。
32.以上实施例仅表达了本实用新型的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。