一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置的制作方法

文档序号:32397286发布日期:2022-11-30 13:11阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置,包括镀膜机(1)和壳体(19),其特征在于:所述镀膜机(1)外侧设有壳体(19),所述壳体(19)内部底面中间安装有双轴电机(2),且壳体(19)内底面两侧安装有轴承座(3),而且壳体(19)内设有固定框(15),同时壳体(19)两侧设有散热板(18),并且壳体(19)顶部上表面中间安装有散热风机(12),所述散热风机(12)左侧处安装有冷水箱(11),所述冷水箱(11)左侧处设有水泵(10),所述水泵(10)连接有出水管(9),所述出水管(9)连接有换热管(14),所述换热管(14)连接有回流水管(13);所述轴承座(3)上设有传动杆(4),所述传动杆(4)一端通过斜齿轮(5)啮合连接有丝杆(7),所述丝杆(7)两端各三分之一处设有光圆杆(6),且丝杆(7)外设有滑块(17),所述滑块(17)上连接有连接杆(16),所述连接杆(16)连接有吸风机(8)。2.根据权利要求1所述的一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置,其特征在于:所述换热管(14)呈蛇形弯曲状,且换热管(14)与出水管(9)和回流水管(13)接口处采用密封胶封闭。3.根据权利要求1所述的一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置,其特征在于:所述丝杆(7)采用往复丝杆结构,且丝杆(7)通过内外丝牙与滑块(17)连接。4.根据权利要求1所述的一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置,其特征在于:所述吸风机(8)采用三组分布于丝杆(7)上的滑块(17)上,且吸风机(8)风力输送方向为由镀膜机(1)内部至镀膜机(1)外侧。5.根据权利要求1所述的一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置,其特征在于:所述固定框(15)一侧中间处设有长槽,且固定框(15)表面长槽宽度略大于连接杆(16)的宽度。6.根据权利要求1所述的一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置,其特征在于:所述散热板(18)采用百叶结构,且散热板(18)外表面涂有一层防水涂料。7.根据权利要求1所述的一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置,其特征在于:所述连接杆(16)通过焊接连接在滑块(17)上,同时连接杆(16)表面涂有一层防腐蚀涂层。

技术总结
本实用新型公开了一种多功能玻璃磁控溅射镀膜装置,包括镀膜机和壳体,所述镀膜机外侧设有壳体,所述壳体内部底面中间安装有双轴电机,所述冷水箱左侧处设有水泵,所述水泵连接有出水管,所述出水管连接有换热管,所述轴承座上设有传动杆,所述传动杆一端通过斜齿轮啮合连接有丝杆,所述丝杆两端各三分之一处设有光圆杆,且丝杆外设有滑块,所述滑块上连接有连接杆,所述连接杆连接有吸风机;该多功能玻璃磁控溅射镀膜装置设置有冷水箱与水泵使得本装置能够通过换热管内的冷水循环对散热风机产生的风进行降温,使得散热风机产生的风的热量通过换热管带走,冷风对镀膜机进行降温,提高降温效果。提高降温效果。提高降温效果。


技术研发人员:吕明云 杜华飞 李如思
受保护的技术使用者:湖北宽谱航空科技有限公司
技术研发日:2022.09.05
技术公布日:2022/11/29
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