滚圆机晶体中心定位工装的制作方法

文档序号:33175816发布日期:2023-02-04 03:31阅读:81来源:国知局
滚圆机晶体中心定位工装的制作方法

1.本实用新型涉及滚圆机辅助设备技术领域,尤其是涉及一种滚圆机晶体中心定位工装。


背景技术:

2.随着社会发展,为了迎合半导体行业的发展,满足市场对单晶硅、半导体、蓝宝石及石英等圆棒的滚圆、定向磨面(刻槽)加工需求,在滚圆、定向磨面(刻槽)加工时,需要使用到滚圆机进行加工。
3.滚圆机需加工的晶体多为圆柱状,传统的做法是人工手持晶体进行放置,放置过程中圆柱状晶体的中心难以与滚圆机滚圆轴中心重合,造成晶体与滚圆轴偏心,从而增大了加工难度和产品加工损耗。


技术实现要素:

4.有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种滚圆机晶体中心定位工装,以解决现有技术中采用人工手持的方式将晶体放置在滚圆机待加工位置处,放置过程中圆柱状晶体的中心难以与滚圆机轴中心重合,导致晶体与滚圆机偏心,从而增大了加工难度和产品损耗的技术问题。
5.为了实现上述目的,本实用新型提供了一种滚圆机晶体中心定位工装,包括用于放置圆柱状晶体的置物台,所述置物台上设有用于驱动所述置物台垂直方向移动的垂直方向驱动机构和用于驱动所述置物台水平方向移动的水平方向驱动机构,所述垂直方向驱动机构设于所述置物台的一侧,且与所述置物台固定连接,所述水平方向驱动机构设于所述垂直方向驱动机构的下方,且与所述垂直方向驱动机构固定连接。
6.优选地,所述垂直方向驱动机构包括第一固定架、第一连接块、第一丝杆和第一手轮,所述第一固定架垂直设置,所述第一连接块置于所述第一固定架内,所述第一丝杆穿过所述第一连接块且一端安装在所述第一固定架上,另一端穿过所述第一固定架,向外自由延伸,所述第一丝杆的自由端与所述第一手轮转动连接,所述第一连接块与所述置物台固定连接,所述第一手轮转动通过所述第一丝杆带动所述第一连接块上下运动,联动所述置物台上下运动。
7.优选地,所述第一丝杆与所述第一固定架转动连接。
8.优选地,所述第一固定架设为u型结构,所述第一连接块置于u型槽内。
9.优选地,所述第一丝杆的两侧设有第一支撑柱,所述第一支撑柱垂直设置,且两端固定于所述第一固定架的内壁上。
10.优选地,所述水平方向驱动机构包括第二固定架、第二连接块、第二丝杆和第二手轮,所述第二固定架水平设置,且水平固定设于所述第一固定架的下方,所述第二连接块置于所述第二固定架内,所述第二丝杆穿过所述第二连接块且一端安装在所述第二固定架上,另一端穿过所述第二固定架,向外自由延伸,所述第二丝杆的自由端与所述第二手轮转
动连接,所述第二连接块与所述第一固定架固定连接,所述第二手轮转动通过所述第二丝杆带动所述第二连接块水平前后运动,联动所述第一固定架和所述置物台水平前后运动。
11.优选地,所述第二丝杆与所述第二固定架转动连接。
12.优选地,所述第二固定架设为u型结构,所述第二连接块置于u型槽内。
13.优选地,所述第二丝杆的两侧设有第二支撑柱,所述第二支撑柱水平设置,且两端固定于所述第二固定架的内壁上。
14.优选地,所述置物台呈l型,水平的一端设有限位夹。
15.本实用新型提供的滚圆机晶体中心定位工装,具有以下技术效果:
16.该种滚圆机晶体中心定位工装,主要由置物台构成,置物台能够用于放置圆柱状的晶体,置物台上安装垂直方向驱动机构和水平方向驱动机构,垂直方向驱动机构设于置物台的一侧,并且与置物台固定连接,水平方向驱动机构设于垂直方向驱动机构的下方,并且与垂直方向驱动机构固定连接,垂直方向驱动机构用于驱动置于置物台上的圆柱状的晶体在垂直方向的运动,而水平方向驱动机构则用于驱动置于置物台上的圆柱状的晶体在水平方向的运动,本实用新型在置物台上安装垂直方向驱动机构和水平方向驱动机构,通过垂直方向驱动机构和水平方向驱动机构对圆柱状的晶体在水平和垂直方向进行微调,使圆柱状晶体的中心与滚圆机的滚圆轴中心重合,从而提高滚圆机对晶体的加工精度,减少损耗。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1是本实用新型一实施例滚圆机晶体中心定位工装的立体结构示意图;
19.图2是图1中滚圆机晶体中心定位工装的另一立体结构示意图;
20.图3是图1中滚圆机晶体中心定位工装的侧视图。
21.其中,图1-图3:
22.1、置物台;11、限位夹;
23.2、垂直方向驱动机构;21、第一固定架;22、第一连接块;23、第一丝杆;24、第一手轮;25、第一支撑柱;
24.3、水平方向驱动机构;31、第二固定架;32、第二连接块;33、第二丝杆;34、第二手轮;35、第二支撑柱。
具体实施方式
25.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式,都属于本实用新型所保护的范围。
26.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两
个以上;术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
27.在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可视具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.正如背景技术所述,现有技术中滚圆机加工圆柱状晶体时,多为人工手持晶体进行放置,放置过程中圆柱状晶体的中心难以与滚圆机滚圆轴中心重合,造成晶体与滚圆轴偏心,从而增大了加工难度和产品加工损耗。
29.基于此,本实用新型提供了一种滚圆机晶体中心定位工装,主要由置物台构成,置物台能够用于放置圆柱状的晶体,置物台上安装垂直方向驱动机构和水平方向驱动机构,垂直方向驱动机构设于置物台的一侧,并且与置物台固定连接,水平方向驱动机构设于垂直方向驱动机构的下方,并且与垂直方向驱动机构固定连接,垂直方向驱动机构用于驱动置于置物台上的圆柱状的晶体在垂直方向的运动,而水平方向驱动机构则用于驱动置于置物台上的圆柱状的晶体在水平方向的运动,本实用新型在置物台上安装垂直方向驱动机构和水平方向驱动机构,通过垂直方向驱动机构和水平方向驱动机构对圆柱状的晶体在水平和垂直方向进行微调,使圆柱状晶体的中心与滚圆机的滚圆轴中心重合,从而提高滚圆机对晶体的加工精度,减少损耗。
30.下面结合具体的附图1-3对本实用新型的技术方案进行详细的说明。
31.如图1-3所示,为本实用新型滚圆机晶体中心定位工装的结构示意图,其主要用于对圆柱状晶体进行水平方向和垂直方向的微调,使其中心与滚圆机的滚圆轴中心重合。
32.该定位工装包括置物台1,置物台1用于放置圆柱状晶体,置物台1上设有垂直方向驱动机构2和水平方向驱动机构3,垂直方向驱动机构2用于驱动置物台1在垂直方向移动,而水平方向驱动机构3部则用于驱动置物台1在水平方向移动,其中,垂直方向驱动机构2设于置物台1的一侧,并且与置物台1固定连接,水平方向驱动机构3设于垂直方向驱动机构2的下方,并且与垂直方向驱动机构2固定连接。
33.具体的,如图1-3所示,垂直方向驱动机构2包括第一固定架21、第一连接块22、第一丝杆23和第一手轮24,第一固定架21设为u型结构,并且垂直设置,第一连接块22置于第一固定架21的u型槽内,第一丝杆23穿过第一连接块22且一端安装在第一固定架21上,另一端穿过第一固定架21,向外自由延伸,第一丝杆23与第一固定架21的连接处为转动连接,这里的转动连接通过轴承实现,第一丝杆23的自由端与第一手轮24转动连接,即摇动第一手轮24,第一丝杆23转动,带动第一连接块22上下移动,由于第一连接块22与置物台1固定连接,从而实现置物台1在垂直方向的移动。
34.为了进一步固定第一连接块22,如图1和图2所示,第一丝杆23的两侧设有第一支撑柱25,第一支撑柱25垂直设置,且两端固定于第一固定架21的内壁上,两侧的第一支撑柱
25均穿过第一连接块22,其中第一连接块22上通孔的直径大于第一支撑柱25直径,这样就能够保证第一连接块22的上下移动。
35.具体的,如图1-3所示,水平方向驱动机构3包括第二固定架31、第二连接块32、第二丝杆33和第二手轮34,第二固定架31设为u型结构,并且水平设置,与第一固定架21形成90度夹角,第二连接块32置于第二固定架31的u型槽内,第二连接块32通过l型连接件与第一固定架21连接,第二丝杆33穿过第二连接块32且一端安装在第二固定架31上,另一端穿过第二固定架31,向外自由延伸,第二丝杆33与第二固定架31的连接处为转动连接,这里的转动连接通过轴承实现,第二丝杆33的自由端与第二手轮34转动连接,即摇动第二手轮34,第二丝杆33转动,带动第二连接块32在水平方向前后移动,由于第二连接块32与第一固定架21固定连接,从而实现第一固定架21和置物台1在水平方向的移动。
36.为了进一步固定第二连接块32,如图1和图2所示,第二丝杆33的两侧设有第二支撑柱35,第二支撑柱35水平设置,并且两端固定于第二固定架31的内壁上,两侧的第二支撑柱35均穿过第二连接块32,其中第二连接块32上通孔的直径大于第二支撑柱35直径,这样就能够保证第二连接块32的水平移动。
37.进一步的,置物台1呈l型结构,l型的置物台1的竖直端与第一连接块22通过螺栓固定,l型的置物台1的水平末端设有限位夹11,限位夹11能够防止圆柱形晶体从l型置物台1上滑落。
38.此外,限位夹11在l型的置物台1的水平端的位置可调节,以适应不同直径大小的圆柱状的晶体。
39.以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
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