一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台的制作方法

1.本实用新型涉及硅片液体抛光技术领域，具体为一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台。


背景技术：

2.单晶硅抛光片生产有蜡工艺，需要在硅片待抛光面的背面敷上一层蜡膜。为了保证蜡膜均匀，要求硅片一定的速度高速旋转，将表面多余的蜡甩离硅片表面，现有的甩蜡台直接进行甩蜡操作或者通过挡板对将飞溅的蜡甩到挡板表面，后期再对挡板上的蜡进行回收处理，飞溅再挡板上的蜡会凝固，后期不仅需要对其进行融化，再回收时，还可能使蜡手受到污染，后期还需要对蜡液进行除杂，不仅回收效率低下，还需要购置多种设备进行处理。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，包括：
5.底座，所述底座上表面固定连接有支撑柱；
6.顶板，所述顶板固定连接在支撑柱顶部；
7.滴蜡机构，所述滴蜡机构安装在顶板上；
8.甩蜡机构，所述甩蜡机构设置在滴蜡机构下侧；
9.蜡回收机构，所述蜡回收机构设置在甩蜡机构外侧和下侧。
10.作为本实用新型优选的方案，所述底座包括：
11.储蜡槽，所述储蜡槽开设在底座内部；
12.第一加热器，所述第一加热器固定连接在底座一侧表面；
13.加热柱，所述加热柱等距离固定连接在第一加热器一侧表面，所述加热柱贯穿储蜡槽一侧槽壁。
14.作为本实用新型优选的方案，所述蜡回收机构包括：
15.集蜡漏斗，所述集蜡漏斗固定安装在储蜡槽顶部槽口处；
16.第二加热器，所述第二加热器固定连接在底座一侧表面；
17.螺旋加热管，所述螺旋加热管螺旋固定在集蜡漏斗表面，所述螺旋加热管一端贯穿储蜡槽一侧槽壁，所述螺旋加热管一端与第二加热器一侧表面固定连接；
18.环形挡板，所述环形挡板固定连接在集蜡漏斗顶部；
19.环形陶瓷加热器，所述环形陶瓷加热器固定安装在环形挡板外侧表面。
20.作为本实用新型优选的方案，所述甩蜡机构包括：
21.连接杆，所述连接杆等距离固定连接在环形挡板内侧面；
22.固定盘，所述固定盘固定连接在连接杆一端；
23.甩蜡电机，所述甩蜡电机固定安装在固定盘下表面；
24.转轴，所述转轴与甩蜡电机输出端固定连接，所述转轴贯穿固定盘；
25.甩蜡台，所述甩蜡台与转轴上端固定连接；
26.启动甩蜡电机转动，甩蜡电机转动进一步带动转轴转动，转轴转动技能一部带动甩蜡台转动，进一步带动硅片进行甩蜡，进一步使蜡均匀的覆盖在硅片表面，多余的蜡被甩出并飞溅在环形挡板的内壁上，启动环形陶瓷加热器对环形挡板进行加热，飞溅在环形挡板上的蜡液向下流动进一步进入集蜡漏斗内，同时启动第二加热器进一步通过螺旋加热管对集蜡漏斗进行加热，蜡液进入集蜡漏斗内聚集并流向储蜡槽内。
27.作为本实用新型优选的方案，所述甩蜡机构包括：
28.空腔，所述空腔开设在甩蜡台内部；
29.抽真空腔，所述抽真空腔设置在空腔内部；
30.抽气吸孔，所述抽气吸孔开设在抽真空腔顶部腔壁上；
31.密封圈，所述密封圈固定连接在抽气吸孔内侧孔壁上；
32.抽真空泵，所述抽真空泵固定安装在空腔内部；
33.抽气管，所述抽气管一端与抽真空泵进气端口处固定连接，所述抽气管一端贯穿抽真空腔一侧腔壁；
34.出气管，所述出气管一端与抽真空泵出气端口处固定连接，所述出气管一端贯穿空腔一侧腔壁；
35.将硅片放置在甩蜡台上，启动抽真空泵进一步通过抽气管对抽真空腔内进行抽真空，进一步通过抽气吸孔将硅片吸住。
36.作为本实用新型优选的方案，所述滴蜡机构包括：
37.抽蜡泵安装箱，所述抽蜡泵安装箱固定连接在顶板顶部表面；
38.抽蜡泵，所述抽蜡泵安装在抽蜡泵安装箱内部；
39.出蜡管，所述出蜡管固定连接在抽蜡泵出蜡端口处，所述出蜡管贯穿顶板；
40.管道，所述管道固定连接在抽蜡泵进蜡端口处，所述管道一端贯穿抽蜡泵安装箱一侧箱壁，所述管道另一端贯穿储蜡槽一侧槽壁。
41.作为本实用新型优选的方案，所述滴蜡机构包括：
42.气缸，所述气缸固定连接在顶板上表面两侧，所述气缸下端贯穿顶板；
43.固定板，所述固定板固定连接在气缸下端；
44.密封槽，所述密封槽开设在固定板下表面，所述密封槽与环形挡板对应设置；
45.滴蜡头，所述滴蜡头固定安装在密封槽内部顶部槽壁上，所述滴蜡头贯穿密封槽顶部槽壁；
46.软管，所述软管一端与出蜡管一端固定连接，所述软管一端与滴蜡头固定连接；
47.启动气缸进一步带动固定板向下运动，进一步通过密封槽将环形挡板顶部盖住，启动抽蜡泵，进一步通过管道将储蜡槽内的蜡抽出，进一步通过出蜡管、软管和滴蜡头对硅片进行滴蜡。
48.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
49.本实用新型中，通过设置的环形挡板、环形陶瓷加热器和第二加热器，启动甩蜡电
机转动，甩蜡电机转动进一步带动转轴转动，转轴转动技能一部带动甩蜡台转动，进一步带动硅片进行甩蜡，进一步使蜡均匀的覆盖在硅片表面，多余的蜡被甩出并飞溅在环形挡板的内壁上，启动环形陶瓷加热器对环形挡板进行加热，飞溅在环形挡板上的蜡液向下流动进一步进入集蜡漏斗内，同时启动第二加热器进一步通过螺旋加热管对集蜡漏斗进行加热，蜡液进入集蜡漏斗内聚集并流向储蜡槽内，能够在甩蜡的同时，对多余的蜡进行回收并使其重新进入出蜡槽内，避免后期回收工序复杂，能过够有效节约材料，同时提高效率，节约后期处理的设备成本。
附图说明
50.图1为本实用新型的整体立体结构示意图；
51.图2为本实用新型的正剖面结构示意图；
52.图3为本实用新型的侧剖面结构示意图；
53.图4为本实用新型的横剖面结构示意图。
54.图中：1、底座；2、滴蜡机构；3、甩蜡机构；4、蜡回收机构；5、支撑柱；6、顶板；7、管道；8、固定板；9、抽蜡泵安装箱；10、气缸；11、第一加热器；12、第二加热器；13、抽蜡泵；14、出蜡管；15、软管；16、滴蜡头；17、甩蜡台；18、空腔；19、密封圈；20、抽气吸孔；21、抽真空腔；22、抽气管；23、抽真空泵；24、出气管；25、固定盘；26、加热柱；27、螺旋加热管；28、集蜡漏斗；29、连接杆；30、储蜡槽；31、环形陶瓷加热器；32、环形挡板；33、密封槽；34、甩蜡电机；35、转轴。
具体实施方式
55.为了使本实用新型的技术手段及达到目的与功效易于理解，下面结合具体图示对本实用新型的实施例进行详细说明。
56.需要说明，本实用新型中所有进行方向性和位置性指示的术语，诸如：“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“低”、“横向”、“纵向”、“中心”等，仅用于解释在某一特定状态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、连接情况等，仅为了便于描述本实用新型，而不是要求本实用新型必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
57.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
58.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
59.请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
60.一种硅片液体抛光蜡用的甩蜡台，包括：
61.底座1，底座1上表面固定连接有支撑柱5；
62.顶板6，顶板6固定连接在支撑柱5顶部；
63.滴蜡机构2，滴蜡机构2安装在顶板6上；
64.甩蜡机构3，甩蜡机构3设置在滴蜡机构2下侧；
65.蜡回收机构4，蜡回收机构4设置在甩蜡机构3外侧和下侧。
66.作为本实用新型的示例，底座1包括：
67.储蜡槽30，储蜡槽30开设在底座1内部；
68.第一加热器11，第一加热器11固定连接在底座1一侧表面；
69.加热柱26，加热柱26等距离固定连接在第一加热器11一侧表面，加热柱26贯穿储蜡槽30一侧槽壁；
70.可通过第一加热器11进一步对储蜡槽30内的蜡液进行加热保温防止其固化。
71.作为本实用新型的示例，蜡回收机构4包括：
72.集蜡漏斗28，集蜡漏斗28固定安装在储蜡槽30顶部槽口处；
73.第二加热器12，第二加热器12固定连接在底座1一侧表面；
74.螺旋加热管27，螺旋加热管27螺旋固定在集蜡漏斗28表面，螺旋加热管27一端贯穿储蜡槽30一侧槽壁，螺旋加热管27一端与第二加热器12一侧表面固定连接；
75.环形挡板32，环形挡板32固定连接在集蜡漏斗28顶部；
76.环形陶瓷加热器31，环形陶瓷加热器31固定安装在环形挡板32外侧表面。
77.作为本实用新型的示例，甩蜡机构3包括：
78.连接杆29，连接杆29等距离固定连接在环形挡板32内侧面；
79.固定盘25，固定盘25固定连接在连接杆29一端；
80.甩蜡电机34，甩蜡电机34固定安装在固定盘25下表面；
81.转轴35，转轴35与甩蜡电机34输出端固定连接，转轴35贯穿固定盘25；
82.甩蜡台17，甩蜡台17与转轴35上端固定连接。
83.作为本实用新型的示例，甩蜡机构3包括：
84.空腔18，空腔18开设在甩蜡台17内部；
85.抽真空腔21，抽真空腔21设置在空腔18内部；
86.抽气吸孔20，抽气吸孔20开设在抽真空腔21顶部腔壁上；
87.密封圈19，密封圈19固定连接在抽气吸孔20内侧孔壁上；
88.抽真空泵23，抽真空泵23固定安装在空腔18内部；
89.抽气管22，抽气管22一端与抽真空泵23进气端口处固定连接，抽气管22一端贯穿抽真空腔21一侧腔壁；
90.出气管24，出气管24一端与抽真空泵23出气端口处固定连接，出气管24一端贯穿空腔18一侧腔壁；
91.将硅片放置在甩蜡台17上，启动抽真空泵23进一步通过抽气管22对抽真空腔21内进行抽真空，进一步通过抽气吸孔20将硅片吸住；启动甩蜡电机34转动，甩蜡电机34转动进一步带动转轴35转动，转轴35转动技能一部带动甩蜡台17转动，进一步带动硅片进行甩蜡，
进一步使蜡均匀的覆盖在硅片表面，多余的蜡被甩出并飞溅在环形挡板32的内壁上，启动环形陶瓷加热器31对环形挡板32进行加热，飞溅在环形挡板32上的蜡液向下流动进一步进入集蜡漏斗28内，同时启动第二加热器12进一步通过螺旋加热管27对集蜡漏斗28进行加热，蜡液进入集蜡漏斗28内聚集并流向储蜡槽30内。
92.作为本实用新型的示例，滴蜡机构2包括：
93.抽蜡泵安装箱9，抽蜡泵安装箱9固定连接在顶板6顶部表面；
94.抽蜡泵13，抽蜡泵13安装在抽蜡泵安装箱9内部；
95.出蜡管14，出蜡管14固定连接在抽蜡泵13出蜡端口处，出蜡管14贯穿顶板6；
96.管道7，管道7固定连接在抽蜡泵13进蜡端口处，管道7一端贯穿抽蜡泵安装箱9一侧箱壁，管道7另一端贯穿储蜡槽30一侧槽壁。
97.作为本实用新型的示例，滴蜡机构2包括：
98.气缸10，气缸10固定连接在顶板6上表面两侧，气缸10下端贯穿顶板6；
99.固定板8，固定板8固定连接在气缸10下端；
100.密封槽33，密封槽33开设在固定板8下表面，密封槽33与环形挡板32对应设置；
101.滴蜡头16，滴蜡头16固定安装在密封槽33内部顶部槽壁上，滴蜡头16贯穿密封槽33顶部槽壁；
102.软管15，软管15一端与出蜡管14一端固定连接，软管15一端与滴蜡头16固定连接；
103.启动气缸10进一步带动固定板8向下运动，进一步通过密封槽33将环形挡板32顶部盖住；启动抽蜡泵13，进一步通过管道7将储蜡槽30内的蜡抽出，进一步通过出蜡管14、软管15和滴蜡头16对硅片进行滴蜡。
104.工作原理：将硅片放置在甩蜡台17上，启动抽真空泵23进一步通过抽气管22对抽真空腔21内进行抽真空，进一步通过抽气吸孔20将硅片吸住，启动气缸10进一步带动固定板8向下运动，进一步通过密封槽33将环形挡板32顶部盖住，启动抽蜡泵13，进一步通过管道7将储蜡槽30内的蜡抽出，进一步通过出蜡管14、软管15和滴蜡头16对硅片进行滴蜡，同时启动甩蜡电机34转动，甩蜡电机34转动进一步带动转轴35转动，转轴35转动技能一部带动甩蜡台17转动，进一步带动硅片进行甩蜡，进一步使蜡均匀的覆盖在硅片表面，多余的蜡被甩出并飞溅在环形挡板32的内壁上，启动环形陶瓷加热器31对环形挡板32进行加热，飞溅在环形挡板32上的蜡液向下流动进一步进入集蜡漏斗28内，同时启动第二加热器12进一步通过螺旋加热管27对集蜡漏斗28进行加热，蜡液进入集蜡漏斗28内聚集并流向储蜡槽30内，可通过第一加热器11进一步对储蜡槽30内的蜡液进行加热保温防止其固化。
105.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。