一种载片盘的快速装夹结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种载片盘的快速装夹结构。


背景技术：

2.真空蒸镀机，如中国专利202023304257.6，包括主腔体、主腔体的后方为主阀腔，主阀腔内设置有抽真空泵，开始镀膜时，先用抽真空泵将主腔体内抽为真空条件。主腔体的底板上设置有坩埚和离子源，上方设置有镀锅，镀锅固定着被镀膜工件，并且镀锅能够旋转，通过离子源的离子源轰击坩埚内的膜料，膜料气化而蒸发，气化后的膜料粒子向上飞至基片(被镀膜工件)表面而凝结，最后形成镀膜的薄膜。镀膜完成之后，要取下镀锅，然后取下被镀膜工件。
3.常规的镀锅通常为金属的伞状薄体，安装及取下镀锅抓取镀锅上部的固定柱即可，固定柱是与传动结构连接的，传动结构与电机或马达连接从而带动镀锅旋转。但是，蒸镀熔点低的金属基片，改变了整个镀锅的整体结构，镀锅分为了水冷部和载片盘两个独立的部分，水冷部是用于容纳冷却液给水冷部和载片盘降温的，并且水冷部与传动结构固定。载片盘支撑和固定被镀膜工件，并且与水冷部可拆卸的连接。那么，如何使得载片盘能够方便快捷的与水冷部固定及取下，传统的用多个螺丝直接将载片盘与水冷盘固定，非常的不方便，耗时很长。而且，载片盘为水平的平板，安装以及拆卸的时候，没有抓取的着力点，并且不能触摸到铺满的被镀膜工件，操作起来非常不方便，常常出现失误。
4.有鉴于此，本实用新型提供一种载片盘的快速装夹结构，能够快速的将载片盘与水冷盘固定及松开，并且具有便捷的着力方式，安装及取下载片盘变得方便快捷。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种载片盘的快速装夹结构，能够快速的将载片盘与水冷盘固定及松开，并且具有便捷的着力方式，安装及取下载片盘变得方便快捷。
6.本技术的载片盘的快速装夹结构，第一方面，设计多个固定组件将载片盘与水冷盘可拆卸的固定，需要固定载片盘时，转动固定组件的压板，压板与载片盘的下表面接触从而支撑和固定载片盘。需要取下载片盘时，转动压板使得压板不与载片盘接触，就能取下载片盘，方便快捷。第二方面，对于压板的形状也设计了弧形卡条和长形压条两种，均可适用。第三方面，即使设计了方便固定和取下的固定组件，由于载片盘较重并且要避免触摸铺满的被镀膜工件，操作起来还是很困难。因此，本技术优化的在载片盘上设置了多个定位柱，与取手匹配卡合，手握住取手即可支撑柱载片盘，配合进行安装和拆卸，更加方便。第四方面，进一步优化的设计定位柱为中空圆柱体，去除气压差，取手为三脚架式，稳定方便。本技术人在此基础上完成了本技术。
7.一种载片盘的快速装夹结构，载片盘1用于承载及固定被镀膜工件，载片盘1可拆卸的与镀锅的水冷盘2连接，水冷盘2的下表面设置有凹陷部21，凹陷部21用于容纳载片盘
1；所述快速装夹结构包括：固定组件3、定位柱11和取手4，载片盘1通过多个固定组件3与水冷盘2可拆卸的连接，固定组件3包括压板31，压板31能够转动，压板31用于支撑或者不支撑载片盘1使得载片盘1与水冷盘2固定或者不固定；载片盘1的下表面设置有多个向下延伸的定位柱11，三脚架式的取手4的顶端部41内具有从顶端向下延伸的中空部，中空部能够容纳定位柱11实现取手4与载片盘1的卡合，从而支撑住载片盘1。
8.在一些实施方式中，多个固定组件3均匀分布在水冷盘2下表面的边缘上，固定组件3的连接件32用于将压板31与水冷盘2连接，压板31与载片盘1接触时，能够支撑和固定载片盘1，使得载片盘1固定在所述凹陷部21内。
9.进一步的，所述连接件32为螺丝，压板31通过螺丝与水冷盘2的下表面的边缘固定，拧松或拧紧螺丝使得压板31能够转动或固定，压板31与载片盘1接触并拧紧螺丝时，压板31支撑和固定载片盘1。
10.进一步的，所述压板31为弧形卡条311或者为长形压条312，所述压板31有3-9个，当压板31为弧形卡条311时，与螺丝配合的螺孔设置在弧形卡条311的中部，当压板31为长形压条312时，与螺丝配合的螺孔设置在长形压条312底端部。
11.进一步的，所述弧形卡条311为光滑的不锈钢弧形卡条，弧形卡条311的长度为20-50mm，弧形卡条311的厚度为2-4mm。
12.进一步的，所述长形压条312的顶端部和底端部均为长方体，顶端部的长度大于底端部的长度。
13.安装载片盘时，将载片盘1放置在凹陷部21内，转动压板31使得压板31与载片盘1的下表面接触，拧紧螺丝，多个压板31支撑并固定住载片盘1。取下载片盘时，拧松螺丝，转动压板31使得压板31不与载片盘1接触，从而能取下载片盘。
14.在一些实施方式中，多个定位柱11均匀的分布在载片盘1上，载片盘1上还设置有多个通孔12，定位柱11设置在避开通孔12的实体部分。
15.进一步的，所述定位柱11具有3-30个，定位柱11为圆柱体，定位柱11的长度为2-6cm，定位柱11的上端具有螺纹，与载片盘1上的螺纹孔匹配，实现定位柱11与载片盘1的固定。
16.优选的，所述定位柱11为中空圆柱体。若定位柱11为实心的圆柱体，由于与定位柱11上端螺纹匹配的螺纹孔会设计的比较深，保证定位柱11能够拧到底，那么该螺纹孔里面会有一段空气挤压在里面，不能随着冷泵抽主腔体真空的下降而气压下降，其气压高于主腔体内的气压，会把定位柱11顶出。将定位柱11设计为中空圆柱体，那么螺纹孔里面的空气，就能够随着主腔体真空的下降而气压下降。
17.进一步的，所述定位柱11设置在相邻的两个通孔12之间，定位柱11的数量与通孔12的数量相同，载片盘1为圆盘形，定位柱11按照圆形分布。
18.在一些实施方式中，所述取手4的顶端部41有三个，顶端部41垂直设置，三个水平设置的平板部42的一端分别与顶端部41的底端固定、另一端相互连接固定在一起，垂直设置的把手部43与三个平板部42的交汇处固定。
19.进一步的，所述顶端部41为圆柱体，顶端部41的中空部的直径大于定位柱11的外直径，所述中空部的深度小于等于顶端部41的长度，顶端部41的长度小于把手部43的长度。
20.进一步的，所述把手部43为圆柱体，把手部43内具有从底端向上延伸的中空腔，中
空腔的深度小于等于把手部43的长度，中空腔用于将取手4和载片盘1固定在桌面上。
21.由于载片盘1上放置有很多被镀膜工件，若一手托举载片盘1、另一只手固定载片盘1，载片盘1比较重，并且要避免触摸到被镀膜工件，所以操作起来很困难。因此，本技术设计了载片盘1上的定位柱11与取手4进行配合，需要安装载片盘时，将取手4固定在桌上，桌上具有与中空腔匹配的支撑柱，载片盘放在取手4上安装被镀膜工件，完成后，手握住把手部43将载片盘放置在水冷盘的凹陷部内，另一手转动压板31，拧紧螺丝，多个压板31支撑并固定住载片盘1。需要取下载片盘时，取手4顶住定位柱，拧松螺丝，转动压板31不与载片盘1接触，取下载片盘。
22.在一些实施方式中，载片盘1固定时，载片盘1的上表面与水冷盘2的凹陷部21的下表面接触，水冷盘2的内部设置有水平的空心的腔体，该腔体用于容纳冷却液，从而起到冷却载片盘1上被镀膜工件的作用。
附图说明
23.结合以下附图一起阅读时，将会更加充分地描述本技术内容的上述和其他特征。可以理解，这些附图仅描绘了本技术内容的若干实施方式，因此不应认为是对本技术内容范围的限定。通过采用附图，本技术内容将会得到更加明确和详细地说明。
24.图1为本技术的载片盘的快速装夹结构的载片盘与水冷盘的结构示意图。
25.图2为本技术的载片盘的快速装夹结构的载片盘和取手与水冷盘的结构示意图。
26.图3为本技术的载片盘的快速装夹结构的长形压条式固定组件的结构示意图。
27.图4为本技术的载片盘的快速装夹结构的弧形卡条的结构示意图。
28.图5为本技术的图1的a的局部放大图。
29.图6为与本技术的载片盘的快速装夹结构的载片盘相配合的水冷盘的一种结构示意图。
30.主要元件符号说明：
31.载片盘1、定位柱11、通孔12、水冷盘2、凹陷部21、固定组件3、压板31、弧形卡条311、长形压条312、连接件32、取手4、顶端部41、平板部42、把手部43。
具体实施方式
32.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
33.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
34.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化
描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
35.实施例1：
36.一种载片盘的快速装夹结构，如图1所示，载片盘1用于承载及固定被镀膜工件，载片盘1上具有11个通孔12，该通孔12为长方形，每个通孔12的上方都承载有被镀膜工件(未示出)。载片盘1可拆卸的与镀锅的水冷盘2连接，水冷盘2的下表面设置有凹陷部21(如图6所示)，凹陷部21用于容纳载片盘1，载片盘1固定时，载片盘1的上表面与水冷盘2的凹陷部21的下表面接触，水冷盘2为圆形，凹陷部21和载片盘1均为圆形。载片盘1通过三个固定组件3与水冷盘2可拆卸的连接固定，三个固定组件3均匀的固定在水冷盘2的下表面边缘处。固定组件3包括压板31和连接件32，连接件32为螺丝，连接件32用于将压板31与水冷盘2连接，拧松螺丝压板31能够转动，转动压板31与载片盘1接触并拧紧螺丝时，压板31能够支撑和固定载片盘1，使得载片盘1固定在所述凹陷部21内。安装载片盘时，将载片盘1放置在凹陷部21内，转动压板31使得压板31与载片盘1的下表面接触，拧紧螺丝，三个压板31支撑并固定住载片盘1。取下载片盘时，拧松螺丝，转动压板31使得压板31不与载片盘1接触，从而能取下载片盘。
37.载片盘1的下表面还设置有11个向下延伸的定位柱11，定位柱11为圆柱体，定位柱11的长度为3cm，11个定位柱11均匀的分布在载片盘1上，定位柱11设置在避开通孔12的实体部分，定位柱11设置在相邻的两个通孔12之间，定位柱11按照圆形分布。定位柱11的上端具有螺纹，与载片盘1上的螺纹孔匹配，实现定位柱11与载片盘1的固定(未示出)。
38.如图3所示，所述压板31为长形压条312，该长形压条312有3个，与螺丝配合的螺孔设置在长形压条312底端部，即通过螺丝将长形压条312的底端部与水冷盘2的下表面边缘处固定，长形压条312的顶端部能够相对于螺丝转动，固定载片盘1时，长形压条312的顶端部与载片盘1接触并支撑和固定载片盘，需要取下载片盘时，拧松螺丝，长形压条312的顶端部不与载片盘1接触，能取下载片盘。所述长形压条312的顶端部和底端部均为长方体，顶端部的长度大于底端部的长度，增大顶端部与载片盘的接触面积，支撑效果更好。
39.如图4所示，所述压板31为弧形卡条311，该弧形卡条311有3个，与螺丝配合的螺孔设置在弧形卡条311的中部，所述弧形卡条311为光滑的不锈钢弧形卡条，弧形卡条311的长度为40mm，弧形卡条311的厚度为3mm。
40.如图2所示，三脚架式的取手4的顶端部41与定位柱11卡合，取手4能够顶起载片盘1。由于载片盘1上放置有很多被镀膜工件，若一手托举载片盘1、另一只手固定载片盘1，载片盘1比较重，并且要避免触摸到被镀膜工件，所以操作起来很困难。因此，本技术设计了载片盘1上的定位柱11与取手4进行配合，需要安装载片盘时，将取手4固定在桌上，桌上具有与中空腔匹配的支撑柱，载片盘放在取手4上安装被镀膜工件，完成后，手握住把手部43将载片盘放置在水冷盘的凹陷部内，另一手转动压板31，拧紧螺丝，多个压板31支撑并固定住载片盘1。需要取下载片盘时，取手4顶住定位柱，拧松螺丝，转动压板31不与载片盘1接触，取下载片盘。
41.取手4的顶端部41内具有从顶端向下延伸的中空部，中空部能够容纳定位柱11实
现取手4与载片盘1的卡合，从而支撑柱载片盘1。所述取手4的顶端部41有三个，顶端部41垂直设置，三个水平设置的平板部42的一端分别与顶端部41的底端固定、另一端相互连接固定在一起，垂直设置的把手部43与三个平板部42的交汇处固定。所述顶端部41为圆柱体，顶端部41的中空部的直径大于定位柱11的外直径，所述中空部的深度小于等于顶端部41的长度，顶端部41的长度小于把手部43的长度。所述把手部43为圆柱体，把手部43内具有从底端向上延伸的中空腔，中空腔的深度小于等于把手部43的长度，中空腔用于将取手4和载片盘1固定在桌面上。
42.如图5所示，所述定位柱11为中空圆柱体。若定位柱11为实心的圆柱体，由于与定位柱11上端螺纹匹配的螺纹孔会设计的比较深，保证定位柱11能够拧到底，那么该螺纹孔里面会有一段空气挤压在里面，不能随着冷泵抽主腔体真空的下降而气压下降，其气压高于主腔体内的气压，会把定位柱11顶出。将定位柱11设计为中空圆柱体，那么螺纹孔里面的空气，就能够随着主腔体真空的下降而气压下降。
43.如图6所示，为镀锅的水冷盘2，水冷盘2的内部设置有水平的空心的腔体，该腔体用于容纳冷却液，水冷盘2为金属材质，根据金属的热传导效果好，冷却液能够给整个水冷盘2降温。水冷盘2的下表面设置有凹陷部21，凹陷部21用于容纳载片盘1，载片盘1固定时，载片盘1的上表面与水冷盘2的凹陷部21的下表面接触(如图1)，载片盘1及被镀膜工件均为金属材质，载片盘1与水冷盘2接触后，由于金属的热传导，从而给载片盘及被镀膜工件降温。
44.尽管本技术已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本技术公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本技术，本技术的实际保护范围以权利要求为准。