尾架组件以及包含该组件的磨床的制作方法

1.本实用新型涉及磨床技术领域，具体提供一种尾架组件以及包含该组件的磨床。


背景技术：

2.磨床是对硬脆材料进行磨削加工的设备。如磨床通常包括上料上料装置、进给滑台装置以及磨削装置。以硬脆材料为硅棒为例，如首先将开方后的硅棒固定至上料组件，对其所处的位置和姿态进行后一定的初步调节后，将硅棒送达至进给滑台装置的两个夹头之间，如两个夹头可以均为动夹头，或者两个夹头中的一个为动夹头而另一个为定夹头。通过的硅棒轴向运动，将硅棒送达磨削装置从而对第一组待磨削面进行包括粗磨和精磨在内的磨削加工。之后，通过使硅棒的旋转，从而转动至第二组待磨削面，在此基础上，对该第二组待磨削面进行包括粗磨和精磨在内的磨削加工。如此重复，直至硅棒所有的待磨削面按照设定的磨削标准被磨削。如硅棒通常包括四组待检测/磨削面(0
°
面、90
°
面、45
°
倒角/圆、135
°
倒角/圆)。
3.仍以硬脆材料为硅棒为例，伴随着市场出现了小规格、“n”型硅片的需求，需要开发相应横截面(如横截面应当为矩形)的硅棒。具体地，传统的硅棒的横截面大致为正方形(称之为整棒)，适应于前述的新需求，需要对整棒进行进一步的剖切(如中剖)处理(如称之为半棒)。这样一来，假设仍采用对应于整棒的磨床对开方的硅棒进行磨削，则必然会发生磨削砂轮与夹头之间的干涉。而开发能够与硅棒的尺寸向适配的磨床，必然会带来成本的增加。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少一部分地解决上述技术问题，具体而言，旨在能够抑制成本明显增加的前提下，使得适用于整棒的磨床能够同样适用于半棒。
5.需要说明的是，此处的“半棒”，并非如数学意义上所说指的是整棒的一半，而是泛指各种假设仍使用整棒的夹头便可能产生磨削干涉的各种“小”规格的硅棒。在本实例中，整棒的横截面为正方形，半棒的截面为“长与正方形的边长相等、宽为长的一半”的长方形。如还可以是五边形、六边形以及其他异形结构等。
6.在第一方面，本实用新型提供了一种尾架组件，该尾架组件包括：尾架；以及夹头，其包括主体部分和缓冲部分；其中，所述主体部分以可移除的方式设置于所述尾架并形成有安装空间；其中，所述缓冲部分包括容纳于所述安装空间的弹性件以及能够借助于所述弹性件的形变至少一部分地伸出所述安装空间的条状头。
7.通过这样的构成，能够谋求通过更换夹头的方式对不同规格的待加工件进行磨削处理。如弹性件可以是弹簧、碟簧等。
8.可以理解的是，在浮动能够实现的前提下，本领域技术人员可以根据实际需求确定主体部分的具体形式以及缓冲部分的个数及其在主体部分上的分布方式等。
9.可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定对应于可移除的连接方式
所依赖的具体连接方式，如螺接、卡接等。
10.对于上述尾架组件，在一种可能的实施方式中，所述主体部分包括以可移除的方式设置于所述尾架的夹紧盘以及设置于夹紧盘上的夹头压板，其中，所述夹紧盘和所述夹头压板形成所述安装空间，所述条状头能够以贯穿所述夹头压板的方式伸出所述夹头压板。
11.通过这样的构成，给出了主体部分的一种具体的结构形式。
12.对于上述尾架组件，在一种可能的实施方式中，所述条状头在远离所述主体部分的一端设置有夹头顶块。
13.通过这样的构成，在头架组件上的夹头与另一夹头将待加工件夹紧时，顶块抵接至待加工件从而保证了夹紧的可靠性。
14.对于上述尾架组件，在一种可能的实施方式中，所述条状头和所述夹头顶块一体成型。
15.通过这样的构成，给出条状头的一种具体的结构形式。
16.对于上述尾架组件，在一种可能的实施方式中，所述夹头顶块上设置有孔。
17.通过这样的构成，能够谋求进一步保证夹紧的可靠性。
18.对于上述尾架组件，在一种可能的实施方式中，至少所述主体部分和/或所述缓冲部分具有延伸部分，以便：所述主体部分和/或所述缓冲部分与所述尾架形成避让空间。
19.通过这样的构成，在对如半棒等类型的待加工件进行磨削作业时，由于主体部分和/或缓冲部分的径向尺寸相对全棒有所减小(缩径)，这样一来，便可通过缩径与延伸相结合的方式有效地避免粗/精磨砂轮与夹头之间发生干涉。
20.可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定主体部分和/或缓冲部分的延伸部分的个数、结构形式及其与原结构(未延伸之间的基础部分)的组合方式。示例性地，假设主体部分具有一个或者多个延伸部分，其基础部分和延伸部分之间可以一体成型或者固定连接，二者的结构可以是均一性延伸或者有所改变的延伸。
21.对于上述尾架组件，在一种可能的实施方式中，所述主体部分沿远离所述缓冲部分的一侧具有所述延伸部分。
22.通过这样的构成，给出了延伸部分的一种具体的设置位置。
23.对于上述尾架组件，在一种可能的实施方式中，所述延伸部分与所述主体部分固定连接或者一体成型。
24.通过这样的构成，给出了延伸部分的一种具体的结构形式。
25.对于上述尾架组件，在一种可能的实施方式中，所述主体部分以螺接的方式设置于所述尾架。
26.通过这样的构成，给出了可拆卸连接的一种具体的实现方式。
27.对于上述尾架组件，在一种可能的实施方式中，所述夹头在靠近所述尾架的部分具有安装部分，所述安装部分上形成有与螺接相适配的安装孔。
28.通过这样的构成，给出了螺接的一种具体的实现方式。
29.如在尾架上也设置有与设置于安装部分上的安装孔对应的另一组安装孔，夹头与尾架借助于紧固件与相应的两个安装孔的配合实现二者的连接。
30.可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需求确定安装部分的结构形式、安
装孔的结构形式、个数及其在安装部分上的布置方式等。示例性地，安装部分大致为盘状结构，多个安装孔以沿安装部分的周向均匀分布的方式设置。
31.在第二方面，本实用新型提供了一种磨床，该磨床包括前述任一项所述的尾架组件。
32.可以理解的是，该磨床具有前述任一项所述的尾架组件的所有技术效果，在此不再赘述。
33.对于上述磨床，在一种可能的实施方式中，所述磨床包括定夹头和动夹头，待加工件夹持于所述定夹头和所述动夹头之间，所述尾架组件中的夹头为所述动夹头。
34.通过这样的构成，给出了尾架组件构成磨床的一种具体的形式。
35.对于上述磨床，在一种可能的实施方式中，所述磨床为能够对整棒规格的待加工件以及半棒规格的待加工件进行磨削处理的磨床。
36.通过这样的构成，给出了可更换夹头的磨床的一种具体的应用方式。
附图说明
37.下面以待加工件为待磨削的硅棒(下文简称硅棒)并参照附图来描述本实用新型的优选实施方式，附图中：
38.图1示出本实用新型一种实施例的磨床的结构示意图；
39.图2示出本实用新型一种实施例的磨床的驱动滑台机构和磨削机构的结构示意图；
40.图3示出本实用新型一种实施例的磨床的夹紧机构中浮动夹头的结构示意图；
41.图4示出图3中局部a的放大示意图；
42.图5示出本实用新型一种实施例的磨床的夹紧机构中尾架组件的结构示意图；
43.图6示出图5中局部b的放大示意图；
44.图7示出磨削机构的粗磨砂轮的粗磨步骤1的状态示意图；
45.图8示出磨削机构的粗磨砂轮的粗磨步骤2的状态示意图
46.图9示出磨削机构的粗磨砂轮的粗磨步骤2的状态示意图；
47.图10示出磨削机构的精磨砂轮的精磨步骤1的状态示意图；
48.图11示出磨削机构的精磨砂轮的精磨步骤2的状态示意图；以及
49.图12示出磨削机构的精磨砂轮的精磨步骤3的状态示意图。
50.附图标记列表：
51.100、磨床；
52.1、床身主体；2、立柱框架组件；3、上下料机构；4、硅棒；
53.5、磨削机构；
54.51、粗磨砂轮；52、精磨砂轮；
55.6、进给滑台机构；
56.7、夹紧机构；
57.71、头架；
58.72、浮动夹头；
59.721、固定部分；722、浮动部分；723、膜片；724、支撑球；725、耐磨铜垫；726、浮动夹
头顶块；7261、孔；727、螺钉；728、浮动夹头安装部分；7281、安装孔；
60.73、尾架；
61.74、缓冲夹头；
62.741、夹紧盘；742、夹头压板；743、安装空间；744、条状头；745、弹簧；746、缓冲夹头安装部分；
63.751、移动驱动机构；752、浮动夹头旋转电机；753、缓冲夹头旋转电机。
具体实施方式
64.下面参照附图来描述本实用新型的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是，这些实施方式仅仅用于解释本实用新型的技术原理，并非旨在限制本实用新型的保护范围。
65.需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
66.此外，还需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
67.如图1至图12所示，图1示出本实用新型一种实施例的磨床的结构示意图；图2示出本实用新型一种实施例的磨床的驱动滑台机构和磨削机构的结构示意图；图3示出本实用新型一种实施例的磨床的夹紧机构中浮动夹头的结构示意图；图4示出图3 中局部a的放大示意图；图5示出本实用新型一种实施例的磨床的夹紧机构中尾架组件的结构示意图；图6示出图5中局部b的放大示意图；图7示出磨削机构的粗磨砂轮的粗磨步骤1的状态示意图；图8示出磨削机构的粗磨砂轮的粗磨步骤2的状态示意图；图9示出磨削机构的粗磨砂轮的粗磨步骤2的状态示意图；图10示出磨削机构的精磨砂轮的精磨步骤1的状态示意图；图11示出磨削机构的精磨砂轮的精磨步骤2的状态示意图；图12示出磨削机构的精磨砂轮的精磨步骤3的状态示意图。下文将参照图1至图12中的全部或者部分来阐述本实用新型。
68.磨床主要用于将作为待加工件的开方后的硅棒磨削加工至设定的规格。具体而言，理想状态下，对于整棒而言，开方后的硅棒是横截面为正方形的棒料(长方体)。对于本示例的半棒而言，开方(进一步中剖)后的硅棒是横截面为长方形的棒料。但在实际中，开方后的硅棒的表面并不平整，如通常情形下表现为：硅棒的中间部分较之于两端部分凸起，硅棒的出刀口尺寸大于入刀口尺寸(金刚线切出端面的正方形的边长大于金刚线切入端面的正方形的边长)。因此，需要通过磨床将开方后的硅棒磨削至标准规格的理想长方体，如产出磨削后的表面粗糙度达到小于0.1μm的棒料。
69.主要参照图1和图2，在一种可能的实施方式中，磨床100主要包括床身主体1以及设置于床身主体上的立柱框架组件2。床身主体和/立柱框架组件主要用于承载和支撑磨床的各个执行机构，其中的执行机构主要包括以下几组：
70.1)上下料机构3，其主要包括上料组件、上下料支撑组件、下料组件和对中组件，上下料机构主要用于接驳硅棒的上下料以及在磨削之前检测待加工的硅棒4的尺寸。
71.2)磨削机构5，其主要包括磨削组件和磨削检测组件。其中，磨削组件通常包含粗磨砂轮51和精磨砂轮52，粗/精磨砂轮主要用于实现使硅棒的表面光洁度符合要求的粗/精磨加工。磨削检测组件则主要用于在磨削过程中检测硅棒的尺寸数据及反馈尺寸信息，以便磨床的控制部能够根据反馈的尺寸信息计算出粗 /精磨砂轮的运行参数。
72.3)进给滑台机构6，其包括能够沿硅棒的进给方向往复移动的进给滑台(因此能够将硅料送到磨削区域)以及驱动滑台移动的移动驱动机构751。
73.4)夹紧机构7，其设置于进给滑台上并主要用于在进给/磨削过程夹持棒。
74.需要说明的是，为了更好地说明本实用新型，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节，本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本实用新型同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的磨床的上下料机构、磨削机构以及进给滑台机构的具体原理等未作详细描述，以便于凸显本实用新型的主旨。
75.在一种可能的实施方式中，夹紧机构7主要包括：
76.41)头架71，其作为固定端，固定设置于进给滑台的滑台体壳上，头架上固定设置有能够与硅棒的左侧端面直接接触的浮动夹头72(定夹头)。
77.42)尾架73，其作为活动端，设置于进给滑台的进给滑板上，尾架上固定设置有能够与硅棒的右侧端面直接接触的缓冲夹头74(动夹头)。同时，尾架配置有移动驱动机构751，移动驱动机构设置于进给滑台，可以通过驱动机构带动尾架沿进给滑板滑动，从而使尾架沿靠近/远离头架的方向(纵向进给方向)移动，从而将硅棒沿纵向进给方向夹持。
78.43)旋转驱动机构，如头架配置对应于浮动夹头的浮动夹头旋转电机752，尾架配置对应于缓冲夹头的缓冲夹头旋转电机753，通过使两个电机同步转动，便可带动棒料转动到待加工的位置，同时保证棒料始终处于夹紧状态。
79.需要说明的是，定夹头和动夹头只是构成夹紧机构的其中一种方式，如也可以将两个夹头均设置为动夹头等。
80.主要参照图3和图4，在一种可能的实施方式中，浮动夹头72主要包括固定部分721和浮动部分722，固定部分和浮动部分之间设置有调整部分，调整部分主要用于允许浮动部分相对固定部分产生一定的浮动量，从而在浮动夹头和缓冲夹头将硅棒夹紧的情形下，使得浮动夹头可以承受一定角度的摆动，从而补偿如由于硅棒的端面不平而对夹紧状态产生的影响。
81.在一种可能的实施方式中，调整部分包括膜片723和支撑球724，其中，固定部分与头架以可拆卸的方式相连接，固定部分721和活动部分722通过膜片723相连。如在本示例中，调整部分还包括球座725，支撑球为为自由容纳于球座内的钢球。这样一来，伴随着膜片的形变，便允许浮动部分相对固定部分产生一定的浮动量。并且通过支撑球在球座内的活动能够更好地引导浮动量的产生。
82.在一种可能的实施方式中，浮动部分远离固定部分的一侧设置有多个浮动夹头顶块726，这样一来，在硅棒在被浮动夹头和缓冲夹头夹持好的状态下，硅棒靠近浮动夹头的端部便会与多个浮动夹头顶块小面接触。如浮动夹头顶块的个数通常为三个及以上。
83.在一种可能的实施方式中，在浮动夹头顶块的表面开设有多个沿其轴线分布的孔
7261。这样一来，在将硅棒夹置于浮动夹头和缓冲夹头之间的情形下，由于提高了对应于浮动夹头的接触面上的摩擦系数，因此增加了硅棒和浮动夹头顶块之间的摩擦力，从而保证了夹持的可靠性。
84.在一种可能的实施方式中，膜片723与固定部分721 以及活动部分722的连接方式为：膜片上设置有两组方向相反的螺钉727(如分别记作第一组螺钉和第二组螺钉)，分别用于将膜片固定至固定部分721和活动部分722上。如在本示例中，膜片大致为六边形的环状结构，对应于六边形的每个顶点处设置有一个螺钉，对应于夹头(内、外)壳体的螺钉间隔设置，即：第一组螺钉和第二组螺钉均包括三个螺钉。以其中的一组螺钉为例，螺钉的螺柱部分与活动部分固定连接，而螺钉的螺帽部分则自由容纳于开设在固定部分上的相应位置的槽内。这样一来，在膜片发生形变的情形下，螺钉的螺柱部分能够保持膜片与活动部分之间的连接关系，螺钉的螺帽部分能够在安装槽内发生与形变相适配的活动。
85.显然，本领域技术人员可以根据实际需求对膜片的结构、两组螺钉的分布形式以及连接膜片和固定/活动部分的方式进行灵活的选择。
86.主要参照图5和图6，在一种可能的实施方式中，缓冲夹头74主要包括主体部分和缓冲部分，其中，主体部分包括设置于尾架上的夹紧盘741以及设置于夹紧盘上的夹头压板742，主体部分上形成有对应于缓冲部分的安装空间743，在本示例中，缓冲部分包括条状头744以及弹簧745，其中，弹簧以及条状头的至少一部分能够容纳于安装空间内。这样一来，在浮动夹头和缓冲夹头夹硅棒的情形下，缓冲部分的条状头可以借助于弹簧的弹性形变吸收一部分的冲击势能，同时也可以基于弹簧的弹性形变补偿由于棒料对应于缓冲夹头的端面不平而对夹紧状态产生的影响。
87.如在本示例中，缓冲部分包括五组，这样一来，在硅棒对应于缓冲夹头的端部不平整的情形下，五组缓冲部分的条状头借助于对应于各组缓冲部分的弹簧的弹性形变来补偿硅棒的不同局部之间沿其轴向的高低差，从而保证硅棒的待加工面处于符合磨削要求的平行状态。
88.显然，本领域技术人员可以根据实际需求对条状头/ 弹簧的结构、规格、个数及其在主体部分上的分布形式进行灵活地选择。
89.此外，可以与前述的浮动夹头顶块类似，在条状头靠近硅棒的端部表面也开设有多个孔以提高夹持的可靠性。在设置有孔的情形下，可以理解为条状头与缓冲夹头顶块为一体成型的情形，显然，也可以与前述的浮动夹头类似，将二者设置为固定连接的方式。
90.显然，可以将浮动夹头和缓冲夹头结构形式调换、二者均采用其中的一种(如均为浮动夹头)或者两个夹头中的一个为二者中的其中一种而另一个为现有的其他类型的夹头形式。
91.基于上述结构，磨床的工作过程大致为：通过浮动夹头和缓冲夹头之间的配合将硅棒夹紧之后，进给滑台机构将硅棒运送到对应于磨削机构的磨削区域，通过使硅棒旋转的方式便可对硅棒的不同的磨削面(每次磨削一对磨削面)进行磨削。完成磨削后，使尾架及其设置于其上的缓冲夹头相对浮动夹头移动从而松开硅棒，之后将硅棒落至上下料机构中的平台，完成下料。磨削前，磨削机构中的磨削检测组件会对硅棒进行检测。示例性地，磨床配置有三个检测点，如分别为定夹头端检测点、中部检测点和动夹头端检测点。硅棒来到对应于第一个检测点(动夹头端检测点)的位置后停止运动，如磨削检测组件的气缸伸出推
动探针运动，此时探针的位置会超前于粗磨砂轮。然后，粗磨砂轮和磨削检测组件在粗磨电机的驱动下继续运动，直到探针与硅棒接触并完成检测(打点未磨削)。伴随着硅棒沿夹头轴线方向的运动，探针如可以依次对硅棒的入刀口位置、沿棒长的中间位置以及硅棒的出刀口位置进行检测。根据检测组件的检测结果确定出是否对硅棒进行磨削加工。具体而言，若硅棒的最大磨削尺寸小于磨削后的标准尺寸，则判定棒料尺寸不合格，无法磨削，如此时需要退棒，即将硅棒退回下料平台，之后进行不同程度的人工介入。在硅棒合格但是硅棒轴线与夹头轴线之间的夹角需要调节的情形下，则根据探针对硅棒的三个位置的测量测得的夹头轴线和硅棒轴线之间的角度差，基于上述具有偏心结构的动夹头对这一角度差进行调节，从而减少或者消除这种角度差直至达到磨削精度。此时，便可对一对当前磨削面进行磨削作业。
92.特别地，在本实用新型中，磨床配置有多种浮动夹头和缓冲夹头，具体地，多个浮动夹头中的任一个能够以可移除的方式安装至头架，多个缓冲夹头中的任一个能够以可移除的方式安装至尾架。这样一来，便可根据实际需求选择合适的浮动夹头和/或缓冲夹头来构造出用于夹紧当前的待加工的硅棒的夹紧机构。
93.结合本实施例，通过对浮动夹头和/或缓冲夹头进行更换，有望在同一台磨床上实现规格为半棒和整棒的硅棒的磨削作业。
94.主要参照图2和图3，在一种可能的实施方式中，在头架/尾架上能够更换不同规格的浮动/缓冲夹头所借助的结构为：在浮动夹头的固定部分远离浮动部分的一侧设置有浮动夹头安装部分728，在浮动夹头安装部分上设置有多个安装孔7281，相应地，在头架的相应位置也设置有安装位，这样一来，便可借助于螺接件与一对安装孔的配合来实现不同规格的浮动夹头的更换。在缓冲夹头的主体部分远离缓冲部分的一侧设置有缓冲夹头安装部分746，在缓冲夹头安装部分上也设置有多个安装孔(未示出)，相应地，在尾架的相应位置也设置有安装位，这样一来，便可借助于螺接件与一对安装孔的配合来实现不同规格的缓冲夹头的更换。
95.显然，采用螺接的方式实现夹头的更换只是一种示例性的描述，在能够保证夹头得以更换的前提下，本领域技术人员可以根据实际需求选择其他合适的方式。
96.不过，由于整棒的横截面较大故而与其相适配的夹紧机构的夹头的径向尺寸也较大，假设使用对应于整棒的夹紧机构来夹持横截面较小的半棒，便会存在浮动夹头和缓冲夹头与粗/精磨砂轮发生干涉的问题。
97.主要参照图7至图9，可以看出，对应于粗磨砂轮的粗磨作业吃刀量大，因此需要戗刀磨削。即按照图示的粗磨步骤1、2、3(三个步骤的序号仅表示粗磨砂轮到达硅棒的相应位置的先后顺序)完成粗磨作业。可以看出，在粗磨开始前，需要让开约一个粗磨砂轮尺寸的避让空间，粗磨结束后，需要让开约半个粗磨砂轮的避让空间。
98.主要参照图10至图12，可以看出，对应于精磨砂轮的精磨作业要求硅棒表面具有较高的光洁度，因此需要顺刀磨削，即按照图示的精磨步骤1、2、3(三个步骤的序号仅表示精磨砂轮到达硅棒的相应位置的先后顺序)完成粗磨作业。可以看出，在精磨开始前，需要让开约半个精磨砂轮尺寸的避让空间，精磨结束后，需要让开约一个精磨砂轮尺寸的避让空间。
99.这样一来，只需在左侧让开约半个粗/精磨砂轮(若尺寸不同，选大)尺寸的避让空
间、右侧让开约一个粗/精磨砂轮 (若尺寸不同，选大)尺寸的避让空间，便可保证无论是对半棒进行粗磨作业还是精磨作业，均可保证夹头能够避让砂轮的位置，即夹头不会撞到砂轮因此能够保证磨削作业的顺利进行。
100.为了达到这一目的，在一种可能的实施方式中，本实用新型采用的手段是将浮动夹头和缓冲夹头的径向尺寸减小的同时将其轴向尺寸拉长。具体而言，由于径向尺寸的减小，便可使得夹头靠近硅棒的端部不与粗/精磨砂轮干涉且与硅棒的横截面尺寸具有更好的夹持适配性。通过轴向尺寸的拉长，可构造出前述的避让空间。具体而言，由头架/尾架的端面与浮动夹头/缓冲夹头的壁面构造出允许粗/精磨砂轮无干涉地作业的避让空间。
101.在一种可能的实施方式中，在对浮动夹头的整体径向尺寸进行了均一性的缩减的前提下，主要对固定部分进行加长处理而活动部分的长度大致保持不变。
102.在一种可能的实施方式中，在对缓冲夹头的整体径向尺寸进行了均一性的缩减的前提下，主要对主体部分进行加长处理而缓冲部分的长度大致保持不变。
103.可以理解的是，上述避让空间的构造方式只是一种示例性的描述，本领域技术人员可以根据实际需求选择其他的构造方式。以浮动夹头为例，如可以是：对固定部分和浮动部分均进行加长处理，且对二者的加长处理的比例可以相同或者不同；在固定部分和头架之间额外增加一个具有符合避让空间的构造要求的连接部分，然后将径向尺寸缩减的固定部分连接至连接部分；对浮动部分、固定部分、连接部分中的多个进行缩径处理；缩径处理可以采用均一或者不均一的方式；等。
104.可以看出，在本实用新型的磨床中，通过为磨床配置多种规格的浮动夹头和缓冲夹头，有望通过仅更换夹头的方式便可实现对不同规格的硅棒的磨削作业。操作灵活且对磨床的改动较小因此带来的成本增加可以接受。此外，通过避让空间的构造，在保证粗/精磨砂轮能够无干涉地对不同规格的硅棒进行相应的粗/精磨作业，保证了磨床的可靠性。
105.至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本实用新型的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本实用新型的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本实用新型的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本实用新型的保护范围之内。