一种氧化铌靶材的制备装置的制作方法

本技术涉及靶材制备，特别涉及一种氧化铌靶材的制备装置。

背景技术：

1、氧化铌靶材的制备过程中通常需要进行打磨以确保靶材表面的光滑程度，现有的打磨操作中往往使用夹具从靶材的侧面进行夹持，夹持部位难以进行打磨，需要人工转动靶材更换夹持部位再次打磨，降低了打磨操作的工作效率。因此，发明一种氧化铌靶材的制备装置来解决上述问题很有必要。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种氧化铌靶材的制备装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种氧化铌靶材的制备装置，包括操作台，所述操作台呈回字形，所述操作台的中部设置有打磨台，所述打磨台的四角处均固定连接有支撑板，所述支撑板远离打磨台的一端固定连接在操作台上，所述操作台一侧的中部固定连接有抽气泵，所述抽气泵的进气口连通有软管，所述软管贯穿操作台的侧壁并伸入打磨台的内部，所述打磨台的上端设置有多组固定组件，所述固定组件包括导管和吸盘，所述导管的一端在打磨台内部与软管连通，所述导管的另一端与吸盘连通。

3、优选的，所述导管的中部设置有控制组件，所述控制组件包括控制球、连轴、螺纹杆和旋杆，所述控制球呈半球状，所述控制球的一端固定连接在连轴上，所述控制球的另一端固定连接在螺纹杆上，所述连轴远离控制球的一端转动连接在导管的内壁上，所述导管的侧壁开设有与螺纹杆吻合的螺纹孔，所述螺纹杆螺纹连接在螺纹孔内，所述螺纹杆远离控制球的一端固定连接有旋杆。

4、优选的，所述打磨台的上方设置有打磨组件，所述打磨组件包括吊架、第二电机、转轴和打磨盘，所述第二电机固定连接在吊架的上表面，所述第二电机的驱动轴贯穿吊架并固定连接在转轴的顶部，所述打磨盘固定连接在转轴的底部上，所述吊架远离第二电机的一端固定连接有t型块。

5、优选的，所述操作台靠近t型块的一侧设置有驱动打磨组件往复移动的驱动结构，所述驱动结构包括第一电机、丝杠、滑块和立板，所述第一电机固定安装在操作台的侧壁上，所述丝杠固定连接在第一电机的驱动轴上，所述丝杠沿着操作台的长度方向延伸至操作台的内壁上，所述立板固定连接在滑块的上表面，所述滑块上设置有与丝杠配合的螺纹孔，所述滑块呈l型，所述操作台靠近丝杠一侧的上表面开设有滑动槽，所述滑块朝向滑动槽一面固定连接有凸块，所述凸块滑动连接在滑动槽内。

6、优选的，所述立板朝向第二电机一面的上端开设有t型槽，所述t型块滑动连接在t型槽内，所述吊架的下表面固定连接有气缸，所述气缸的底部固定连接在滑块的上表面。

7、优选的，所述吊架的中部设置有进水管，所述进水管的底部连通有横向水管，所述横向水管的底部连通有三组连通管，所述连通管的底部连通有喷嘴。

8、优选的，所述连通管朝向固定组件倾斜。

9、优选的，所述操作台的底部固定连接有导向盒，所述导向盒底部的两侧均开设有滑道，所述滑道的内部滑动连接有固定块，两个固定块的底部固定连接有过滤盒。

10、优选的，所述操作台的顶部固定连接有多组挡板，所述操作台下表面的四角处固定连接有支撑柱。

11、本实用新型的技术效果和优点：

12、1、将氧化铌靶材放置在吸盘上后，启动抽气泵抽气工作，通过软管、导管和吸盘向下吸住氧化铌靶材，从而从顶部对氧化铌靶材上方全部表面进行打磨，保持氧化铌靶材的稳定性，无需夹持，避免出现夹痕。旋转导管中部的旋杆，可单独控制每一个吸盘的工作状态，提高了固定组件操作的灵活性；

13、2、第一电机的转动带动丝杠的转动，螺纹连接在丝杠上的滑块带着打磨组件在氧化铌靶材的顶部来回打磨，尽量提高打磨的效果；

14、3、操作台顶部的挡板可防止打磨的碎屑以及冲洗的水四溅，同时，再由底部过滤盒过滤固体碎屑，提高资源的重复利用率。

技术特征：

1.一种氧化铌靶材的制备装置，包括操作台(1)，其特征在于：所述操作台(1)呈回字形，所述操作台(1)的中部设置有打磨台(2)，所述打磨台(2)的四角处均固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)远离打磨台(2)的一端固定连接在操作台(1)上，所述操作台(1)一侧的中部固定连接有抽气泵(5)，所述抽气泵(5)的进气口连通有软管(4)，所述软管(4)贯穿操作台(1)的侧壁并伸入打磨台(2)的内部，所述打磨台(2)的上端设置有多组固定组件，所述固定组件包括导管(6)和吸盘(7)，所述导管(6)的一端在打磨台(2)内部与软管(4)连通，所述导管(6)的另一端与吸盘(7)连通。

2.根据权利要求1所述的一种氧化铌靶材的制备装置，其特征在于：所述导管(6)的中部设置有控制组件，所述控制组件包括控制球(25)、连轴(26)、螺纹杆(24)和旋杆(23)，所述控制球(25)呈半球状，所述控制球(25)的一端固定连接在连轴(26)上，所述控制球(25)的另一端固定连接在螺纹杆(24)上，所述连轴(26)远离控制球(25)的一端转动连接在导管(6)的内壁上，所述导管(6)的侧壁开设有与螺纹杆(24)吻合的螺纹孔，所述螺纹杆(24)螺纹连接在螺纹孔内，所述螺纹杆(24)远离控制球(25)的一端固定连接有旋杆(23)。

3.根据权利要求1所述的一种氧化铌靶材的制备装置，其特征在于：所述打磨台(2)的上方设置有打磨组件，所述打磨组件包括吊架(14)、第二电机(15)、转轴(17)和打磨盘(16)，所述第二电机(15)固定连接在吊架(14)的上表面，所述第二电机(15)的驱动轴贯穿吊架(14)并固定连接在转轴(17)的顶部，所述打磨盘(16)固定连接在转轴(17)的底部上，所述吊架(14)远离第二电机(15)的一端固定连接有t型块。

4.根据权利要求3所述的一种氧化铌靶材的制备装置，其特征在于：所述操作台(1)靠近t型块的一侧设置有驱动打磨组件往复移动的驱动结构，所述驱动结构包括第一电机(8)、丝杠(9)、滑块(10)和立板(12)，所述第一电机(8)固定安装在操作台(1)的侧壁上，所述丝杠(9)固定连接在第一电机(8)的驱动轴上，所述丝杠(9)沿着操作台(1)的长度方向延伸至操作台(1)的内壁上，所述立板(12)固定连接在滑块(10)的上表面，所述滑块(10)上设置有与丝杠(9)配合的螺纹孔，所述滑块(10)呈l型，所述操作台(1)靠近丝杠(9)一侧的上表面开设有滑动槽(11)，所述滑块(10)朝向滑动槽(11)一面固定连接有凸块，所述凸块滑动连接在滑动槽(11)内。

5.根据权利要求4所述的一种氧化铌靶材的制备装置，其特征在于：所述立板(12)朝向第二电机(15)一面的上端开设有t型槽(27)，所述t型块滑动连接在t型槽(27)内，所述吊架(14)的下表面固定连接有气缸(13)，所述气缸(13)的底部固定连接在滑块(10)的上表面。

6.根据权利要求5所述的一种氧化铌靶材的制备装置，其特征在于：所述吊架(14)的中部设置有进水管(29)，所述进水管(29)的底部连通有横向水管(18)，所述横向水管(18)的底部连通有三组连通管(21)，所述连通管(21)的底部连通有喷嘴(22)。

7.根据权利要求6所述的一种氧化铌靶材的制备装置，其特征在于：所述连通管(21)朝向固定组件倾斜。

8.根据权利要求7所述的一种氧化铌靶材的制备装置，其特征在于：所述操作台(1)的底部固定连接有导向盒(19)，所述导向盒(19)底部的两侧均开设有滑道，所述滑道的内部滑动连接有固定块(28)，两个固定块(28)的底部固定连接有过滤盒(20)。

9.根据权利要求8所述的一种氧化铌靶材的制备装置，其特征在于：所述操作台(1)的顶部固定连接有多组挡板，所述操作台(1)下表面的四角处固定连接有支撑柱。

技术总结
本技术公开了一种氧化铌靶材的制备装置，涉及到靶材制备技术领域，包括操作台，所述操作台的中部设置有打磨台，所述打磨台的四角处均固定连接有支撑板，所述支撑板远离打磨台的一端固定连接在操作台上，所述操作台一侧的中部固定连接有抽气泵，所述抽气泵的进气口连通有软管，所述软管贯穿操作台的侧壁并伸入打磨台的内部，所述固定组件包括导管和吸盘，所述导管的一端在打磨台内部与软管连通，所述导管的另一端与吸盘连通。该氧化铌靶材的制备装置，将氧化铌靶材放置在吸盘上后，启动抽气泵抽气工作，通过软管、导管和吸盘向下吸住氧化铌靶材，从而从顶部对氧化铌靶材进行打磨，保持氧化铌靶材的稳定性，无需夹持，避免出现夹痕。

技术研发人员：张炜
受保护的技术使用者：扬州三和化工有限公司
技术研发日：20221025
技术公布日：2024/1/12