一种旋转阴极供气系统管路的制作方法

1.本实用新型涉及旋转阴极配套设备技术领域，特别涉及一种旋转阴极供气系统管路。


背景技术：

2.真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式；即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上。
3.在磁控溅射镀膜工艺中，旋转阴极的供气装置的优劣尤为重要，但目前的供气装置如专利号为201420253843.8公开的专利，均是采用分开供气的形式进行阴极平台内部的供气，在每一个管路座只能分流一种气体，但磁控溅射镀膜工艺中通常需要导入多种工艺气体，导致单一分路的管路座难以满足使用需求。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种旋转阴极供气系统管路，以解决现有的管路座只能分流一种气体，导致磁控溅射镀膜工艺中的多种工艺气体难以同是导入，无法满足使用需求的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种旋转阴极供气系统管路，包括管路座，
6.所述管路座的其中一面上开设有一个主气口和多个辅气口；
7.所述主气口依次连接主一级分气路、主二级分气路、主三级分气路和主四级分气路；
8.每个所述辅气口依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；
9.所述管路座的另一面上间隔开设有多个缓冲室，所述主四级分气路以及辅三级分气路端部均贯穿所述管路座与对应的所述缓冲室连通。
10.优选的，所述主一级分气路、主二级分气路和主四级分气路均为一分为二气路结构。
11.优选的，所述主三级分气路为一分为三气路结构，所述主气口的气流经主一级分气路、主二级分气路、主三级分气路和主四级分气路分流后形成24条分气流。
12.优选的，所述辅气口开设有五个，分别为第一辅气口、第二辅气口、第三辅气口、第四辅气口和第五辅气口；其中第二辅气口以及第三辅气口和第四辅气口以及第五辅气口对称分布于第一辅气口两侧。
13.优选的，所述第一辅气口的辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路均为一分为二气路结构，使得所述第一辅气口的气流经辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路分流后形成8条分气流；
14.而第二辅气口、第三辅气口、第四辅气口和第五辅气口的辅一级分气路为单一气
路，辅二级分气路和辅三级分气路为一分为二气路结构，使得所述第二辅气口、第三辅气口、第四辅气口和第五辅气口的气流辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路分流后形成16条分气流。
15.优选的，所述管路座上间隔设置有多个缓冲块，所述缓冲室为腰型，开设于所述缓冲块上。
16.优选的，所述主四级分气路以及辅三级分气路端部分别贯穿腰型缓冲室两端。
17.优选的，所述缓冲块的中间位置开设有混合气体分路，所述混合气体分路与缓冲室连通，用于导出缓冲室内混合均匀的气体。
18.优选的，所述混合气体分路从缓冲室中间向两侧延伸。
19.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
20.1.该旋转阴极供气系统管路通过多个均匀间隔分布的缓冲室将工作气体均匀地导入真空室的各个部分，从而实现工作气体的均匀分布和均匀控制；
21.2.该旋转阴极供气系统管路在同一块管路座上同时开设主气气路和辅气气路，能够将工作气体和工艺气体预先分流后在缓冲室内均匀混合，进一步提高混合效率和混合均匀度。
附图说明
22.图1是本实用新型提供的一种旋转阴极供气系统管路气路座第一视角的结构示意图；
23.图2是本实用新型提供的一种旋转阴极供气系统管路气路座第二视角的结构示意图；
24.图3是本实用新型提供的一种旋转阴极供气系统管路气路座的正视图；
25.图4是本实用新型提供的一种旋转阴极供气系统管路气路座正面的局部示意图；
26.图5是本实用新型提供的一种旋转阴极供气系统管路气路座的后视图；
27.图6是本实用新型提供的一种旋转阴极供气系统管路气路座a处的局部放大图；
28.图7是本实用新型提供的一种旋转阴极供气系统管路气路座反面的局部示意图。
29.图中：1、管路座；2、主气口；3、辅气口；4、缓冲室；5、缓冲块；6、混合气体分路。
具体实施方式
30.以下结合附图和具体实施例对本实用新型作出的进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
31.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、
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底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非
另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
32.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例
33.本实用新型提供了一种旋转阴极供气系统管路，请参阅图1和图2，包括管路座1，所述管路座1的其中一面上开设有一个主气口2和多个辅气口3；所述主气口2依次连接主一级分气路、主二级分气路、主三级分气路和主四级分气路；每个所述辅气口3依次连接辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路；所述管路座1的另一面上间隔开设有多个缓冲室4，所述主四级分气路以及辅三级分气路端部均贯穿所述管路座1与对应的所述缓冲室4连通。
34.所述主一级分气路、主二级分气路和主四级分气路均为一分为二气路结构，其中，所述主三级分气路为一分为三气路结构，所述主气口2的气流经主一级分气路、主二级分气路、主三级分气路和主四级分气路分流后形成24条分气流。
35.具体的，请参阅图3和图4，所述辅气口3开设有五个，分别为第一辅气口、第二辅气口、第三辅气口、第四辅气口和第五辅气口；其中第二辅气口以及第三辅气口和第四辅气口以及第五辅气口对称分布于第一辅气口两侧。
36.其中，所述第一辅气口的辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路均为一分为二气路结构，使得所述第一辅气口的气流经辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路分流后形成8条分气流；而第二辅气口、第三辅气口、第四辅气口和第五辅气口的辅一级分气路为单一气路，辅二级分气路和辅三级分气路为一分为二气路结构，使得所述第二辅气口、第三辅气口、第四辅气口和第五辅气口的气流辅一级分气路、辅二级分气路和辅三级分气路分流后形成16条分气流。总共形成与主气口相同数量（24条）分气流。
37.具体的，请参阅图5-7，所述管路座1上间隔设置有多个缓冲块5，所述缓冲室4为腰型，开设于所述缓冲块5上。
38.在一些实施例中，所述缓冲块5凸出所述管路座1表面，且所述缓冲块5的数量也为24个，从而形成24个缓冲室4与主气口2和辅气口3分流的24条气流一一对应。
39.进一步的，所述主四级分气路以及辅三级分气路端部分别贯穿腰型缓冲室4两端，所述缓冲块5的中间位置开设有混合气体分路6，所述混合气体分路6与缓冲室4连通，用于导出缓冲室4内混合均匀的气体。
40.在一些实施例中，所述混合气体分路6从缓冲室4中间向两侧延伸，混合后的气体能够从混合气体分路6快速进入真空室。
41.该旋转阴极供气系统管路通过多个均匀间隔分布的缓冲室将工作气体均匀地导入真空室的各个部分，从而实现工作气体的均匀分布和均匀控制；并且同一块管路座上同时开设主气气路和辅气气路，能够将工作气体和工艺气体预先分流后在缓冲室内均匀混合，进一步提高混合效率和混合均匀度。
42.上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。