一种晶片减薄装置的制作方法

文档序号:34401386发布日期:2023-06-08 14:28阅读:28来源:国知局
一种晶片减薄装置的制作方法

本技术涉及晶片,具体为一种晶片减薄装置。


背景技术:

1、晶片是led最主要的原物料之一,是led的发光部件,led最核心的部分,晶片的好坏将直接决定led的性能,晶片是由ⅲ和ⅴ族复合半导体物质构成,在led封装时,晶片来料呈整齐排列在晶片膜上,通过特别的工艺进行晶圆减薄后,就可以在一定程度上大幅提高电气的性能。

2、晶片一般需要减薄装置对晶片进行减薄处理,常见的晶片减薄装置是通过旋转的金刚砂轮对晶片背面进行磨削,而旋转的金刚砂轮与晶片接触时,金刚砂轮与晶片之间的摩擦会产生热量,这些热量会集中于金刚砂轮与晶片之间,磨削时间较长时,容易对晶片造成损坏。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种晶片减薄装置,具备减薄过程中能够快速散热的优点,解决了金刚砂轮与晶片之间的摩擦会产生热量,这些热量会集中于金刚砂轮与晶片之间,磨削时间较长时,容易对晶片造成损坏的问题。

2、为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种晶片减薄装置,包括工作台,所述工作台的上表面固定连接有龙门架,工作台的上方放置有横梁,龙门架的上部和横梁的内部均开设有t形滑槽,两个t形滑槽的内部均滑动连接有t形滑块,位于上方的t形滑块与横梁的上表面固定连接,横梁的下方放置有固定板,位于下方的t形滑块与固定板固定连接,固定板的底面安装有电推杆,电推杆的输出端固定连接有固定架,固定架的内顶壁固定连接有电机,电机的输出端固定连接有转动柱,转动柱的外表面固定套接有两个相对称的转盘,位于上方的转盘与固定架的底面转动连接,转动柱的底端固定连接有金刚砂轮,金刚砂轮设置为粗糙的底面,金刚砂轮的上表面固定连接有两个相对称的固定筒,两个固定筒均与位于下方的转盘固定镶嵌,位于上方的转盘的上表面固定镶嵌有上下贯穿的冷水桶,冷水桶的上端安装有可拆卸的桶盖,冷水桶的底端呈漏斗状,位于上方的转盘的底面固定连接有气泵,气泵的喷气端与位于左侧的固定筒固定连通,冷水桶的底端与其相靠近的固定筒固定连通,金刚砂轮的内部开设有两个相对称的空腔,两个固定筒分别与两个空腔连通,金刚砂轮的底面开设有两组相对称的通孔,两组通孔分别与两个空腔连通,两组通孔分别位于金刚砂轮底面的左右侧,位于最右侧的一组通孔的内部均固定连接有控流网。

3、进一步的,两个所述t形滑块的内部均螺纹连接有丝杆,两个丝杆分别贯穿龙门架和横梁,且两个丝杆分别与龙门架和横梁转动连接,两个丝杆的一端分别与外界的两个动力源连接。

4、通过采用上述技术方案,通过控制两个丝杆的转动,能够调节金刚砂轮的位置,进而便于对晶片全面打磨。

5、进一步的,所述固定板的底面固定连接有四个呈矩阵式排列的插杆,四个插杆均贯穿固定架,且与固定架插接。

6、通过采用上述技术方案,提高了固定架的稳定性,有利于固定架稳定的升降。

7、进一步的,所述固定架的内部开设有呈环形的限位槽,限位槽的内部转动连接有限位环,限位环与位于上方的转盘固定连接。

8、通过采用上述技术方案,提高了转盘的稳定性,有利于转盘稳定的转动。

9、进一步的,所述工作台的内部开设有十字槽,十字槽的内部滑动连接有两个相对称的十字块,两个十字块的上表面均固定连接有限位条,两个限位条相互靠近的一侧面设置为粗糙面,两个十字块之间螺纹连接有螺纹杆,螺纹杆的两端均贯穿工作台,且螺纹杆的两端均与工作台转动连接,螺纹杆的前端与外界的伺服正反转电机连接。

10、通过采用上述技术方案,螺纹杆两端的螺纹方向相反,通过动力源控制螺纹杆转动能够使两个十字块相互靠近,便于两个限位条对晶片进行夹持。

11、进一步的,所述工作台的上表面开设有两个通风孔,两个通风孔对称设置。

12、通过采用上述技术方案,既能够通风散热,又能够排水。

13、与现有技术相比,该晶片减薄装置具备如下有益效果:

14、1.本实用新型通过设置冷水桶,冷水桶内部的冷水能够进入空腔内,从右侧的多个通孔流出,冷水能够将打磨产生的热量进行降温,通过设置气泵,能够将气体输送至左侧的空腔内,从左侧的多个通孔内喷出气体,进一步对晶片进行风冷,提高了散热速率,通过设置两组通孔分别位于金刚砂轮底面的左右侧,金刚砂轮转动时,能够提高冷却范围,从而解决了背景技术中提出的问题。

15、2.本实用新型通过控制两个丝杆转动能够调节金刚砂轮的左右位置和前后位置,通过控制螺纹杆转动能够控制两个限位条相互靠近,对晶片进行夹持,避免打磨时晶片出现偏移的情况,通过设置两个通风孔和十字槽,仅能够排水,又能够通风。



技术特征:

1.一种晶片减薄装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的上表面固定连接有龙门架(2),工作台(1)的上方放置有横梁(3),龙门架(2)的上部和横梁(3)的内部均开设有t形滑槽,两个t形滑槽的内部均滑动连接有t形滑块(4),位于上方的t形滑块(4)与横梁(3)的上表面固定连接,横梁(3)的下方放置有固定板(5),位于下方的t形滑块(4)与固定板(5)固定连接,固定板(5)的底面安装有电推杆(6),电推杆(6)的输出端固定连接有固定架(7),固定架(7)的内顶壁固定连接有电机(8),电机(8)的输出端固定连接有转动柱(9),转动柱(9)的外表面固定套接有两个相对称的转盘(10),位于上方的转盘(10)与固定架(7)的底面转动连接,转动柱(9)的底端固定连接有金刚砂轮(11),金刚砂轮(11)设置为粗糙的底面,金刚砂轮(11)的上表面固定连接有两个相对称的固定筒(12),两个固定筒(12)均与位于下方的转盘(10)固定镶嵌,位于上方的转盘(10)的上表面固定镶嵌有上下贯穿的冷水桶(13),冷水桶(13)的上端安装有可拆卸的桶盖,冷水桶(13)的底端呈漏斗状,位于上方的转盘(10)的底面固定连接有气泵(14),气泵(14)的喷气端与位于左侧的固定筒(12)固定连通,冷水桶(13)的底端与其相靠近的固定筒(12)固定连通,金刚砂轮(11)的内部开设有两个相对称的空腔(15),两个固定筒(12)分别与两个空腔(15)连通,金刚砂轮(11)的底面开设有两组相对称的通孔(16),两组通孔(16)分别与两个空腔(15)连通,两组通孔(16)分别位于金刚砂轮(11)底面的左右侧,位于最右侧的一组通孔(16)的内部均固定连接有控流网(17)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片减薄装置,其特征在于:两个所述t形滑块(4)的内部均螺纹连接有丝杆,两个丝杆分别贯穿龙门架(2)和横梁(3),且两个丝杆分别与龙门架(2)和横梁(3)转动连接,两个丝杆的一端分别与外界的两个动力源连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶片减薄装置,其特征在于:所述固定板(5)的底面固定连接有四个呈矩阵式排列的插杆,四个插杆均贯穿固定架(7),且与固定架(7)插接。

4.根据权利要求1所述的一种晶片减薄装置,其特征在于:所述固定架(7)的内部开设有呈环形的限位槽(18),限位槽(18)的内部转动连接有限位环(19),限位环(19)与位于上方的转盘(10)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶片减薄装置,其特征在于:所述工作台(1)的内部开设有十字槽(20),十字槽(20)的内部滑动连接有两个相对称的十字块(21),两个十字块(21)的上表面均固定连接有限位条(22),两个限位条(22)相互靠近的一侧面设置为粗糙面,两个十字块(21)之间螺纹连接有螺纹杆,螺纹杆的两端均贯穿工作台(1),且螺纹杆的两端均与工作台(1)转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶片减薄装置,其特征在于:所述工作台(1)的上表面开设有两个通风孔(23),两个通风孔(23)对称设置。


技术总结
本技术涉及晶片技术领域,且公开了一种晶片减薄装置,包括工作台,所述工作台的上表面固定连接有龙门架,工作台的上方放置有横梁,龙门架的上部和横梁的内部均开设有T形滑槽,两个T形滑槽的内部均滑动连接有T形滑块,位于上方的T形滑块与横梁的上表面固定连接。该晶片减薄装置,通过设置冷水桶,冷水桶内部的冷水能够进入空腔内,从右侧的多个通孔流出,冷水能够将打磨产生的热量进行降温,通过设置气泵,能够将气体输送至左侧的空腔内,从左侧的多个通孔内喷出气体,进一步对晶片进行风冷,提高了散热速率,通过设置两组通孔分别位于金刚砂轮底面的左右侧,金刚砂轮转动时,能够提高冷却范围。

技术研发人员:郑东,王鑫
受保护的技术使用者:青岛华芯晶电科技有限公司
技术研发日:20221201
技术公布日:2024/1/12
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