一种微波晶片双面抛光设备的制作方法

本技术涉及砷化镓晶片生产，具体为一种微波晶片双面抛光设备。

背景技术：

1、微波晶片是由砷化镓晶片加工而成的，砷化镓晶片在生产时，为了保证更好的蚀刻效果，以及为了便于加工，通常需要在砷化镓晶片表面进行打磨，在砷化镓晶片打磨时，需要将砷化镓晶片放置在抛光设备内，然后加入抛光液，通过抛光液与打磨装置进行旋转打磨，多次打磨后形成表面平整的砷化镓晶片。

2、传统的砷化镓晶片抛光设备在使用时，通常直接将砷化镓晶片放置在抛光设备内，在加入不同配比的抛光液之后进行打磨，打磨前通常直接将砷化镓晶片放置在抛光垫上，然后通过底座进行定位，此时底座通过卡扣直接对砷化镓晶片进行卡合，然后在进行抛光，抛光完成后将卡口取出，然后将砷化镓晶片取出，不方便对砷化镓晶片进行定位和取出，因此，针对上述问题提出一种微波晶片双面抛光设备。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种微波晶片双面抛光设备，以解决抛光完成的砷化镓晶片不容易取出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种微波晶片双面抛光设备，包括底座，所述底座内设有抛光垫，所述底座外侧上方设有顶盖，所述顶盖内设有固定柱，所述固定柱外侧下方固定连接有固定板，所述固定板内螺旋连接有螺丝，所述螺丝设置在顶盖内，所述固定柱底部固定连接有旋转装置，所述旋转装置底部固定连接有呈均匀分布的第一打磨装置，所述顶盖内顶部固定连接有呈均匀分布的定位杆，所述定位杆外侧设有固定环，所述固定环底部固定连接有呈均匀分布的连接杆，所述连接杆底部固定连接有定位板，所述定位板底部固定连接有缓冲板，所述定位杆底端固定连接有限位块，所述限位块顶部固定连接有弹簧，所述弹簧顶端与固定环固定连接。

4、优选的，所述旋转装置底部固定连接有第二打磨装置，所述第二打磨装置设置在第一打磨装置的一侧。

5、优选的，所述第一打磨装置的个数共有三个，且第一打磨装置在旋转装置底部呈均匀分布。

6、优选的，所述弹簧设置在定位杆外侧，所述定位杆的个数共有六个，且定位杆在旋转装置外侧呈均匀分布。

7、优选的，所述连接杆的个数共有六个，且连接杆设置在定位杆的一侧，且连接杆与定位杆呈一一对应设置。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、本实用新型中，通过设置的底座、顶盖、抛光垫、定位杆、限位块、弹簧、连接杆、定位板和缓冲板，可以方便的对砷化镓晶片进行定位，便于砷化镓晶片安装和取出，方便对砷化镓晶片进行定位，通过设置的旋转装置、第一打磨装置、第二打磨装置、固定板、螺丝，可以对第一磨装置打磨的缝隙进行二次打磨，提高打磨效果，同时方便对旋转装置进行安装和拆卸。

技术特征：

1.一种微波晶片双面抛光设备，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）内设有抛光垫（3），所述底座（1）外侧上方设有顶盖（2），所述顶盖（2）内设有固定柱（14），所述固定柱（14）外侧下方固定连接有固定板（15），所述固定板（15）内螺旋连接有螺丝（16），所述螺丝（16）设置在顶盖（2）内，所述固定柱（14）底部固定连接有旋转装置（4），所述旋转装置（4）底部固定连接有呈均匀分布的第一打磨装置（5），所述顶盖（2）内顶部固定连接有呈均匀分布的定位杆（8），所述定位杆（8）外侧设有固定环（7），所述固定环（7）底部固定连接有呈均匀分布的连接杆（11），所述连接杆（11）底部固定连接有定位板（12），所述定位板（12）底部固定连接有缓冲板（13），所述定位杆（8）底端固定连接有限位块（9），所述限位块（9）顶部固定连接有弹簧（10），所述弹簧（10）顶端与固定环（7）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种微波晶片双面抛光设备，其特征在于：所述旋转装置（4）底部固定连接有第二打磨装置（6），所述第二打磨装置（6）设置在第一打磨装置（5）的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种微波晶片双面抛光设备，其特征在于：所述第一打磨装置（5）的个数共有三个，且第一打磨装置（5）在旋转装置（4）底部呈均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种微波晶片双面抛光设备，其特征在于：所述弹簧（10）设置在定位杆（8）外侧，所述定位杆（8）的个数共有六个，且定位杆（8）在旋转装置（4）外侧呈均匀分布。

5.根据权利要求1所述的一种微波晶片双面抛光设备，其特征在于：所述连接杆（11）的个数共有六个，且连接杆（11）设置在定位杆（8）的一侧，且连接杆（11）与定位杆（8）呈一一对应设置。

技术总结
本技术涉及砷化镓晶片生产技术领域，尤其为一种微波晶片双面抛光设备，包括底座，所述底座内设有抛光垫，所述底座外侧上方设有顶盖，所述顶盖内设有固定柱，所述固定柱外侧下方固定连接有固定板，所述固定板内螺旋连接有螺丝，所述螺丝设置在顶盖内，所述固定柱底部固定连接有旋转装置，所述旋转装置底部固定连接有呈均匀分布的第一打磨装置，所述顶盖内顶部固定连接有呈均匀分布的定位杆，所述固定环底部固定连接有呈均匀分布的连接杆，本技术中，通过设置的底座、顶盖、抛光垫、定位杆、限位块、弹簧、连接杆、定位板和缓冲板，可以方便的对砷化镓晶片进行定位，便于砷化镓晶片安装和取出，方便对砷化镓晶片进行定位。

技术研发人员：许子俊,陈伟,马曾增,兰少东
受保护的技术使用者：江苏中科晶元信息材料有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/13