原子层沉积反应器装置及用于操作原子层沉积反应器装置的方法与流程

本发明涉及一种原子层沉积装置，更具体地涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的原子层沉积装置。本发明还涉及一种用于操作原子层沉积装置的方法，更具体地涉及一种根据权利要求12的前序部分所述的方法。

背景技术：

1、在现有技术的原子层沉积反应器中，真空室用于将工艺与环境隔离。真空室在其前壁中具有装载口，通过所述装载口将衬底或独立反应室装载到真空室内以及从真空室卸载。真空室还包括用于在处理期间关闭真空室的装载口的反应器门。反应器门铰接到真空室的结构上，使得可以通过相对于真空室绕铰链转动反应器门来打开和关闭反应器门。因此，反应器门包括用于手动打开和关闭反应器门的把手。铰接轴线通常是垂直的，使得反应器门绕垂直铰接轴线水平转动。从轮式手推车将衬底或独立反应室装载到真空室。手动将轮式手推车移动到打开的装载口前面，并且手动将衬底或独立反应室从轮式手推车装载到真空室，或从真空室装载到轮式手推车。

2、与现有技术相关的问题之一是，由于真空室需要较厚的室壁，并且反应器门也需要具有较厚的结构。当原子层沉积反应器的尺寸增加时，装载口也会增加。因此，需要更大的反应器门来关闭装载口。随着装载门尺寸的增加，真空室的前壁前面需要更多的空间，因为更大的反应器门具有更大的绕铰接轴线的转动半径。因此，设施中原子层沉积装置所需的占地面积增加。更大的反应器门也具有更大的质量，这就对铰链提出了结构要求。在大型原子层沉积反应器和真空室中，通常使用较大的衬底，特别是较大的独立反应室。当独立反应室装载有衬底时，其重量可以超过1000kg或者甚至更重。因此，不可能使用手动移动到打开的装载口前面的轮式手推车。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种原子层沉积反应器装置及其操作方法，以便克服或至少减轻现有技术的缺点。

2、本发明的目的通过一种原子层沉积反应器装置来实现，所述原子层沉积反应器装置的特征如独立权利要求1所述。本发明的目的还通过一种用于操作原子层沉积反应器装置的方法来实现，所述方法的特征如独立权利要求12所述。

3、本发明的优选实施例在从属权利要求中公开。

4、本发明基于提供一种原子层沉积反应器的想法，所述原子层沉积反应器包括真空室，所述真空室包括设置有装载口的装载壁，反应器门组件具有用于关闭所述真空室的所述装载口的反应器门。

5、根据本发明，所述反应器门组件被设置成在第一门位置与第二门位置之间相对于所述真空室移动所述反应器门，在所述第一门位置，所述反应器门抵靠所述真空室的所述装载壁并且所述反应器门被设置成关闭所述装载口，在所述第二门位置，所述反应器门与所述真空室的所述装载壁间隔开并且相对。所述反应器门组件被设置成在所述第二门位置与第三门位置之间相对于所述真空室移动所述反应器门，在所述第三门位置，所述反应器门位于所述装载口的旁边。

6、所述原子层沉积反应器装置的所述反应器门组件的优点在于，打开所述反应器门不会占用反应器前面的空间。

7、在本发明中，所述第三门位置(在所述第三门位置，所述反应器门位于所述装载口的旁边或侧旁)意味着，当从正面观察装载口或所述装载壁时，所述反应器门与所述装载口相邻。因此，在所述第三门位置，当从前面或从所述装载壁的方向观察时，所述反应器门位于所述装载口的旁边或与所述装载口相邻(垂直于所述装载壁)。因此，在所述第三门位置，所述反应器门不在所述装载口的前面或对面。

8、在一个实施例中，所述装载口包括沿所述装载口的方向延伸的开口中心轴线，所述反应器门组件被设置成在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门，在所述第二门位置，所述反应器门在所述开口中心线的方向上与所述装载口间隔开，并且所述反应器门组件被设置成在所述第二门位置与所述第三门位置之间移动所述反应器门，在所述第三门位置，所述反应器门在相对于所述开口中心线的横向方向上位于所述装载口的侧旁。

9、反应器门组件的优点在于，所述反应器门首先沿远离所述装载口的方向移动，然后在侧向从所述装载口的前面移开。因此，当所述反应器门打开和关闭时，所述装载口的前面只需要少量空间。

10、在一个实施例中，所述反应器门组件被设置成以第一线性移动在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门，并且所述反应器门组件被设置成以横向于所述第一线性移动的第二线性移动在所述第二门位置与所述第三门位置之间移动所述反应器门。

11、在另一实施例中，所述反应器门组件被设置成以第一线性移动在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门，并且所述反应器门组件被设置成以横向于所述第一线性移动的第二旋转移动在所述第二门位置与所述第三门位置之间移动所述反应器门。

12、在再一替代实施例中，所述反应器门组件被设置成以第一旋转移动在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门，并且所述反应器门组件被设置成以第二线性移动在所述第二门位置与所述第三门位置之间移动所述反应器门。

13、在再一其他实施例中，所述反应器门组件被设置成以第一旋转移动在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门，并且所述反应器门组件被设置成以第二旋转移动在所述第二门位置与所述第三门位置之间移动所述反应器门。

14、所述反应器门的所述第一和第二移动的组合使得能够高效地打开和关闭所述装载门，使得在所述装载壁和所述装载口的前面只需要少量空间。

15、在一个实施例中，所述反应器门组件包括门支撑结构，所述反应器门支撑到所述门支撑结构，并且所述门支撑结构被设置成相对于所述真空室固定，所述反应器门被设置成可移动到所述门支撑结构，并且所述反应器门组件被设置成在所述门支撑结构中在所述第一门位置与第二门位置之间以及在所述第二门位置与第三门位置之间移动所述反应器门。

16、在替代实施例中，所述反应器门组件包括门支撑结构，所述反应器门支撑到所述门支撑结构，并且所述门支撑结构被设置成相对于所述真空室可移动，所述反应器门被设置成相对于所述门支撑结构固定，并且所述反应器门组件被设置成相对于所述真空室移动所述门支撑结构，使得所述反应器门在所述第一门位置与第二门位置之间以及在所述第二门位置与第三门位置之间移动。

17、在再一替代实施例中，所述反应器门组件包括门支撑结构，所述反应器门支撑到所述门支撑结构，并且所述门支撑结构被设置成相对于所述真空室可移动，所述反应器门被设置成可移动到所述门支撑结构，所述反应器门组件被设置成相对于所述真空室移动所述门支撑结构，使得所述反应器门在所述第一门位置与第二门位置之间移动，所述反应器门组件被设置成在所述门支撑结构中在所述第二门位置与第三门位置之间移动所述反应器门。

18、在再一其他实施例中，所述反应器门组件包括门支撑结构，所述反应器门支撑到所述门支撑结构，并且所述门支撑结构被设置成相对于所述真空室可移动，所述反应器门被设置成可移动到所述门支撑结构，所述反应器门组件被设置成在所述门支撑结构中在所述第一门位置与第二门位置之间移动所述反应器门，并且所述反应器门组件被设置成相对于所述真空室移动所述门支撑结构，使得所述反应器门在所述第二门位置与第三门位置之间移动。

19、所述门支撑结构使得简单的结构和力学能够移动所述反应器门，而无需对所述真空室进行额外和复杂的改动。

20、在一个实施例中，所述反应器门组件包括支撑结构移动机构，所述支撑结构移动机构被设置成相对于所述真空室朝向和远离所述真空室的所述装载壁移动所述门支撑结构，以便在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门。

21、相对于所述真空室朝向和远离所述真空室的所述装载壁移动所述门支撑结构使得能够抵靠所述装载门移动所述反应器门以关闭所述装载口，并且能够在不移动所述支撑结构中的所述装载门的情况下移动与所述装载壁间隔开并且相对的所述反应器门。

22、在一个实施例中，所述支撑结构移动机构被设置成在第一支撑结构位置与第二支撑结构位置之间相对于所述真空室朝向和远离所述真空室的所述装载壁移动所述门支撑结构，以便在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门。

23、在替代实施例中，所述支撑结构移动机构设置有水平枢转轴线，所述支撑结构移动机构被设置成使所述门支撑结构在第一支撑结构位置与第二支撑结构位置之间相对于所述真空室绕所述水平枢转轴线朝向和远离所述真空室的所述装载壁倾侧，以便在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门。

24、在再一实施例中，所述支撑结构移动机构设置有垂直枢转轴线，所述支撑结构移动机构被设置成在第一支撑结构位置与第二支撑结构位置之间相对于所述真空室绕所述垂直枢转轴线朝向和远离所述真空室的所述装载壁转动所述门支撑结构，以便在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门。

25、通过在所述第一支撑结构位置与所述第二支撑结构位置之间移动所述门支撑结构，在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门。

26、在一个实施例中，所述门支撑结构包括一个或多个垂直支撑元件以及一个或多个下支撑元件，所述一个或多个垂直支撑元件通过一个或多个水平枢转轴线可枢转地连接到所述一个或多个下支撑元件，并且被设置成从所述一个或多个下支撑元件向上延伸，所述反应器门支撑到所述一个或多个垂直支撑元件。

27、在替代实施例中，所述门支撑结构包括一个或多个垂直支撑元件和一个或多个垂直枢转轴线，所述反应器门支撑到所述一个或多个垂直支撑元件。

28、在再一实施例中，所述门支撑结构包括一个或多个垂直支撑元件，所述反应器门支撑到所述一个或多个垂直支撑元件。

29、所述垂直支撑元件使得能够在所述装载口的高度支撑所述反应器门。

30、在一个实施例中，所述门支撑结构包括第一垂直支撑元件和第二垂直支撑元件，所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件彼此间隔设置，使得在所述第一垂直支撑元件与所述第二垂直支撑元件之间形成装载空间，并且所述反应器门支撑到所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件并且被设置到所述第一垂直支撑元件与所述第二垂直支撑元件之间的所述装载空间。

31、在替代实施例中，所述门支撑结构包括第一垂直支撑元件和第二垂直支撑元件，所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件彼此间隔设置，使得在所述第一垂直支撑元件与所述第二垂直支撑元件之间形成装载空间，所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件设置在所述真空室的所述装载壁的前面，使得所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件位于所述真空室的所述装载口的相对两侧，并且所述反应器门支撑到所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件并且被设置到所述第一垂直支撑元件与所述第二垂直支撑元件之间的所述装载空间。

32、所述反应器门支撑在所述第一垂直支撑元件与所述第二垂直支撑元件之间，使得所述反应器门可以从所述装载空间移开并移动到所述装载壁的前面，以便设置在所述装载口前面清空或未占用的空间内，以便进行装载和卸载。

33、在一个实施例中，所述反应器门组件包括门移动机构，所述门移动机构被设置成在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间相对于所述门支撑结构移动所述反应器门。

34、所述门移动机构使得能够在所述门支撑结构中相对于所述门支撑结构和相对于所述真空室移动所述反应器门。

35、在一个实施例中，所述门移动机构被设置成在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间沿所述装载门的平面门表面的方向或横向于所述装载门的所述开口中心线相对于所述门支撑结构移动所述反应器门。

36、在替代实施例中，所述门移动机构被设置成在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间以所述第二线性移动相对于所述门支撑结构移动所述反应器门。

37、在替代实施例中，所述门移动机构被设置成在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间沿所述装载门的平面门表面的方向或横向于所述装载门的所述开口中心线以所述第二线性移动相对于所述门支撑结构移动所述反应器门。

38、在再一实施例中，所述门移动机构包括门轴线并且被设置成在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间以所述第二旋转移动相对于所述门支撑结构绕所述门轴线转动所述反应器门。

39、在再一替代实施例中，所述门移动机构包括垂直于所述装载门的平面门表面延伸的门轴线，并且所述门移动机构被设置成在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间以所述第二旋转移动相对于所述门支撑结构绕所述门轴线转动所述反应器门。

40、所述门移动机构被设置成在所述门支撑结构中将所述反应器门移动到所述装载口旁边。

41、在一个实施例中，所述门移动机构被设置成在所述第二门位置与所述第三门位置之间在所述一个或多个垂直支撑元件中移动所述反应器门。

42、在替代实施例中，所述门移动机构被设置成在所述第二门位置与所述第三门位置之间在所述一个或多个垂直支撑元件中移动所述反应器门。

43、在再一实施例中，所述门移动机构被设置成在所述第二门位置与所述第三门位置之间在所述一个或多个垂直支撑元件中移动所述反应器门，在所述第二门位置，所述反应器门与所述真空室的所述装载壁间隔开并且相对，在所述第三门位置，所述反应器门位于所述装载口的下方、上方或在侧向与所述装载口相邻。

44、在再一替代实施例中，所述门移动机构被设置成在所述第二门位置与所述第三门位置之间的装载空间内沿所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件移动所述反应器门。

45、在另一其他实施例中，所述门移动机构被设置成在所述第二门位置与所述第三门位置之间的所述装载空间内沿所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件移动所述反应器门，在所述第二门位置，所述反应器门与所述真空室的所述装载壁间隔开并且相对，在所述第三门位置，所述反应器门位于所述装载口的下方或上方。

46、因此，所述门移动机构被设置成沿侧向方向将所述反应器门从装载口的前面移动到旁边。

47、本发明还涉及一种用于操作原子层沉积反应器装置的方法。所述反应器装置包括：原子层沉积反应器，所述原子层沉积反应器具有真空室，所述真空室包括设置有装载口的装载壁；以及反应器门组件，所述反应器门组件具有用于关闭所述真空室的所述装载口的反应器门。

48、所述反应器门组件包括门支撑结构，所述反应器门支撑到所述门支撑结构。

49、根据本发明，所述方法包括：在第一门位置与第二门位置之间相对于所述原子层沉积反应器以第一移动移动所述反应器门，在所述第一门位置，所述反应器门抵靠所述真空室的所述装载壁并且所述反应器门被设置成关闭所述装载口，在所述第二门位置，所述反应器门与所述真空室的所述装载壁间隔开并且相对；并且在所述第二门位置与第三门位置之间相对于所述原子层沉积反应器以第二移动移动所述反应器门，在所述第三门位置，所述反应器门位于所述装载口的旁边。

50、所述方法使得能够通过在所述装载壁前面的有限空间内移动所述反应器门来打开和关闭所述装载口。

51、在一个实施例中，所述方法包括：在所述第一门位置与所述第二门位置之间相对于所述原子层沉积反应器以所述第一移动沿朝向和远离所述真空室的所述装载壁的方向移动所述反应器门。

52、在另一实施例中，所述方法包括：在所述第一门位置与所述第二门位置之间相对于所述原子层沉积反应器以所述第一移动沿朝向和远离所述真空室的所述装载壁的方向移动所述反应器门，所述第一移动是第一线性移动。

53、在再一实施例中，所述方法包括：在所述第一门位置与所述第二门位置之间相对于所述原子层沉积反应器以所述第一移动沿朝向和远离所述真空室的所述装载壁的方向移动所述反应器门，所述第一移动是第一旋转移动。

54、所述第一移动使得能够将所述反应器门与所述装载壁间隔开，使得可以在侧向将所述反应器从所述装载口移开。

55、在一个实施例中，所述方法包括：在所述第二门位置与所述第三门位置之间沿相对于所述第一移动的方向的横向方向相对于所述原子层沉积反应器以所述第二移动移动所述反应器门。

56、在另一实施例中，所述方法包括：在所述第二门位置与所述第三门位置之间沿相对于所述第一移动的方向的横向方向相对于所述原子层沉积反应器以所述第二移动移动所述反应器门，所述第二移动是第二线性移动。

57、在再一实施例中，所述方法包括：在所述第二门位置与所述第三门位置之间沿相对于所述第一移动的方向的横向方向相对于所述原子层沉积反应器以所述第二移动移动所述反应器门，所述第二移动是第二旋转移动。

58、所述第二移动使得能够在侧向将所述反应器门从所述装载口的前面移开，使得只需要有限的空间。

59、在一个实施例中，所述反应器门组件包括门支撑结构，所述反应器门支撑到所述门支撑结构。所述方法包括：在所述门支撑结构中以所述第一移动在所述第一门位置与第二门位置之间以及以所述第二移动在所述第二门位置与第三门位置之间相对于所述真空室移动所述反应器门。

60、在另一实施例中，所述反应器门组件包括门支撑结构，所述反应器门支撑到所述门支撑结构。所述方法包括：相对于所述真空室移动所述门支撑结构，以便以所述第一移动在所述第一门位置与第二门位置之间相对于所述真空室移动所述反应器门，并且在所述门支撑结构中以所述第二移动在所述第二门位置与第三门位置之间相对于所述真空室移动所述反应器门。

61、在再一实施例中，所述反应器门组件包括门支撑结构，所述反应器门支撑到所述门支撑结构。所述方法包括：在所述门支撑结构中以所述第一移动在所述第一门位置与第二门位置之间相对于所述真空室移动所述反应器门，并且相对于所述真空室移动所述门支撑结构，以便以所述第二移动在所述第二门位置与第三门位置之间相对于所述真空室移动所述反应器门。

62、在再一其他实施例中，所述反应器门组件包括门支撑结构，所述反应器门支撑到所述门支撑结构。所述方法包括：相对于所述真空室移动所述门支撑结构，以便以所述第一移动在所述第一门位置与第二门位置之间相对于所述真空室移动所述反应器门，并且相对于所述真空室移动所述门支撑结构，以便在所述门支撑结构中以所述第二移动在所述第二门位置与第三门位置之间相对于所述真空室移动所述反应器门。

63、利用所述第一移动和所述第二移动，可以在有限的空间内以两次移动打开所述装载口并将反应器门从所述装载口移开，以及关闭所述装载口并抵靠所述装载壁移动所述反应器门。

64、在一个实施例中，所述方法包括：通过沿朝向和远离所述真空室的所述装载壁的方向相对于所述原子层沉积反应器转移所述门支撑结构，以所述第一移动在第一结构位置与第二结构位置之间移动所述门支撑结构，在所述第一结构位置，所述反应器门处于所述第一门位置，在所述第二结构位置，所述反应器门处于所述第二门位置。

65、在替代实施例中，所述方法包括：通过使所述门支撑结构相对于垂直方向倾侧，以所述第一移动在第一结构位置与第二结构位置之间移动所述门支撑结构，在所述第一结构位置，所述反应器门处于所述第一门位置，在所述第二结构位置，所述反应器门处于所述第二门位置。

66、在再一实施例中，所述方法包括：通过相对于所述真空室的所述装载壁转动所述门支撑结构，以所述第一移动在第一结构位置与第二结构位置之间移动所述门支撑结构，在所述第一结构位置，所述反应器门处于所述第一门位置，在所述第二结构位置，所述反应器门处于所述第二门位置。

67、通过相对于所述真空室移动所述门支撑结构，使得能够在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门，以打开和关闭所述装载口。

68、在一些实施例中，所述门支撑结构包括第一垂直支撑元件和第二垂直支撑元件，所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件被设置成沿所述装载口的相对两侧的水平方向彼此间隔开，使得在所述第一垂直支撑元件与所述第二垂直支撑元件之间形成装载空间，所述反应器门支撑到所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件并且被设置到所述装载空间。

69、在一个实施例中，所述方法包括：在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间的所述装载空间内沿所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件相对于所述原子层沉积反应器移动所述反应器门，在所述第二门位置，所述反应器门位于与所述装载口相对的所述装载空间内，在所述第三门位置，所述反应器门在垂直方向上位于所述装载口的下方或上方。

70、在另一实施例中，所述方法包括：在所述第一结构位置与所述第二结构位置之间移动所述门支撑结构包括：使所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件相对于所述真空室的所述装载壁倾侧，以便在所述第一门位置与所述第二门位置之间移动所述反应器门，并且在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间的所述装载空间内沿所述第一垂直支撑元件和所述第二垂直支撑元件相对于所述原子层沉积反应器移动所述反应器门，在所述第二门位置，所述反应器门位于与所述装载口相对的所述装载空间内，在所述第三门位置，所述反应器门在垂直方向上位于所述装载口的下方或上方。

71、使垂直支撑元件倾侧并沿所述垂直支撑元件移动所述反应器门提供了简单而有效的构造，在该构造中，所述反应器的移动和所需空间可以最小化。

72、在一个实施例中，所述方法包括：在所述门支撑结构的所述第二结构位置执行在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间以所述第二移动移动所述反应器门。

73、在另一实施例中，所述方法包括：在以所述第一移动在所述第一结构位置与所述第二结构位置之间移动所述门支撑结构期间开始在所述门支撑结构中在所述第二门位置与所述第三门位置之间以所述第二移动移动所述反应器门。

74、当所述反应器门脱离所述装载口，使其可以沿侧向方向移动时，执行所述第二移动。

75、在一些实施例中，所述方法包括：打开关闭的真空室，在所述关闭的真空室内，所述门支撑结构处于所述第一结构位置，并且所述反应器门处于所述第一门位置并且抵靠所述真空室的所述装载壁设置，使得所述反应器门被设置成关闭所述装载口。

76、在一个实施例中，打开所述关闭的真空室包括：通过沿远离所述真空室的所述装载壁的方向移动所述门支撑结构，将所述门支撑结构相对于所述真空室从所述第一结构位置移动到所述第二结构位置，以便将所述反应器门从所述第一门位置移动到所述第二门位置，并且通过在设置到所述第二结构位置的所述门支撑结构中移动所述反应器门，在所述门支撑结构中将所述反应器门从所述第二门位置移动到所述第三门位置。

77、在替代实施例中，打开所述关闭的真空室包括：通过沿远离所述真空室的所述装载壁的方向倾侧或转动所述门支撑结构，将所述门支撑结构相对于所述真空室从所述第一结构位置移动到所述第二结构位置，以便将所述反应器门从所述第一门位置移动到所述第二门位置，并且通过在设置到所述第二结构位置的所述门支撑结构中向下或向上移动所述反应器门并且沿所述装载口下方或上方的垂直方向移动所述反应器门，在所述门支撑结构中将所述反应器门从所述第二门位置移动到所述第三门位置。

78、以两次不同的移动来执行打开所述关闭的真空室，这两次移动使得所述装载口前面的空间最小。

79、在一些实施例中，所述方法包括：关闭打开的真空室，在所述打开的真空室内，所述门支撑结构处于所述第二结构位置，并且所述反应器门处于所述第三门位置，使得所述装载口打开。

80、在一个实施例中，关闭所述打开的真空室包括：通过在设置到所述第二结构位置的所述门支撑结构中移动所述反应器门，在所述门支撑结构中将所述反应器门从所述第三门位置移动到所述第二门位置，并且通过沿朝向所述真空室的所述装载壁的方向移动所述门支撑结构，将所述门支撑结构相对于所述真空室从所述第二结构位置移动到所述第一结构位置，以便将所述反应器门从所述第二门位置移动到所述第一门位置。

81、在替代实施例中，关闭所述打开的真空室包括：通过在设置到所述第二结构位置的所述门支撑结构中向上或向下移动所述反应器门，在所述门支撑结构中将所述反应器门从所述第三门位置移动到所述第二门位置，并且通过沿朝向所述真空室的所述装载壁的方向倾侧或转动所述门支撑结构，将所述门支撑结构相对于所述真空室从所述第二结构位置移动到所述第一结构位置，以便将所述反应器门从所述第二门位置移动到所述第一门位置。

82、通过以两次移动移动所述装载门来关闭所述真空室使得在较小空间内以紧密的方式关闭所述装载口。

83、在一个实施例中，所述方法包括：当所述反应器门处于所述第三门位置时，将反应室装载到所述真空室内，使得所述装载口打开，并且当所述反应器门处于所述第三门位置时，从所述真空室卸载所述反应室，使得所述装载口打开。

84、在另一实施例中，所述方法包括：当所述门支撑结构处于所述第二结构位置并且所述反应器门处于所述第三门位置时，将反应室装载到所述真空室内，使得所述装载口打开，并且当所述门支撑结构处于所述第二结构位置并且所述反应器门处于所述第三门位置时，从所述真空室卸载反应室，使得所述装载口打开。

85、在再一替代实施例中，当所述门支撑结构处于所述第二结构位置并且所述反应器门处于所述第三门位置时，沿水平方向将反应室装载到所述真空室内，使得所述装载口打开，并且当所述门支撑结构处于所述第二结构位置并且所述反应器门处于所述第三门位置时，沿水平方向从所述真空室卸载反应室，使得所述装载口打开。

86、因此，将独立反应室装载到所述真空室内部，用于处理衬底，并且在处理之后从所述真空室卸载所述独立反应室。

87、在一些实施例中，所述方法通过使用上述公开的原子层沉积反应器来执行。

88、根据本发明，所述方法包括：操作根据前述实施例中任一项所述的原子层沉积反应器装置。

89、本发明的优点在于，支撑到门支撑框架的独立反应器使得能够沿垂直方向将整个反应器门从装载口移开来打开和关闭所述真空室。因此，与所述装载口相对的空间变得空闲，使得可以沿水平方向将独立反应室装载到所述真空室内。此外，由于所述反应器门从所述真空室的所述装载壁滑开，因此打开所述反应器门所需的所述装载壁前面的空间极小。因此，可以减少设施中的占地面积。此外，固定装载组件可以靠近真空室的装载壁设置。这使得能够通过所述装载口自动将独立反应室装载到所述真空室以及从所述真空室卸载。因此，使用并装卸大型重型独立反应室成为可能。