一种磁控溅射真空镀膜机的制作方法

本发明属于真空镀膜机，具体为一种磁控溅射真空镀膜机。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。

2、真空镀膜机在使用过程中需要进行密封抽真空处理，但是现有真空镀膜机与柜门的连接方式较为单一，主要通过铰接的方式进行闭合，柜门和真空镀膜机之间容易出现缝隙，导致气压抽取效果受到影响。

3、因此，需要对磁控溅射真空镀膜机进行设计改造。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题，本发明的目的在于提供一种磁控溅射真空镀膜机，具备提高镀膜机真空效果的优点，解决了现有真空镀膜机与柜门的连接方式较为单一，主要通过铰接的方式进行闭合，柜门和真空镀膜机之间容易出现缝隙，导致气压抽取效果受到影响的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种磁控溅射真空镀膜机，包括机体；

3、铰接在机体正面的柜门；机体(1)包括镀膜机室，以及固定连接在镀膜机箱底部的底座，还有铰链方式连接在镀膜机室侧的室门，镀膜机室的右侧位置固定连接有闭门器，闭门器用于闭合室门，所述磁控溅射真空镀膜机还包括：

4、靶材溅射机构，用于镀膜靶材的溅射，所述靶材溅射机构包括若干磁控靶，磁控靶包括由真空镀膜机顶部安装延伸到镀膜机室及室门内部的旋转阴极和靶材；磁控靶设置为若干组，所述镀膜机室中心设置两组磁控靶，所述镀膜机室内部侧边对称设置两组磁控靶，所述箱门内侧设置一组磁控靶；以及物件装持机构，设在镀膜机箱底部，用于镀膜物件的装持，所述物件装持机构包括转动连接在镀膜机箱底部的工件底架，工件底架的转动部位设有传动组件，用于控制工件底架转动，所述工件底架的顶部外缘边设置若干镜片转架，镜片转架设有自转组件，用于控制镜片转架绕自身轴线转动；以及

5、真空抽取机构，连通设在镀膜机远离室门的一侧，用于对镀膜机内部进行抽真空处理；

6、所述机体顶部的左侧与右侧均固定连接有连接块，所述连接块的正面通过销轴活动连接有密封板，所述密封板的内侧与柜门的表面接触，所述密封板的顶部固定连接有延伸板，所述机体的顶部固定连接有活动块，所述活动块的表面通过销轴活动连接有摆杆，所述摆杆的外侧与延伸板的表面接触，所述机体的顶部固定连接有支架，所述支架的顶部固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端贯穿至支架的底部并固定连接有传动块，所述传动块的正面固定连接有位于摆杆内部的滑杆，所述滑杆与摆杆滑动连接。

7、作为本发明优选的，所述传动块的顶部固定连接有导杆，所述导杆位于电动伸缩杆的两侧，所述导杆的顶端贯穿支架并延伸至支架的顶部，所述导杆与支架滑动连接。

8、作为本发明优选的，所述密封板的内侧固定连接有胶垫，所述胶垫远离密封板的一侧与柜门的表面接触，所述胶垫具有弹性。

9、作为本发明优选的，所述机体的顶部固定连接有立板，所述立板位于连接块的外侧，所述立板的内侧固定连接有弹板，所述弹板远离立板的一侧与延伸板的外侧接触，所述弹板具有弹性。

10、作为本发明优选的，所述摆杆远离活动块的一端通过销轴活动连接有滚轮，所述滚轮的外表面与延伸板的内侧接触。

11、作为本发明优选的，所述机体的正面固定连接有支撑板，所述支撑板远离机体的一侧延伸至活动块的正面，所述支撑板与摆杆通过销轴活动连接。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

13、1、本发明能够改进现有真空镀膜机与柜门的连接方式，辅助通过铰接的方式进行闭合，防止柜门和真空镀膜机之间容易出现缝隙，提高气压抽取效果。本发明磁控溅射真空镀膜机实现整个镀膜过程自动化控制，通过数据反馈采集，调整控制数据，以及产品工艺的调整尽可能减少镀膜过程的人为干预，从而提高镀膜产品质量的稳定性，更高的自动化程度也减轻了对镀膜操作人员的操作需求，更加效率的完成镀膜过程

14、2、本发明通过设置导杆，能够对传动块进行限位，可以提高传动块的滑动稳定性。

技术特征：

1.一种磁控溅射真空镀膜机，包括机体(1)；

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述传动块(10)的顶部固定连接有导杆(12)，所述导杆(12)位于电动伸缩杆(9)的两侧，所述导杆(12)的顶端贯穿支架(8)并延伸至支架(8)的顶部，所述导杆(12)与支架(8)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述密封板(4)的内侧固定连接有胶垫(13)，所述胶垫(13)远离密封板(4)的一侧与柜门(2)的表面接触，所述胶垫(13)具有弹性。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述机体(1)的顶部固定连接有立板(14)，所述立板(14)位于连接块(3)的外侧，所述立板(14)的内侧固定连接有弹板(15)，所述弹板(15)远离立板(14)的一侧与延伸板(5)的外侧接触，所述弹板(15)具有弹性。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述摆杆(7)远离活动块(6)的一端通过销轴活动连接有滚轮(16)，所述滚轮(16)的外表面与延伸板(5)的内侧接触。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述机体(1)的正面固定连接有支撑板(17)，所述支撑板(17)远离机体(1)的一侧延伸至活动块(6)的正面，所述支撑板(17)与摆杆(7)通过销轴活动连接。

技术总结
本发明公开了一种磁控溅射真空镀膜机，属于真空镀膜机技术领域。本发明包括机体，铰接在机体正面的柜门，所述机体顶部的左侧与右侧均固定连接有连接块，所述连接块的正面通过销轴活动连接有密封板，所述密封板的内侧与柜门的表面接触，所述密封板的顶部固定连接有延伸板，所述机体的顶部固定连接有活动块，活动块的表面通过销轴活动连接有摆杆，摆杆的外侧与延伸板的表面接触，机体的顶部固定连接有支架，支架的顶部固定连接有电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端贯穿至支架的底部并固定连接有传动块。本发明能够改进现有真空镀膜机与柜门的连接方式，辅助通过铰接的方式进行闭合，防止柜门和真空镀膜机之间容易出现缝隙，提高气压抽取效果。本发明磁控溅射真空镀膜机实现整个镀膜过程自动化控制，通过数据反馈采集，调整控制数据，以及产品工艺的调整尽可能减少镀膜过程的人为干预，从而提高镀膜产品质量的稳定性，更高的自动化程度也减轻了对镀膜操作人员的操作需求，更加效率的完成镀膜过程。

技术研发人员：谢学东,谢辉东
受保护的技术使用者：丹阳市宝来利真空机电有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13