一种轴承端面薄膜图案的制备工装及方法与流程

本发明涉及表面镀膜，具体涉及一种轴承端面薄膜图案的制备工装及方法。

背景技术：

1、现有技术中，有时需要在结构部件表面制备图案，实现部件标记或性能标定等目的，目前常用镀膜配合刻蚀、电镀等形式实现。

2、现有技术中，有的实现步骤复杂，工艺繁琐，且待镀膜工件需要承受化学腐蚀等环境，在形成图案的过程中会对结构本体造成损坏。尤其对轴承等精密零件，通过刻蚀容易造成轴承生锈或滚动体精度降低，严重影响后期的使用性能；采用电镀的方式很难找到合适的方式来保护滚动体及滚道等部分不受影响。另外，目前的方法工艺复杂，工期长，在高效率生产方面存在劣势。

3、因此，发明人提供了一种轴承端面薄膜图案的制备工装及方法。

技术实现思路

1、(1)要解决的技术问题

2、本发明实施例提供了一种轴承端面薄膜图案的制备工装及方法，解决了现有的工件薄膜制备工艺复杂、工期长、生产效率低的技术问题。

3、(2)技术方案

4、本发明的第一方面提供了一种轴承端面薄膜图案的制备工装，包括转接板、图案掩模板、压板和紧固件，所述转接板可拆卸地安装于薄膜加工样品台，所述转接板与所述图案掩模板之间形成用于放置待镀轴承的安装空间，所述压板贴合压设于所述图案掩模板远离所述转接板的端面，所述紧固件依次贯穿所述压板、所述图案掩模板及所述待镀轴承并整体紧固于所述转接板。

5、进一步地，所述紧固件包括紧固螺柱及紧固螺母，所述紧固螺柱的一端穿过所述压板、所述图案掩模板及所述待镀轴承并旋入所述转接板上的螺纹孔中，所述紧固螺柱的另一端安装所述紧固螺母，并通过旋紧所述紧固螺母以实现所述转接板、所述待镀轴承、所述图案掩模板及所述压板的压紧动作。

6、进一步地，所述转接板具有用于定位所述待镀轴承的第一轴承定位结构。

7、进一步地，所述转接板的中间部位至少有一个与所述紧固件配合的螺纹孔。

8、进一步地，所述图案掩模板为环状结构，且与所述待镀轴承的端面相适配。

9、进一步地，所述图案掩模板沿其周向设有至少一种待加工图案，每种所述待加工图案至少为一个；所述图案掩模板上设有与所述压板配合定位的定位孔。

10、进一步地，所述压板具有用于定位所述待镀轴承的第二轴承定位结构。

11、进一步地，所述压板具有用于定位所述图案掩模板的掩模板定位结构。

12、进一步地，所述压板的中间部位至少有一个用于穿过所述紧固件的通孔。

13、本发明的第二方面提供了一种轴承端面薄膜图案的制备方法，包括以下步骤：

14、将连接板、待镀轴承、图案掩模板、压板、紧固件按顺序进行装配连接；

15、将装配完成的组合件安装于磁控与离子束复合溅射沉积系统的样品台上；

16、按设定工艺参数对所述待镀轴承的表面镀制敏感材料；

17、镀制完成后取出轴承样件。

18、(3)有益效果

19、综上，本发明通过紧固件将压板、图案掩模板及待镀轴承整体紧固，通过图案掩模板实现轴承端面薄膜图案的快速制备，通过该制备工装能够实现制备工艺简单、工期较短、生产效率高。

技术特征：

1.一种轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，包括转接板(100)、图案掩模板(300)、压板(400)和紧固件，所述转接板(100)可拆卸地安装于薄膜加工样品台，所述转接板(100)与所述图案掩模板(300)之间形成用于放置待镀轴承(200)的安装空间，所述压板(400)贴合压设于所述图案掩模板(300)远离所述转接板(100)的端面，所述紧固件依次贯穿所述压板(400)、所述图案掩模板(300)及所述待镀轴承(200)并整体紧固于所述转接板(100)。

2.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述紧固件包括紧固螺柱(500)及紧固螺母(600)，所述紧固螺柱(500)的一端穿过所述压板(400)、所述图案掩模板(300)及所述待镀轴承(200)并旋入所述转接板(100)上的螺纹孔(102)中；所述紧固螺柱(500)的另一端安装所述紧固螺母(600)，并通过旋紧所述紧固螺母(600)以实现所述转接板(100)、所述待镀轴承(200)、所述图案掩模板(300)及所述压板(400)的压紧动作。

3.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述转接板(100)具有用于定位所述待镀轴承(200)的第一轴承定位结构(101)。

4.根据权利要求1或3中任一项所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述转接板(100)的中间部位至少有一个与所述紧固件配合的螺纹孔(102)。

5.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述图案掩模板(300)为环状结构，且与所述待镀轴承(200)的端面相适配。

6.根据权利要求5所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述图案掩模板(300)沿其周向设有至少一种待加工图案(301)，每种所述待加工图案(301)至少为一个；所述图案掩模板(300)上设有与所述压板(400)配合定位的定位孔(302)。

7.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述压板(400)具有用于定位所述待镀轴承(200)的第二轴承定位结构(401)。

8.根据权利要求1或7所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述压板(400)具有用于定位所述图案掩模板(300)的掩模板定位结构(402)。

9.根据权利要求1所述的轴承端面薄膜图案的制备工装，其特征在于，所述压板(400)的中间部位至少有一个用于穿过所述紧固件的通孔(403)。

10.一种轴承端面薄膜图案的制备方法，其特征在于，采用如权利要求1-9中任一项所述轴承端面薄膜图案的制备工装，该方法包括以下步骤：

技术总结
本发明涉及表面镀膜技术领域，具体涉及一种轴承端面薄膜图案的制备工装及方法。该工装包括转接板、图案掩模板、压板和紧固件，转接板可拆卸地安装于薄膜加工样品台，转接板与图案掩模板之间形成用于放置待镀轴承的安装空间，压板贴合压设于图案掩模板远离转接板的端面，紧固件依次贯穿压板、图案掩模板及待镀轴承并整体紧固于转接板。该轴承端面薄膜图案的制备工装及方法的目的是解决现有的工件薄膜制备工艺复杂、工期长、生产效率低的问题。

技术研发人员：李星亮
受保护的技术使用者：中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14