一种宽幅靶材退火炉的进出料装置的制作方法

本发明涉及宽幅靶材加工设备，具体为一种宽幅靶材退火炉的进出料装置。

背景技术：

1、溅射薄膜制备的源头材料，又称溅射靶材，特别是高纯度溅射靶材应用于电子元器件制造的物理气相沉积工艺，是制备晶圆、面板、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料。靶材按形状分为两种：一种是宽幅靶材；另一种是管状旋转靶材。

2、宽幅靶材在制备时需要将烧结的靶材坯料在开坯加热炉内加热后送往四辊可逆热轧机上进行多道次的可逆热轧；在热轧过程中可利用转料机构对靶材板坯进行多个道次的纵向、横向间换向轧制，以控制产品尺寸以及降低靶材板的各向异性并提高其加工性能。

3、当轧制温度不满足生产要求时，将热轧中间产品送往在线补热炉内进行补热。现有退火炉采用的是连续加热方式：即在辊筒输送机穿过退火炉内部，当板坯在退火炉内部移动时，退火炉对板坯进行加热；这种采用辊筒输送机进行连续进料和出料的方式存在以下问题：1、由于采用辊筒输送机直接进行进料和出料，使退火炉无法密封，因此造成大量热量的浪费；2、采用辊筒输送机直接进行进料和出料时，还需要配合转向机构、并与退火炉呈回字形布局设置，占地面积大，板坯移动轨迹长，浪费时间，降低了加工效率；3、采用辊筒输送机进行连续进料和出料时，在加热时无法对退火炉进行密封，容易造成板坯氧化，从而降低靶材的纯度。

4、针对上述问题，本发明提供一种宽幅靶材退火炉的进出料装置，用以解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种宽幅靶材退火炉的进出料装置，采用单向进料以及出料的方式，使退火炉可以进行密封，可以提高热效率，减少热量的浪费，并且采用真空退火时能够避免板坯退火过程中氧化，从而间接提高靶材的纯度和质量；并且采用单向进行出料以及出料的方式，可以减少整个输送和退火设备组的占地面积，并缩短板坯转移时的移动轨迹，从而节省时间，并提高工作效率，使用方便，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种宽幅靶材退火炉的进出料装置，包括机架，所述机架上设有辊筒输送机，所述辊筒输送机上的辊筒等间距设置，且相邻两根辊筒之间设置有支撑轴，所述支撑轴的两端安装在安装架上，所述机架的底部设有控制安装架水平移动的液压缸一，机架的上表面设有控制安装架上下移动的升降件。

3、作为本发明的一种优选技术方案，所述液压缸一的固定端水平安装在机架的底部，且液压缸一的伸缩端设有支撑板，所述支撑板的上表面通过能够上下伸缩的伸缩件与安装架的一端连接。

4、作为本发明的一种优选技术方案，所述支撑板的底部转动设置有辊轴，所述机架的底部设有用于支撑辊轴沿水平方向移动的轨道。

5、作为本发明的一种优选技术方案，所述伸缩件为伸缩杆，且伸缩杆的一端连接支撑板，伸缩杆的另一端连接安装架。

6、作为本发明的一种优选技术方案，所述升降件包括竖直安装在机架上的液压缸二，所述液压缸二的伸缩端转动设置有用于支撑安装架的支撑辊。

7、作为本发明的一种优选技术方案，所述安装架为能够被磁铁吸附的碳钢材料，所述支撑辊为能够与安装架磁性吸附的磁性支撑辊。

8、作为本发明的一种优选技术方案，所述支撑轴的长度不小于辊筒输送机中输送辊长度的二倍。

9、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

10、本发明示例的宽幅靶材退火炉的进出料装置，靶材胚料沿a→b→c→d的轨迹移动时，可以完成辊筒输送机上靶材胚料的进料操作，便于退火炉对靶材胚料进行加热。

11、本发明示例的宽幅靶材退火炉的进出料装置，靶材胚料沿d→c→b→a的轨迹移动时，可以将退火炉中的加热后靶材胚料移动到辊筒输送机上，便于靶材胚料的轧制操作。

12、本发明示例的宽幅靶材退火炉的进出料装置，采用单向进料以及出料的方式，使退火炉可以进行密封，可以提高热效率，减少热量的浪费，并且采用真空退火时能够避免板坯退火过程中氧化，从而间接提高靶材的纯度和质量；并且采用单向进行出料以及出料的方式，可以减少整个输送和退火设备组的占地面积，并缩短板坯转移时的移动轨迹，从而节省时间，并提高工作效率，使用方便。

技术特征：

1.一种宽幅靶材退火炉的进出料装置，包括机架（1），所述机架（1）上设有辊筒输送机（2），其特征在于：所述辊筒输送机（2）上的辊筒等间距设置，且相邻两根辊筒之间设置有支撑轴（31），所述支撑轴（31）的两端安装在安装架（3）上，所述机架（1）的底部设有控制安装架（3）水平移动的液压缸一（4），机架（1）的上表面设有控制安装架（3）上下移动的升降件。

2.根据权利要求1所述的宽幅靶材退火炉的进出料装置，其特征在于：所述液压缸一（4）的固定端水平安装在机架（1）的底部，且液压缸一（4）的伸缩端设有支撑板（41），所述支撑板（41）的上表面通过能够上下伸缩的伸缩件与安装架（3）的一端连接。

3.根据权利要求2所述的宽幅靶材退火炉的进出料装置，其特征在于：所述支撑板（41）的底部转动设置有辊轴（43），所述机架（1）的底部设有用于支撑辊轴（43）沿水平方向移动的轨道（5）。

4.根据权利要求1所述的宽幅靶材退火炉的进出料装置，其特征在于：所述伸缩件为伸缩杆（42），且伸缩杆（42）的一端连接支撑板（41），伸缩杆（42）的另一端连接安装架（3）。

5.根据权利要求1所述的宽幅靶材退火炉的进出料装置，其特征在于：所述升降件包括竖直安装在机架（1）上的液压缸二（6），所述液压缸二（6）的伸缩端转动设置有用于支撑安装架（3）的支撑辊（61）。

6.根据权利要求5所述的宽幅靶材退火炉的进出料装置，其特征在于：所述安装架（3）为能够被磁铁吸附的碳钢材料，所述支撑辊（61）为能够与安装架（3）磁性吸附的磁性支撑辊。

7.根据权利要求1所述的宽幅靶材退火炉的进出料装置，其特征在于：所述支撑轴（31）的长度不小于辊筒输送机（2）中输送辊长度的二倍。

技术总结
本发明公开了一种宽幅靶材退火炉的进出料装置，包括机架，所述机架上设有辊筒输送机，辊筒输送机上的辊筒等间距设置，相邻两根辊筒之间设置有支撑轴，支撑轴的两端安装在安装架上，机架的底部设有控制安装架水平移动的液压缸一，机架的上表面设有控制安装架上下移动的升降件。该宽幅靶材退火炉的进出料装置，采用单向进料以及出料的方式，使退火炉可以进行密封，可以提高热效率，减少热量的浪费，并且采用真空退火时能够避免板坯退火过程中氧化，从而间接提高靶材的纯度和质量；并且可以减少整个输送和退火设备组的占地面积，并缩短板坯转移时的移动轨迹，从而节省时间，并提高工作效率，使用方便。

技术研发人员：邓德翼,王德建,黄飞虎
受保护的技术使用者：洛阳汇晶新材料科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15