磨削装置的制作方法

本发明涉及在对晶片那样的板状的被加工物进行磨削时使用的磨削装置。

背景技术：

1、在对晶片那样的板状的被加工物进行磨削时，使用磨削装置，该磨削装置具有：卡盘工作台，其具有能够对该被加工物进行保持的保持面；以及磨削单元，其具有将排列有多个磨削磨具的磨削磨轮利用螺栓等进行安装的主轴(例如，参照专利文献1)。磨削单元由滚珠丝杠式的磨削进给机构支承，该磨削进给机构使磨削磨轮在与保持面交叉的方向上移动，并使磨削磨具与卡盘工作台上的被加工物接触，由此对被加工物进行磨削。

2、在上述那样的磨削装置中，将磨削磨轮的磨削磨具与卡盘工作台的保持面接触的位置设定为磨削进给机构的基准位置，从而高精度地控制磨削后的被加工物的厚度。磨削装置的基准位置的设定通过如下的方法进行：在将规定的厚度的块规配置于卡盘工作台的状态下，作业者使磨削磨具接近卡盘工作台。另外，由于该基准位置会因磨削磨轮的拆装而偏移，因此每当更换磨削磨轮时进行基准位置的设定。

3、专利文献1：日本特开2003-181767号公报

4、另外，在以磨削磨轮的更换为代表的磨削装置的维护中，需要以扭力扳手为首的更换用的工具、布头和酒精等清扫用具、作为基准位置设定用的工具的上述块规等多个工具。因此，在进行磨削装置的维护时，使用能够载置这些工具的作业台。

5、但是，在每当进行磨削装置的维护时携带作业台并进行作业台的准备和整理等的情况下，作业的效率差。另外，为了保管使用后的作业台，也需要与设置磨削装置的场所分开地确保与磨削装置不太远的保管用的场所。

技术实现思路

1、因此，本发明的目的在于提供磨削装置，其能够提高磨削装置的维护所涉及的作业的效率，并且有利于省空间化。

2、根据本发明的一个方面，提供磨削装置，其在对被加工物进行磨削时使用，其中，该磨削装置包含：卡盘工作台，其具有对该被加工物进行保持的保持面；磨削单元，其具有供呈环状排列有多个磨削磨具的磨削磨轮安装的主轴；以及外装罩，其具有与该磨削单元面对的开口部以及能够覆盖该开口部的门，该外装罩将该卡盘工作台以及该磨削单元这双方覆盖，在该开口部被该门覆盖的关闭状态下与该磨削单元面对的该门的内侧的面上，设置有按照在该关闭状态下不与该磨削单元干涉的方式折叠的作业台。

3、优选在该门的该内侧的面上，还设置有供收纳该磨削磨轮的容器载置的搁架。

4、本发明的一个方面的磨削装置中，在覆盖外装罩的开口部的门的内侧的面上具有按照不与磨削单元干涉的方式折叠的作业台。因此，不需要每当在开口部露出的状态下进行的磨削装置的维护时携带作业台并进行作业台的准备和整理等。另外，在开口部被门覆盖的关闭状态下，作业台被收纳于外装罩的内侧，所以不需要与设置磨削装置的场所分开地确保用于保管作业台的场所。

5、这样，根据本发明的一个方面，提供磨削装置，其能够提高磨削装置的维护所涉及的作业的效率，并且有利于省空间化。

技术特征：

1.一种磨削装置，其在对被加工物进行磨削时使用，其中，

2.根据权利要求1所述的磨削装置，其中，

技术总结
本发明提供磨削装置，其能够提高磨削装置的维护所涉及的作业的效率，并且有利于省空间化。磨削装置在对被加工物进行磨削时使用，该磨削装置包含：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；磨削单元，其具有供呈环状排列有多个磨削磨具的磨削磨轮安装的主轴；以及外装罩，其具有与磨削单元面对的开口部以及能够覆盖开口部的门，该外装罩将卡盘工作台以及磨削单元这双方覆盖，在开口部被门覆盖的关闭状态下与磨削单元面对的门的内侧的面上，设置有按照在关闭状态下不与磨削单元干涉的方式折叠的作业台。

技术研发人员：前田夕斗
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15