一种新型蒸镀坩埚装置及使用方法与流程

本发明涉及蒸镀坩埚，具体涉及一种新型蒸镀坩埚装置及使用方法。

背景技术：

1、在有机发光二极管(organic light emitting diode)oled显示器具备自发光特性，低功耗，宽视角，响应速度快，超轻超薄，抗震性好等特点，使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等优势，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置；

2、oled显示器件通常由阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机电致发光材料层组成，其中有机电致发光材料层又包括空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、及电子注入层。oled显示器件的发光机理是从阴、阳两级分别注入电子和空穴，被注入的电子和空穴经传输在发光层内复合，从而激发发光层分子产生单态激子，单态激子辐射衰减而发光。

3、制备oled显示器件主流的主要方式是真空加热镀膜，即在真空腔体内使用坩埚加热oled材料，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，蒸镀在基板上。当oled材料蒸镀完的情况下，需要降温开腔添加材料，降温时长通常需要4～6小时，随着坩埚温度与环境温差越来越小，传导效率越来越小，静置的时间越长，影响设备稼动率，以及实验生产效率。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题，在于提供一种新型蒸镀坩埚装置及使用方法，在坩埚四周设计升降温结构装置，通过设置可分离的坩埚罩对坩埚进行保温，通过设置可分合的冷却板与坩埚接触实现坩埚的快速降温，提高了热量传递效率，缩短了降温时间。

2、本发明是这样实现的：

3、第一方面，本发明实施例提供一种新型蒸镀坩埚装置，包括坩埚，还包括：

4、加热丝，绕设于所述坩埚外部，用于加热使坩埚升温；

5、两坩埚罩，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，且拼合后包裹于所述坩埚四周，用于对坩埚进行保温，当坩埚需要冷却时，两坩埚罩可分离并远离坩埚；

6、腔壁，用于形成一可抽真空的容置空间；

7、两冷却板，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，在两坩埚罩分离时，两冷却板可向所述坩埚方向移动至与坩埚外壁接触，且底部与腔壁内壁的底面接触；

8、多个传热翅片，与所述冷却板连接且位于所述腔壁内部容置空间内。

9、进一步地，还包括：

10、第一电机组，通过穿设于所述腔壁的传动杆与两坩埚罩连接，通过传动杆带动两坩埚罩拼合或远离坩埚；

11、第二电机组，通过穿设于所述腔壁的传动杆与两冷却板连接，通过传动杆带动所述冷却板远离坩埚或与坩埚外壁接触。

12、进一步地，所述冷却板内设置有冷却液及循环通道，根据控制操作使冷却液循环或停止循环。

13、可选的，所述冷却液为乙二醇或三元乙丙橡胶。

14、进一步地，两坩埚罩在第一方向上可分离地相对设置于所述坩埚的外部，两冷却板在第二方向上可分离地相对设置于所述坩埚的外部，所述第一方向与第二方向在水平面上呈垂直关系，所述坩埚罩与所述冷却板不在同一时间拼合。

15、可选的，所述坩埚罩的材料为不锈钢，所述坩埚罩的内表面为不锈钢镜面处理。

16、进一步地，所述两冷却板拼合后为圆筒形状。

17、可选的，所述冷却板的内壁设有纳米管黑体膜层或金属钼膜层。

18、第二方面，本发明实施例提供一种新型蒸镀坩埚装置的使用方法，适用于第一方面所述的装置，所述使用方法包括如下步骤：

19、当坩埚需要进行升温或者温度保持时，使冷却板分离并远离坩埚，为坩埚罩拼合预留空间，并且冷却板内部的冷却液停止循环；然后使坩埚罩向坩埚移动至坩埚罩拼合并将坩埚包裹，形成对坩埚的保温，防止坩埚内部的热量向外部进行辐射传热；

20、当坩埚需要进行降温时，使坩埚罩分离并远离坩埚，为冷却板与坩埚接触预留空间，然后使冷却板向坩埚移动至与坩埚接触，并且冷却板内部的冷却液开始循环，通过控制冷却液的流速来控制热量传递的速度，冷却板底部与腔壁内壁的底面接触，实现通过冷却板、散热翅片和腔壁整体热辐射降温。

21、进一步地，当所述装置包括与两坩埚罩连接的第一电机组和与两冷却板连接的第二电机组时，第一电机组通过传动杆带动两坩埚罩拼合或远离坩埚；第二电机组通过传动杆带动所述冷却板远离坩埚或与坩埚外壁接触；通过第一电机组和第二电机组的配合使所述坩埚罩与所述冷却板不在同一时间拼合。

22、本发明的优点在于：

23、当坩埚需要进行升温或者温度保持时，通过设置可分离的坩埚罩拼合后将坩埚包裹，形成对坩埚的保温，防止坩埚内部的热量向外部进行辐射传热；当坩埚需要进行降温时，通过设置可拼合的冷却板，在坩埚罩分离后，冷却板同时与坩埚和腔壁底面接触，实现通过冷却板、散热翅片和腔壁整体热辐射降温。通过坩埚装置结构的优化以及科学的热辐射和热传导配合，解决了oled坩埚降温时间长的问题，提高升降温的效率，提高设备稼动率。

技术特征：

1.一种新型蒸镀坩埚装置，包括坩埚，其特征在于，还包括：

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述冷却板内设置有冷却液及循环通道，根据控制操作使冷却液循环或停止循环。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于：所述冷却液为乙二醇或三元乙丙橡胶。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于：两坩埚罩在第一方向上可分离地相对设置于所述坩埚的外部，两冷却板在第二方向上可分离地相对设置于所述坩埚的外部，所述第一方向与第二方向在水平面上呈垂直关系，所述坩埚罩与所述冷却板不在同一时间拼合。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述坩埚罩的材料为不锈钢，所述坩埚罩的内表面为不锈钢镜面处理。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述两冷却板拼合后为圆筒形状。

8.如权利要求1或7所述的装置，其特征在于：所述冷却板的内壁设有纳米管黑体膜层或金属钼膜层。

9.一种新型蒸镀坩埚装置的使用方法，适用于权利要求1-8任一项所述的装置，其特征在于，所述使用方法包括如下步骤：

10.如权利要求9所述的使用方法，其特征在于：当所述装置包括与两坩埚罩连接的第一电机组和与两冷却板连接的第二电机组时，第一电机组通过传动杆带动两坩埚罩拼合或远离坩埚；第二电机组通过传动杆带动所述冷却板远离坩埚或与坩埚外壁接触；通过第一电机组和第二电机组的配合使所述坩埚罩与所述冷却板不在同一时间拼合。

技术总结
本发明公开了一种新型蒸镀坩埚装置及使用方法，涉及蒸镀坩埚技术领域。所述装置包括：加热丝，绕设于所述坩埚外部，用于加热使坩埚升温；两坩埚罩，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，且拼合后包裹于所述坩埚四周，用于对坩埚进行保温，当坩埚需要冷却时，两坩埚罩可分离并远离坩埚；腔壁，用于形成一可抽真空的容置空间；两冷却板，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，在两坩埚罩分离时，两冷却板可向所述坩埚方向移动至与坩埚外壁接触，且底部与腔壁内壁的底面接触；多个传热翅片，与所述冷却板连接且位于所述腔壁内部容置空间内。本发明可实现在坩埚加热时的保温以及在坩埚冷却时快速降温，提高了热量传递效率，缩短了降温时间。

技术研发人员：温质康,黄世勋,乔小平
受保护的技术使用者：华映科技（集团）股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15