一种加热传输装置及镀膜设备的制作方法

本发明涉及加热装置，具体涉及一种用于载板传输过程中加热的加热传输装置。

背景技术：

1、在pecvd镀膜过程中，需要在载板传输过程中对载板进行加热。目前对载板加热的方式主要有两种：一种是在腔体的内壁上安装发热元件，利用发热元件的热辐射对腔体内的载板进行加热，并在腔体内设置传送机构，通过传送机构将载板传入和送出腔体。因为热辐射的传热效率低于热传导的传热效率，这也导致此方案中载板升温较慢。

2、另一种是用加热辊传输载板，利用加热辊的转动实现对载板的传输，同时利用加热辊与载板之间的热传导和热辐射对载板进行加热。虽然此方案能够实现在载板传输的同时，利用加热辊与载板之间的接触进行热传导，但是加热辊与载板之间理论上只是线接触，二者间的接触面较小，这也使得加热辊与载板之间通过热传导方式传递的热量较少，载板的升温较慢。再者，由于加热辊的热辐射是沿加热辊的周向向外辐射热量，也就只有特定角度范围内辐射的热量才可能传递至载板，所以此方案中热辐射的热量利用效率较低。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种加热传输装置，用于提高加热传输装置对载板的传热效率。

2、另外，本发明的目的还在于提供一种使用上述加热传输装置的镀膜设备。

3、根据第一方面，一种实施例中提供一种加热传输装置，所述加热传输装置用于对载板进行加热和传输，加热传输装置包括：

4、支撑架；

5、加热板，所述加热板的数量为两个以上，所述加热板可摆动的装配在所述支撑架上，所述加热板具有加热面；

6、摩擦旋转驱动件，所述摩擦旋转驱动件转动装配在所述加热板的端部；

7、第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动所述摩擦旋转驱动件转动；

8、以及第二驱动机构，所述第二驱动机构用于驱动所述加热板摆动；

9、所述加热板的摆动行程中具有加热状态位和传输状态位；

10、在所述加热板处于所述加热状态位时，所述加热板的所述加热面与所述载板的板面实现面接触；

11、在所述加热板处于所述传输状态位时，所述加热板的所述加热面能够与所述载板的板面分离开，所述摩擦旋转驱动件与所述载板接触。

12、进一步的，一种实施例中，用于对同一个所述载板加热的各所述加热板的摆动轴线所在平面为基准平面；

13、在所述加热板处于所述加热状态位时，用于对同一个所述载板加热的各所述加热板的所述加热面共面，所述摩擦旋转驱动件处于所述加热面所在平面以下，以使所述加热面能够与所述载板导热接触；

14、所述摩擦旋转驱动件具有用于与所述载板接触的摩擦接触面；在所述加热板处于所述传输状态位时，所述摩擦旋转驱动件轴线处于所述基准平面上侧，所述加热板上处于所述基准平面之上的任意一点与所述基准平面的垂直距离小于所述摩擦接触面上各点与所述基准平面的垂直距离中的最大值，以使所述摩擦旋转驱动件能够与所述载板接触驱动所述载板运动。

15、进一步的，一种实施例中，所述摩擦旋转驱动件为传输辊，所述传输辊的两端转动装配在所述加热板上，所述加热板上转动装配有支撑轮，所述支撑轮的数量为至少两个，所述支撑轮的转动轴线与所述传输辊的转动轴线平行，至少两个所述支撑轮与所述传输辊的中部下侧同时接触以支撑所述传输辊。

16、更进一步的，一种实施例中，所述传输辊包括辊轴和套在所述辊轴上的辊套，所述辊套的数量有至少两个，至少两个所述辊套沿轴向间隔布置，所述支撑轮与处于所述辊轴中部的所述辊套接触。

17、进一步的，一种实施例中，所述第一驱动机构包括驱动轮、挠性传动件和第一电机，所述驱动轮的数量为至少两个，所述摩擦旋转驱动件与至少一个所述驱动轮对应并同轴固定，所述挠性传动件连接相邻所述加热板上所述摩擦旋转驱动件所对应的所述驱动轮，且通过所述挠性传动件连接的两个所述驱动轮之间的间距在所述加热板摆动过程中保持不变，所述第一电机与至少一个所述驱动轮传动连接。

18、更进一步的，一种实施例中，所述驱动轮为链轮，所述挠性传动件为链条；或者所述驱动轮为同步轮，所述挠性传动件为同步带。

19、进一步的，一种实施例中，所述第二驱动机构包括驱动杆、支撑杆和动力源，所述动力源用于驱动所述驱动杆在所述支撑架上直线往复运动，所述支撑杆与所述加热板活动连接，且与所述驱动杆活动连接；在所述驱动杆直线往复运动过程中，所述驱动杆正向运动时，能够使所述支撑杆撑起所述加热板，并使所述加热板由加热状态位运动至所述传输状态位；所述驱动杆反向运动时，能够使所述支撑杆解除对所述加热板的支撑作用，使所述加热板由所述传输状态位运动至所述加热状态位。

20、更进一步的，一种实施例中，所述加热板处于所述加热状态位时，所述支撑架支撑所述加热板并保持所述加热板的状态，所述支撑杆与所述加热板连接处设有保护结构，所述保护结构用于在所述加热板运动至所述加热状态位时使所述驱动杆能够继续反向运动。

21、更进一步的，一种实施例中，所述保护结构包括长孔和与所述长孔配合的销轴，所述销轴能够在所述长孔内沿所述长孔的长度方向活动，所述长孔和所述销轴中一个设于所述支撑杆上，另一个设于所述加热板上。

22、更进一步的，一种实施例中，所述驱动杆与至少两个所述支撑杆活动连接，以使所述驱动杆能够同时驱动至少两个所述加热板活动。

23、进一步的，一种实施例中，所述加热状态位为水平状态位，在所述加热板处于所述加热状态位时，各所述加热板的所述加热面呈水平状态。

24、更进一步的，一种实施例中，在所述加热状态位时，各所述加热板的摆动轴线与所述摩擦旋转驱动件的旋转轴线共面，所述摩擦旋转驱动件的半径为r，所述加热板的摆动轴线到所述摩擦旋转驱动件轴线的垂直距离连线为第一线段，所述第一线段的长度为l1，所述加热板的摆动轴线与所述加热板上所述摩擦旋转驱动件所在端部的顶缘之间垂直距离连线为第二线段，所述第二线段的长度为l2；所述加热板处于所述加热状态位时，所述第一线段的水平夹角为0，所述第二线段的水平夹角为α，满足：l2sinα≥r；当所述加热板处于所述传输状态位时，所述第一线段的水平夹角为γ，所述第二线段的水平夹角为δ，满足：l2sinδ＜l1sinγ+r。

25、第二方面，一种实施例中提供一种镀膜设备，包括镀膜装置和如上述任意一个实施例中所述的加热传输装置，所述加热传输装置用于向所述镀膜装置传输所述载板。

26、根据上述实施例的加热传输装置，加热装置中的载板处于加热状态位时，通过加热面用于与载板的板面实现面接触导热，进而实现对载板的热传导加热，由于加热板的加热面与载板接触面积较大，加热板与载板之间通过热传导的方式传递的热量较多，能够提高载板的升温速度。载板加热完成后，通过第二驱动机构驱动加热板摆动，改变加热板的状态，使加热板处于传输状态位，此时摩擦旋转驱动件能够与载板接触，在第一驱动机构的动力作用下，驱动载板运动，实现对载板的传输。综上分析，本技术的加热传输装置通过切换加热板的状态，实现对载板的加热和传输，由于通过加热板与载板的板面实现面接触进行热传导传递热量，能够使载板较快升温。