1.一种低氧含量的铁铬铝合金粉末的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的低氧含量的铁铬铝合金粉末的制备方法，其特征在于，所述混合液体中水和微蚀剂的比例为10：1-1.5，所述微蚀剂为硫酸/过氧化氢微蚀剂。
3.根据权利要求1所述的低氧含量的铁铬铝合金粉末的制备方法，其特征在于，所述步骤1的气水联合雾化造粒中，气雾化的气压为0.1-1mpa，气体喷射方向与竖直向下方向的夹角为30-80°；水雾化的液体压力为30-150mpa，水的喷射方向与竖直向下方向的夹角为30-80°。
4.根据权利要求1所述的低氧含量的铁铬铝合金粉末的制备方法，其特征在于，所述步骤2中，球磨的具体步骤为：将铁粉b、铬粉b或铝粉b和氧化锆球按质量比为1:5的比例加入球磨罐中，充入惰性气体并加入异丙醇进行球磨，其中球磨转速为200-500r/min，球磨时间为1—5h。
5.一种低氧含量的铁铬铝合金粉末，其特征在于，采用如权利要求1-4任一所述的低氧含量的铁铬铝合金粉末的制备方法制得，所述铁铬铝合金粉末中铁、铬、铝的质量比为94-97：2-4：1-2。
6.一种铁铬铝合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
7.根据权利要求6所述的铁铬铝合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤a的具体步骤为：将低氧含量的铁铬铝合金粉末在惰性气体保护下投入到密炼机中进行搅拌加热，待粉末加热至150-200℃时，加入粘结剂，压下密炼机压头，按照10-30转/min的转速、160-190℃的混炼温度继续搅拌60—120min，得到混炼均匀的喂料。
8.根据权利要求7所述的铁铬铝合金靶材的制备方法，其特征在于，所述粘结剂的量为低氧含量的铁铬铝合金粉末的质量的5％-20％；所述粘结剂由15-30％的石蜡、15-25％的微晶蜡、20-25％的棕榈蜡、15-30％的高分子聚合物以及1-5％的表面活性剂组成；所述分子聚合物为聚乙烯、聚乙烯醇、邻苯二甲酸酯、邻苯二甲酸二酯、邻苯二甲酸二甲酯中的一种或多种，所述表面活性剂为硬脂酸、油酸、硬脂酸钙或硬脂酸镁。
9.根据权利要求6所述的铁铬铝合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤b的具体步骤为：将喂料加入注塑机中，螺杆塑化，挤入模具型腔，填充后冷却，通过顶出机构顶出靶坯，获得靶坯；其中，注射压力为20-50mpa，注射温度为180-220℃，冷却时长为5—15s。
10.一种铁铬铝合金靶材，其特征在于，由权利要求6-9任一所述的铁铬铝合金靶材的制备方法制得的铁铬铝合金靶材经过机械加工得到。