一种镀膜设备的制作方法

本技术涉及镀膜，尤其是涉及一种镀膜设备。

背景技术：

1、在相关技术中，环形镀膜设备气体的导入或排出通常采用单一通气口进行通气排气，能够满足小尺寸的样品基片的生产需求。单一通气口注入的气体扩散能力有限，且单一通气口进行排气的排气速率也有限，对于大尺寸的样品基片而言，容易导致样品基片表面各位置的气体供给速度与排出速度不同，从而使得样品基片表面各位置气压不同、气体密度不同，导致成膜后的厚度均匀性等指标难以达标，进而导致成膜质量的降低。因此，随着样品基片尺寸的不断增大以及对样品基片的成膜均匀性和成膜质量的要求越来越高，单一通气口进行排气和注入气体不能满足相应的生产需求。为此，有必要针对上述问题进行研究改进。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种镀膜设备，能够确保镀膜设备的镀膜效果。

2、根据本实用新型实施例的镀膜设备，包括：

3、主体，具有环绕呈环形的侧壁，所述主体设置有多个第一导气孔，各所述第一导气孔沿所述主体的周向均匀分布于所述侧壁；

4、第一汇流管，设置有第一合流口和多个第一分流口，所述第一合流口和各所述第一分流口分别连通所述第一汇流管，所述第一合流口至各所述第一分流口之间的管线长度相等，所述第一合流口用于连接出气装置或者吸气装置；

5、多个第二汇流管，所述第二汇流管连接所述侧壁与所述第一汇流管，各所述第二汇流管分别连通其中一个所述第一分流口与部分所述第一导气孔，所述第一合流口至分别对应连通的所述第一导气孔的管线长度相同。

6、根据本实用新型实施例的镀膜设备，至少具有如下有益效果：通过控制第一合流口至各第一分流口之间的管线长度，能够减小气体从第一合流口通入第一汇流管并从各第一分流口流出时，各第一分流口处的气体的浓度和流速的差异，进而使得气体的输送均匀。或者，当气体从第一合流口对各第一分流口进行抽吸时，能够减小各第一分流口的抽吸力的差值，进而使得气体的抽吸均匀。且通过第二汇流管连通第一汇流管与第一导气孔并控制第二汇流管的管线长度，使得气体在第一导气孔和第一合流口之间的管线长度相同，进而使得各第一导气孔的导气均匀，从而确保镀膜设备的镀膜效果。

7、根据本实用新型的一些实施例，所述第二汇流管设置有第二合流口和多个第二分流口，所述第二合流口和各所述第二分流口分别连通所述第二汇流管，所述第二合流口至各所述第二分流口之间的管线长度相等，所述第二合流口连通所述第一分流口，各所述第二分流口与多个所述第一导气孔一一连通。

8、根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜设备还包括多个配气组，各所述配气组分别连通其中一个所述第一分流口和多个所述第一导气孔；在同一所述配气组中，所述配气组包括由第一配气层级至第n配气层级依次递增的配气层级，第n配气层级包括2n-1个所述第二汇流管，所述第一配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与所述第一分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与第n-1配气层级的所述第二汇流管的其中一个所述第二分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的各所述第二分流口与多个所述第一导气孔一一连通，其中，n为大于1的自然数。

9、根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜设备还包括：

10、环形管，所述环形管设置有多个第三合流口和多个第三分流口，所述环形管连接于所述侧壁，各所述第三分流口与各所述第一导气孔一一连通，各所述第三合流口分别位于相邻的两个所述第三分流口之间，且所述第三合流口至相邻的两个所述第三分流口之间的管线长度相等；

11、多个配气组，各所述配气组分别连通其中一个所述第一分流口和多个所述第一导气孔；在同一所述配气组中，所述配气组包括由第一配气层级至第n配气层级依次递增的配气层级，第n配气层级包括2n-1个所述第二汇流管，所述第一配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与所述第一分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与第n-1配气层级的所述第二汇流管的其中一个所述第二分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的各所述第二分流口与多个所述第三合流口一一连通，其中，n为大于1的自然数。

12、根据本实用新型的一些实施例，所述第一合流口位于环形的所述侧壁的圆心处。

13、根据本实用新型的一些实施例，所述第一汇流管、各所述第一导气孔以及各所述第二汇流管均位于同一平面上。

14、根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜设备还包括第一控制阀，所述第一控制阀与所述第一汇流管连接，用于控制所述第一汇流管内的气体流通；和/或，还包括多个第二控制阀，各所述第二控制阀分别与多个所述第二汇流管一一连接，用于控制所述第二汇流管内的气体流通。

15、根据本实用新型的一些实施例，所述侧壁的周向的外侧还设置有工作空间，所述第一导气孔的一端与所述工作空间连通，所述第一导气孔的另一端与所述第二汇流管连通，所述镀膜设备还包括均气板和均气件，所述均气件连接于所述主体，所述均气件设置有环形的均气孔，各所述第一导气孔均连通于所述均气孔，所述均气板设置于所述均气孔内，所述均气板设置有多个通孔，在所述第一导气孔的导气方向上，所述通孔与所述第一导气孔的孔口至少错开一部分，和/或，所述通孔的孔径小于所述第一导气孔的孔径。

16、根据本实用新型的一些实施例，所述均气孔包括互相连通的第一孔道、第二孔道和第三孔道，所述第一孔道、第二孔道和所述第三孔道沿背离所述第一导气孔的方向依次设置，且所述第一孔道、第二孔道和所述第三孔道的孔径依次减小。

17、根据本实用新型的一些实施例，所述主体还设置有多个第二导气孔，各所述第二导气孔沿所述主体的周向均匀分布于所述侧壁，所述镀膜设备还包括导气管道，所述导气管道与所述第二导气孔连通，其中，所述导气管道与所述第一合流口中的一个用于与出气装置连接，另一个用于与吸气装置连接。

18、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二汇流管设置有第二合流口和多个第二分流口，所述第二合流口和各所述第二分流口分别连通所述第二汇流管，所述第二合流口至各所述第二分流口之间的管线长度相等，所述第二合流口连通所述第一分流口，各所述第二分流口与多个所述第一导气孔一一连通。

3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，还包括多个配气组，各所述配气组分别连通其中一个所述第一分流口和多个所述第一导气孔；在同一所述配气组中，所述配气组包括由第一配气层级至第n配气层级依次递增的配气层级，第n配气层级包括2n-1个所述第二汇流管，所述第一配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与所述第一分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与第n-1配气层级的所述第二汇流管的其中一个所述第二分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的各所述第二分流口与多个所述第一导气孔一一连通，其中，n为大于1的自然数。

4.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一合流口位于环形的所述侧壁的圆心处。

6.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一汇流管、各所述第一导气孔以及各所述第二汇流管均位于同一平面上。

7.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，还包括第一控制阀，所述第一控制阀与所述第一汇流管连接，用于控制所述第一汇流管内的气体流通；和/或，还包括多个第二控制阀，各所述第二控制阀分别与多个所述第二汇流管一一连接，用于控制所述第二汇流管内的气体流通。

8.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述侧壁的周向的外侧还设置有工作空间，所述第一导气孔的一端与所述工作空间连通，所述第一导气孔的另一端与所述第二汇流管连通，所述镀膜设备还包括均气板和均气件，所述均气件连接于所述主体，所述均气件设置有环形的均气孔，各所述第一导气孔均连通于所述均气孔，所述均气板设置于所述均气孔内，所述均气板设置有多个通孔，在所述第一导气孔的导气方向上，所述通孔与所述第一导气孔的孔口至少错开一部分，和/或，所述通孔的孔径小于所述第一导气孔的孔径。

9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述均气孔包括互相连通的第一孔道、第二孔道和第三孔道，所述第一孔道、第二孔道和所述第三孔道沿背离所述第一导气孔的方向依次设置，且所述第一孔道、第二孔道和所述第三孔道的孔径依次减小。

10.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述主体还设置有多个第二导气孔，各所述第二导气孔沿所述主体的周向均匀分布于所述侧壁，所述镀膜设备还包括导气管道，所述导气管道与所述第二导气孔连通，其中，所述导气管道与所述第一合流口中的一个用于与出气装置连接，另一个用于与吸气装置连接。

技术总结
本技术公开了一种镀膜设备。镀膜设备包括主体、第一汇流管和多个第二汇流管。主体具有环绕呈环形的侧壁，主体设置有多个第一导气孔，各第一导气孔沿主体的周向均匀分布于侧壁。第一汇流管设置有第一合流口和多个第一分流口，第一合流口用于连接出气装置或者吸气装置，第一合流口和各第一分流口分别连通第一汇流管，第一合流口至各第一分流口之间的管线长度相等，第二汇流管用于第一分流口与第一导气孔连通并使得第一合流口至分别对应连通的第一导气孔的管线长度相同。通过应用第一汇流管对输送或者抽吸的气体进行配气，能够使得气体的输送均匀或者各第一导气孔的抽吸力度均匀，进而使得各第一导气孔的导气均匀，确保镀膜效果。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：深圳市原速光电科技有限公司
技术研发日：20230118
技术公布日：2024/1/12