一种载运工装及其载具的制作方法

本技术涉及电子产品生产设备，尤其涉及一种载运工装及其载具。

背景技术：

1、在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。

2、溅镀过程中，产品4受到高速运动粒子的撞击，会导致温度升高，过高的温度可能烧坏产品4的基材，影响镀层质量。同时，对溅镀使用胶带的耐高温要求也提高。

3、为了降低溅镀过程中的产品4温度，需要将溅镀过程中产生的热量导出。目前，在对产品4进行溅镀时，首先将产品4粘贴到耐高温的胶带6上，然后将耐高温的胶带6粘贴固定在胶带承托环5上，产品置于胶带承托环5内部的空心部分，胶带承托环5通常采用四方形的铁环，然后将胶带承托环5和产品4一起放置在金属托盘上，通过金属托盘将溅镀过程中产生的热量导出。但是，由于设备的传送机构承重有限，金属托盘的厚度也受到限制，金属托盘的导热能力收到限制，溅镀过程中散热效果不好，降温不明显，影响镀层质量，进而影响产品4质量。

技术实现思路

1、为了克服上述缺陷，本实用新型所解决的第一个技术问题是，提供一种载具，在对产品进行溅镀的过程中，能够将产生的热量导出，对产品进行降温，保证产品镀层的质量，进而保证产品的质量。

2、本实用新型的一种载具，包括载具本体，所述载具本体由导热性材料制成，所述载具本体包括用于连接胶带承托环的胶带承托环连接部，所述胶带承托环连接部围成用于放置产品的产品放置部。

3、进一步地，所述载具本体上设置有导热槽。

4、进一步地，所述导热槽包括x向导热槽和y向导热槽，所述x向导热槽与所述y向导热槽交叉布置。

5、进一步地，所述导热槽的宽度为1～2mm，所述导热槽的深度为3.5～4.5mm。

6、进一步地，所述产品放置部为曲面结构。

7、进一步地，所述胶带承托环连接部还设置有磁性件。

8、进一步地，所述胶带承托环连接部的外侧部设置有避让槽。

9、基于一个总的发明构思，本实用新型所解决的第二个技术问题是，提供一种载运工装，在对产品进行溅镀的过程中，能够将产生的热量导出，对产品进行降温，保证产品镀层的质量，进而保证产品的质量。

10、一种载运工装，包括如上述的载具。

11、进一步地，所述载运工装包括载台，所述载台由导热性材料制成，所述载具设置于所述载台上。

12、进一步地，所述载具可拆卸设置于所述载台上。

13、采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是，载具包括载具本体，载具本体由导热性材料制成，载具本体包括用于连接胶带承托环的胶带承托环连接部，胶带承托环连接部围成用于放置产品的产品放置部。在对产品进行溅镀的过程中，由于载具的载具本体由导热性材料制成，导热性材料制成的载具本体能够将产生的热量导出，对产品进行降温，保证产品镀层的质量，进而保证产品的质量。

技术特征：

1.一种载具，其特征在于，包括载具本体，所述载具本体由导热性材料制成，所述载具本体包括用于连接胶带承托环的胶带承托环连接部，所述胶带承托环连接部围成用于放置产品的产品放置部。

2.如权利要求1所述的载具，其特征在于，所述载具本体上设置有导热槽。

3.如权利要求2所述的载具，其特征在于，所述导热槽包括x向导热槽和y向导热槽，所述x向导热槽与所述y向导热槽交叉布置。

4.如权利要求2所述的载具，其特征在于，所述导热槽的宽度为1～2mm，所述导热槽的深度为3.5～4.5mm。

5.如权利要求1所述的载具，其特征在于，所述产品放置部为曲面结构。

6.如权利要求1所述的载具，其特征在于，所述胶带承托环连接部还设置有磁性件。

7.如权利要求1所述的载具，其特征在于，所述胶带承托环连接部的外侧部设置有避让槽。

8.一种载运工装，其特征在于，包括如权利要求1至7任一项所述的载具。

9.如权利要求8所述的载运工装，其特征在于，所述载运工装包括载台，所述载台由导热性材料制成，所述载具设置于所述载台上。

10.如权利要求9所述的载运工装，其特征在于，所述载具可拆卸设置于所述载台上。

技术总结
本技术公开了一种载运工装及其载具，载具包括载具本体，载具本体由导热性材料制成，载具本体包括用于连接胶带承托环的胶带承托环连接部，胶带承托环连接部围成用于放置产品的产品放置部。在对产品进行溅镀的过程中，载具的载具本体由导热性材料制成，导热性材料制成的载具本体能够将产生的热量导出，对产品进行降温，保证产品镀层的质量，进而保证产品的质量。

技术研发人员：姚晓艳,韩旭,詹新明
受保护的技术使用者：青岛歌尔微电子研究院有限公司
技术研发日：20230310
技术公布日：2024/1/13