一种晶圆压紧装置的制作方法

本技术属于晶圆加工，更具体而言，涉及一种晶圆压紧装置。

背景技术：

1、晶圆磨边机是用于对晶圆边缘进行研磨的设备，晶圆磨边机采用砂轮对晶圆的外边缘进行研磨，在研磨的过程中，对晶圆的稳定性有较高的要求，现有技术中主要通过压紧装置将晶圆压紧在主轴上，避免晶圆脱离主轴。

2、cn212553075u就公开了一种晶圆压紧机构，包括压紧轴体、座体和连接于座体的第一驱动装置，座体固定连接在晶圆磨边机的机架上，压紧轴体与加工主轴同轴设置，且压紧轴体位于加工主轴的上方，压紧轴体转动连接于第一驱动装置，第一驱动装置驱动压紧轴体沿其轴向运动以靠近或远离加工主轴；上述晶圆压紧机构，是利用压紧轴体来压紧晶圆，让晶圆不会偏移；但是在实践中发现，压紧轴体与晶圆是刚性接触，容易在晶圆表面留下按压痕迹，影响晶圆品质，且无法调节压紧力度，难以适应不同厚度的晶圆的压紧。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆压紧装置，旨在利用弹性体按压部来压紧晶圆，并可以调整弹性体按压部的下移距离，从而改变压紧力度，以此可以适应不同厚度的晶圆的压紧，且不会压伤晶圆表面。

2、根据本实用新型的第一方面，提供了一种晶圆压紧装置，包括机架以及设置在机架上的压紧模块和用于放置晶圆的主轴，所述压紧模块包括压紧轴体、基座以及设置在基座上用于驱动压紧轴体升降的第一驱动源，所述压紧轴体与主轴同轴布置，所述压紧轴体的下端连接有一万向节，所述万向节远离压紧轴体的一端具有弹性体按压部；

3、所述基座上滑动连接有安装板，所述安装板连接第一驱动源和压紧轴体，所述基座上设有第一限位部，所述第一限位部位于安装板的下方用于限制安装板下移，所述第一限位部的高度可调。

4、在上述的晶圆压紧装置中，所述安装板上设有第二驱动源，所述压紧轴体连接在第二驱动源的输出端，所述第二驱动源驱动压紧轴体上下移动；

5、所述第一驱动源的行程大于所述第二驱动源的行程。

6、在上述的晶圆压紧装置中，所述安装板上可拆卸固定有一支撑架，所述第二驱动源布置在支撑架上。

7、在上述的晶圆压紧装置中，所述安装板为长方体状，所述安装板靠近主轴的一端的边角处设有一缺口，所述支撑架设置在缺口中。

8、在上述的晶圆压紧装置中，所述第一限位部包括第一螺杆，所述第一螺杆螺纹连接在基座上，所述第一螺杆的轴线与压紧轴体的轴线相平行，所述第一螺杆的上端用于与安装板接触。

9、在上述的晶圆压紧装置中，所述基座上设有第一缓冲器，所述第一缓冲器位于安装板的下方；

10、当所述第一缓冲器未受压时，所述第一缓冲器的上端高于所述第一螺杆的上端，第一缓冲器的上端与第一螺杆的上端的间距小于第一缓冲器的行程。

11、在上述的晶圆压紧装置中，所述基座上设有第二限位部，所述第二限位部位于安装板的上方用于限制安装板上移。

12、在上述的晶圆压紧装置中，所述第二限位部包括第二螺杆，所述第二螺杆螺纹连接在基座上，所述第二螺杆的轴线与压紧轴体的轴线相平行，所述第二螺杆的下端用于与安装板接触。

13、在上述的晶圆压紧装置中，所述基座上设有第二缓冲器，所述第二缓冲器位于安装板的上方；

14、当第二缓冲器未受压时，所述第二缓冲器的下端低于所述第二螺杆的下端，第二缓冲器的下端与第二螺杆的下端的间距小于第二缓冲器的行程。

15、在上述的晶圆压紧装置中，所述基座上设有导轨组件，所述安装板与导轨组件滑动配合。

16、本实用新型上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：

17、本实用新型中，利用万向节来压紧晶圆，不会干涉晶圆的旋转，且弹性体按压部具有弹性性能，与晶圆接触时是柔性接触，在按压时不会划伤晶圆表面，不会在晶圆表面产生按压痕迹；

18、同时，设置了第一限位部，当安装板下移触碰到第一限位部后，便会停止移动，通过调整第一限位部的高度，便可调整安装板的下移距离，从而改变弹性体按压部的下移距离，结合弹性体按压部的弹性性能，可以改变弹性体按压部压紧晶圆时的压紧力度，即使不同厚度的晶圆也可以适用。

技术特征：

1.一种晶圆压紧装置，包括机架以及设置在机架上的压紧模块和用于放置晶圆的主轴，所述压紧模块包括压紧轴体、基座以及设置在基座上用于驱动压紧轴体升降的第一驱动源，所述压紧轴体与主轴同轴布置，其特征在于，所述压紧轴体的下端连接有一万向节，所述万向节远离压紧轴体的一端具有弹性体按压部；

2.根据权利要求1所述的晶圆压紧装置，其特征在于，所述安装板上设有第二驱动源，所述压紧轴体连接在第二驱动源的输出端，所述第二驱动源驱动压紧轴体上下移动；

3.根据权利要求2所述的晶圆压紧装置，其特征在于，所述安装板上可拆卸固定有一支撑架，所述第二驱动源布置在支撑架上。

4.根据权利要求3所述的晶圆压紧装置，其特征在于，所述安装板为长方体状，所述安装板靠近主轴的一端的边角处设有一缺口，所述支撑架设置在缺口中。

5.根据权利要求1所述的晶圆压紧装置，其特征在于，所述第一限位部包括第一螺杆，所述第一螺杆螺纹连接在基座上，所述第一螺杆的轴线与压紧轴体的轴线相平行，所述第一螺杆的上端用于与安装板接触。

6.根据权利要求5所述的晶圆压紧装置，其特征在于，所述基座上设有第一缓冲器，所述第一缓冲器位于安装板的下方；

7.根据权利要求1所述的晶圆压紧装置，其特征在于，所述基座上设有第二限位部，所述第二限位部位于安装板的上方用于限制安装板上移。

8.根据权利要求7所述的晶圆压紧装置，其特征在于，所述第二限位部包括第二螺杆，所述第二螺杆螺纹连接在基座上，所述第二螺杆的轴线与压紧轴体的轴线相平行，所述第二螺杆的下端用于与安装板接触。

9.根据权利要求8所述的晶圆压紧装置，其特征在于，所述基座上设有第二缓冲器，所述第二缓冲器位于安装板的上方；

10.根据权利要求1所述的晶圆压紧装置，其特征在于，所述基座上设有导轨组件，所述安装板与导轨组件滑动配合。

技术总结
本技术公开了一种晶圆压紧装置，旨在利用弹性体按压部来压紧晶圆，并可以调整弹性体按压部的下移距离，从而改变压紧力度，以此可以适应不同厚度的晶圆的压紧，且不会压伤晶圆表面，其技术方案：一种晶圆压紧装置，包括机架以及设置在机架上的压紧模块和用于放置晶圆的主轴，所述压紧模块包括压紧轴体、基座以及设置在基座上用于驱动压紧轴体升降的第一驱动源，所述压紧轴体与主轴同轴布置，所述压紧轴体的下端连接有一万向节，所述万向节远离压紧轴体的一端具有弹性体按压部；属于晶圆加工技术领域。

技术研发人员：邱文金,罗家明,汤灿东,吴伟平
受保护的技术使用者：广东长信精密设备有限公司
技术研发日：20230403
技术公布日：2024/1/15