防护罩以及具有防护罩的夹持装置的制作方法

本技术涉及显示面板制造领域的防护罩，具体为一种用于夹持显示面板的夹持装置的防护罩。

背景技术：

1、在显示面板的制造领域中，在薄膜晶体管制程中广泛采用物理气相沉积(pvd)技术沉积金属与金属氧化物膜层，在沉积大尺寸面板时玻璃基板在运载台车上需要使用由内框和外框组成的托盘固定。另一方面，运载台车的托盘要实现灵活地传送和装载玻璃基板，则需要一种能够使托盘能够轻松地打开和闭合的夹持装置。然而，在生产工艺过程中，生产工艺所产生之灰尘、水气、杂质等、以及夹持装置本身磨耗产生的微尘等异物容易堆积于夹持装置的间隙处。具体地，该微尘为夹持装置的活动件因摩擦产生的铁屑以及pvd过程中沉积在夹持装置上的铜膜。这些附着于夹持装置上的微尘可能会掉落在玻璃基板、显示面板等的表面上，导致后续工艺中这些异物造成产品的不良，并影响产品质量或良率。

技术实现思路

1、针对现有技术的上述不足，本实用新型提供了一种覆盖于夹持装置的防护罩，解决了附着于夹持装置上的铁屑以及pvd过程中沉积在夹持装置上的铜膜掉落在玻璃基板、显示面板等的表面上的问题。

2、本实用新型提供一种防护罩，用于覆盖夹持机构，所述夹持机构用于夹持加工件，所述防护罩包括保护部以及从所述保护部延伸的固定部，所述固定部与所述夹持机构的底座接触，所述保护部覆盖所述夹持机构的弹簧，以防止所述夹持机构的运动过程中异物掉落到所述加工件上。

3、在某一实施方式中，所述保护部包括本体以及从所述本体的一侧延伸形成的第一保护盖和第二保护盖，所述本体与所述夹持机构的背面接触，所述第一保护盖和所述第二保护盖平行设置并所述第一保护盖和所述第二保护盖之间形成间隔，该间隔中设有所述夹持机构的压杆，所述第一保护盖和所述第二保护盖分别覆盖所述夹持机构的弹簧。

4、在某一实施方式中，所述第一保护盖和所述第二保护盖呈u字形。

5、在某一实施方式中，所述固定部包括第一固定部和第二固定部，所述第一固定部从所述第一保护盖的远离所述本体的一侧延伸形成，所述第二固定部从所述第二保护盖的远离所述本体的一侧延伸形成，所述第一固定部和所述第二固定部分别与所述夹持机构可拆卸地连接。

6、在某一实施方式中，所述第一保护盖和所述第二保护盖分别与所述夹持机构的底座之间设置有密封圈。

7、在某一实施方式中，所述固定部的表面与所述保护部的顶面成台阶结构。

8、在某一实施方式中，所述防护罩为一体成型的构成在某一实施方式中，所述防护罩为钛材质。

9、在某一实施方式中，所述防护罩的表面进行了喷砂、熔射和淬火处理。

10、本实用新型还提供一种用于夹持加工件的夹持装置，其包括包括夹持机构，所述夹持装置包括上述的防护罩。相较于现有技术，本实用新型提供的防护罩由于覆盖夹持机构的弹簧，形成有收容弹簧等活动件的收容空间，因此在夹持机构中因活动件的摩擦产生的异物能够被保留在该收容空间内，不会掉落在玻璃基板、显示面板等加工件上。且本实用新型提供的防护罩由于为钛材质，钛材质的重量轻、强度高、耐高温，抗拉/倔强度高不易变形，且其抗氧化性强，不容易被腐蚀。又由于防护罩经过淬火、熔射、表面喷砂处理，能够在防护罩表面形成粗糙的表面，能够防止铜膜沉积，进而能够防止铜膜剥落造成的铜屑，防止铜屑在玻璃基板上造成显示器件失效不良。

技术特征：

1.一种防护罩，用于覆盖夹持机构，所述夹持机构用于夹持加工件，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的防护罩，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的防护罩，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的防护罩，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的防护罩，其特征在于，所述第一保护盖和所述第二保护盖分别与所述夹持机构的底座之间设置有密封圈。

6.根据权利要求1所述的防护罩，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的防护罩，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的防护罩，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的防护罩，其特征在于，

10.一种夹持装置，用于夹持加工件，其包括夹持机构，其特征在于，

技术总结
本技术提供一种用于覆盖夹持机构的防护罩，该夹持机构用于夹持加工件，防护罩包括保护部以及从保护部延伸的固定部，固定部与夹持机构的底座接触，保护部覆盖夹持机构的弹簧，以防止夹持机构的运动过程中异物掉落到加工件上。

技术研发人员：陈鹏飞,薛仕明,张志堃
受保护的技术使用者：超视界显示技术有限公司
技术研发日：20230629
技术公布日：2024/1/22