一种用于团簇束流源的产生及冷却装置的制作方法

本技术涉及冷却装置，尤其涉及一种用于团簇束流源的产生及冷却装置。

背景技术：

1、近年来，随着原子制造的快速发展，团簇、单原子单分子器件等新材料以及新器件的需求日益扩大，通过束流源制备团簇成为了满足原子制造材料需求的主要手段。比如我们可以通过磁控溅射方式溅射出团簇原子气，通过气相冷凝使原子气冷凝为簇，再通过超声膨胀和离子光学系统将团簇聚焦成为束流。在飞行过程中对适合加工的团簇进行转向，进行不同方式的处理。但是通常在团簇束流源的超膨胀以及冷却系统的装置中，不能很好的对气体进行冷却，影响后续生产。

2、因此设计一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，以解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，以解决上述问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，包括：

3、外套筒；

4、密封盖，所述密封盖安装在所述外套筒的一端，所述密封盖上固定有柱体，所述柱体上开设有第一通孔；

5、底座，所述底座安装在所述外套筒的另一端，所述底座的顶部开设有圆槽，所述圆槽的内部开设有第二通孔，所述第二通孔的两侧开设有接头孔，所述圆槽的内部安装有连接组件，所述接头孔的内部安装有快拧接头，所述第二通孔的一端安装有进气管。

6、进一步的，所述底座为不锈钢材质，所述底座的四周固定有u型槽口。

7、进一步的，所述第二通孔的直径为3mm，所述第二通孔用于气体流通用。

8、进一步的，两个所述接头孔的直径为6mm，所述快拧接头焊接或者螺纹连接在所述接头孔上，氮气从一个快拧接头进入所述外套筒内，从另外一个快拧接头排出。

9、进一步的，所述密封盖由直径为32mm，厚度为6mm不锈钢柱体制成，所述柱体的直径为16mm，所述第一通孔直径为0.1mm。

10、进一步的，所述连接组件为长70mm，管径8mm的不锈钢管，管道壁厚3mm。

11、进一步的，所述外套筒长为80mm，直径为36mm，壁厚为4mm，所述外套筒与所述密封盖和底座之间通过焊接密封。

12、本实用新型的有益效果是：

13、1、通过将氮气从一个快拧接头进入所述外套筒内，从另外一个快拧接头排出，保持整个装置内部为最低温的条件，实验气体由直径3mm的不锈钢进气管进入焊接绝缘的不锈钢通道，由前段直径为0.1mm的第一通孔流出发生超声膨胀，可以很好的对气体进行冷却。

技术特征：

1.一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，其特征在于，

5.如权利要求4所述的一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，其特征在于，

6.如权利要求5所述的一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，其特征在于，

7.如权利要求6所述的一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，其特征在于，

技术总结
本技术涉及冷却装置技术领域，尤其涉及一种用于团簇束流源的产生及冷却装置，包括：外套筒；密封盖，所述密封盖安装在所述外套筒的一端，所述密封盖上固定有柱体，所述柱体上开设有第一通孔；底座，底座安装在所述外套筒的另一端，底座的顶部开设有圆槽，圆槽的内部开设有第二通孔，所述第二通孔的两侧开设有接头孔，所述圆槽的内部安装有连接组件，所述接头孔的内部安装有快拧接头。本技术通过将氮气从一个快拧接头进入所述外套筒内，从另外一个快拧接头排出，保持整个装置内部为最低温的条件，实验气体由直径3mm的不锈钢进气管进入焊接绝缘的不锈钢通道，由前段直径为0.1mm的第一通孔流出发生超声膨胀，可以很好的对气体进行冷却。

技术研发人员：宋凤麒,曹路,贝茂阳
受保护的技术使用者：江苏集创原子团簇科技研究院有限公司
技术研发日：20230711
技术公布日：2024/1/15