一种便于控温的真空镀膜设备的制作方法

本技术涉及镀膜加工术，具体是一种便于控温的真空镀膜设备。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，真空镀膜机是一种集成化的设备，真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜，再使用冷却设备对腔体进行降温的一种方法，因此对真空镀膜设备的温度控制显得尤为重要。

2、经过检索，公告号为cn207793399u的实用新型名称本实用新型公开本实用新型涉及一种可实现便捷控温的真空镀膜工艺设备及方法，文中提出“设备包括溅射源、基座及腔体，溅射源位于腔体顶部，基座位于腔体内，基座表面和/或腔体内壁上形成有复合镀层，复合镀层自下而上依次包括金属层、第一陶瓷层和第二陶瓷层，第一陶瓷层和第二陶瓷层的材料不同。本发明的真空镀膜工艺设备通过在腔壁内表面和晶圆基座表面沉积复合镀层，复合镀层可以充分地吸收高温工艺套件和晶圆所辐射出来的可见光和近红外光，可大大加速热量从高温工艺套件向低温腔壁传递，以及热量由高温晶圆向低温晶圆基座的传导，由此可以大幅改善工艺套件和晶圆的散热和冷却，非常有利于提高晶圆表面沉积膜层的品质和延长工艺套件的使用寿命”，但是在使用时，由于镀膜原料需要加热才能蒸发出来，成膜后需要冷却降温，才能使得成膜稳定，就导致现在的真空镀膜设备温度控制器循环加热和制冷过程，浪费资源，降温和升温过程延长工作时间，降低工作效率，而且当供给温度稳定时，不能通过分区来控制腔体的温度。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种便于控温的真空镀膜设备，用来解决上述背景技术中提到的，由于镀膜原料需要加热才能蒸发出来，成膜后需要冷却降温，才能使得成膜稳定，就导致现在的真空镀膜设备温度控制器循环加热和制冷过程，浪费资源，降温和升温过程延长工作时间，降低工作效率，而且当供给温度稳定时，不能通过分区来控制腔体的温度的问题。

2、本实用新型提供如下技术方案：一种便于控温的真空镀膜设备，包括镀膜腔体和腔体外围温度控制机构，所述镀膜腔体的侧面设置有温度控制总系统，所述镀膜腔体侧面设置有轨道，所述轨道的侧面设置有抽拉固定座，所述抽拉固定座的上方设置有温度传感器，所述抽拉固定座的侧面设置有密封胶条，所述抽拉固定座的上方设置有镀膜板，所述镀膜腔体的侧面设置有镀膜原料固定板，所述镀膜原料固定板的侧面设置有镀膜原料，所述镀膜腔体的内部设置有加热板，所述加热板的侧面设置有连通口，所述镀膜腔体的顶部设置有真空泵，所述镀膜腔体的侧面设置有腔体外围温度控制机构。

3、优选的，所述轨道关于镀膜腔体左右对称设置，所述抽拉固定座通过轨道与镀膜腔体构成滑动连接。

4、优选的，所述镀膜板与抽拉固定座之间为卡槽连接，所述温度传感器与镀膜板紧密贴合。

5、优选的，所述镀膜原料固定板的外径与镀膜腔体尺寸相匹配，所述镀膜原料固定板与镀膜腔体构成旋转结构，所述镀膜原料与镀膜原料固定板之间为卡槽连接，所述加热板与镀膜腔体之间为卡槽连接，所述连通口关于加热板左右对称设置。

6、优选的，所述密封胶条与抽拉固定座之间为卡槽连接，所述真空泵与镀膜腔体之间为卡槽连接。

7、优选的，所述腔体外围温度控制机构包括第一节冷凝管道、第一连通管道、第一阀门、第二节冷凝管道、第二阀门、第二连通管道、第三阀门、第三节冷凝管道、第四阀门和第五阀门，所述镀膜腔体的侧面设置有第一节冷凝管道，所述第一节冷凝管道的侧面连接有第一连通管道，所述第一节冷凝管道的一端连接有第二节冷凝管道，所述第二节冷凝管道的侧面连接有第二连通管道，所述第二节冷凝管道的一端连接有第三节冷凝管道。

8、优选的，所述第一阀门贯穿于第一连通管道，所述第二阀门贯穿于第二节冷凝管道，所述第三阀门贯穿于第二连通管道，所述第四阀门贯穿于第三节冷凝管道，所述第五阀门贯穿于第三节冷凝管道。

9、与现有技术相比，该一种便于控温的真空镀膜设备具备如下有益效果：

10、通过加热板和腔体外围温度控制机构的设置，在使用过程中，加热板对镀膜原料加热，镀膜原料以原子团或离子形式被蒸发出来，蒸汽沉降在镀膜板表面，从而形成薄膜，完成镀膜，温度控制总系统对腔体外围温度控制机构内部温度进行降低，使得镀膜腔体对镀膜板进行冷却，独立的两套加热和制冷系统，分别负责蒸发镀膜原料和冷却稳定镀膜板表面成膜，代替单一控温系统重复循环加热和制冷过程，节约资源，缩短降温和升温过程，提高工作效率。

11、通过第一阀门和第三阀门，打开第二阀门、第四阀门和第五阀门的设置，在使用过程中，当供给温度稳定时，关闭第一阀门和第三阀门，打开第二阀门、第四阀门和第五阀门，三组连通管道区域同时制冷，关闭第二阀门、第三阀门和第五阀门，打开第一阀门，只有第一连通管道区域制冷，关闭第一阀门、第四阀门和第五阀门，打开第二阀门、第三阀门，第一连通管道和第二连通管道两个区域同时制冷，从而能够限制冷凝水的制冷区域，使得工作人员更加方便对镀膜腔体温度的控制。

技术特征：

1.一种便于控温的真空镀膜设备，包括镀膜腔体(1)和腔体外围温度控制机构(13)，其特征在于：所述镀膜腔体(1)的侧面设置有温度控制总系统(2)，所述镀膜腔体(1)侧面设置有轨道(3)，所述轨道(3)的侧面设置有抽拉固定座(4)，所述抽拉固定座(4)的上方设置有温度传感器(5)，所述抽拉固定座(4)的侧面设置有密封胶条(6)，所述抽拉固定座(4)的上方设置有镀膜板(7)，所述镀膜腔体(1)的侧面设置有镀膜原料固定板(8)，所述镀膜原料固定板(8)的侧面设置有镀膜原料(9)，所述镀膜腔体(1)的内部设置有加热板(10)，所述加热板(10)的侧面设置有连通口(11)，所述镀膜腔体(1)的顶部设置有真空泵(12)，所述镀膜腔体(1)的侧面设置有腔体外围温度控制机构(13)。

2.根据权利要求1所述的一种便于控温的真空镀膜设备，其特征在于，所述轨道(3)关于镀膜腔体(1)左右对称设置，所述抽拉固定座(4)通过轨道(3)与镀膜腔体(1)构成滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种便于控温的真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜板(7)与抽拉固定座(4)之间为卡槽连接，所述温度传感器(5)与镀膜板(7)紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的一种便于控温的真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜原料固定板(8)的外径与镀膜腔体(1)尺寸相匹配，所述镀膜原料固定板(8)与镀膜腔体(1)构成旋转结构，所述镀膜原料(9)与镀膜原料固定板(8)之间为卡槽连接，所述加热板(10)与镀膜腔体(1)之间为卡槽连接，所述连通口(11)关于加热板(10)左右对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种便于控温的真空镀膜设备，其特征在于，所述密封胶条(6)与抽拉固定座(4)之间为卡槽连接，所述真空泵(12)与镀膜腔体(1)之间为卡槽连接。

6.根据权利要求1所述的一种便于控温的真空镀膜设备，其特征在于，所述腔体外围温度控制机构(13)包括第一节冷凝管道(1301)、第一连通管道(1302)、第一阀门(1303)、第二节冷凝管道(1304)、第二阀门(1305)、第二连通管道(1306)、第三阀门(1307)、第三节冷凝管道(1308)、第四阀门(1309)和第五阀门(1310)，所述镀膜腔体(1)的侧面设置有第一节冷凝管道(1301)，所述第一节冷凝管道(1301)的侧面连接有第一连通管道(1302)，所述第一节冷凝管道(1301)的一端连接有第二节冷凝管道(1304)，所述第二节冷凝管道(1304)的侧面连接有第二连通管道(1306)，所述第二节冷凝管道(1304)的一端连接有第三节冷凝管道(1308)。

7.根据权利要求6所述的一种便于控温的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一阀门(1303)贯穿于第一连通管道(1302)，所述第二阀门(1305)贯穿于第二节冷凝管道(1304)，所述第三阀门(1307)贯穿于第二连通管道(1306)，所述第四阀门(1309)贯穿于第三节冷凝管道(1308)，所述第五阀门(1310)贯穿于第三节冷凝管道(1308)。

技术总结
本技术公开了一种便于控温的真空镀膜设备，包括镀膜腔体，所述镀膜腔体的侧面设置有温度控制总系统，所述轨道的侧面设置有抽拉固定座，所述抽拉固定座的上方设置有温度传感器，所述抽拉固定座的上方设置有镀膜板，所述镀膜原料固定板的侧面设置有镀膜原料，所述镀膜腔体的内部设置有加热板，所述镀膜腔体的侧面设置有腔体外围温度控制机构。本技术通过加热板和腔体外围温度控制机构的设置，在使用过程中，独立的两套加热和制冷系统，分别负责蒸发镀膜原料和冷却稳定镀膜板表面成膜，缩短降温和升温过程，提高工作效率当供给温度稳定时，控制五组阀门，能够限制冷凝水的制冷区域，使得工作人员更加方便对镀膜腔体温度的控制。

技术研发人员：魏建国,毕凯,段荣飞
受保护的技术使用者：常州锐星源真空科技有限公司
技术研发日：20230725
技术公布日：2024/4/7